化学-机械研磨粒子以及包含其的研磨浆料组合物的制作方法

技术特征：

1.一种化学-机械研磨粒子，其特征在于：

所述化学-机械研磨粒子包含：研磨粒子以及所述研磨粒子表面上的铝簇，

通过反向滴定(backtitration)法获得的酸度系数(pka)峰值(peak)的数量为1个以上，而且所述峰值中的至少一个峰值的酸度系数(pka)值是在4.3～4.9的范围之内。

2.根据权利要求1所述的化学-机械研磨粒子，其特征在于：

所述峰值的数量为3个。

3.根据权利要求2所述的化学-机械研磨粒子，其特征在于：

所述3个峰值中酸度系数(pka)值最大的峰值的峰值面积最大。

4.根据权利要求1所述的化学-机械研磨粒子，其特征在于：

电动电势为40mv以上。

5.根据权利要求1所述的化学-机械研磨粒子，其特征在于：

所述研磨粒子包含二氧化硅粒子。

6.根据权利要求1所述的化学-机械研磨粒子，其特征在于：

所述铝簇包含[al(oh)]² 、[al(oh)2] 、[al2(oh)2(h2o)8]⁴ 、[al13o4(oh)24(h2o)12]⁷ 以及[al2o8al28(oh)56(h2o)26]¹⁸ 中的一种以上。

7.一种研磨组合物，其特征在于，包含：

根据权利要求1至权利要求6中的任一项所述的化学-机械研磨粒子、ph调节剂以及水。

8.根据权利要求7所述的研磨组合物，其特征在于：

所述化学-机械研磨粒子的含量是在0.1至10重量％的范围之内。

9.根据权利要求7所述的研磨组合物，其特征在于：

还包含作为氧化剂的含过氧基(-o-o-)的化合物。

10.根据权利要求7所述的研磨组合物，其特征在于：

还包含用于提升研磨速度的含铁催化剂。

技术总结
本发明提供一种可以通过对研磨粒子的表面进行改性而具有高研磨速度、缺陷或划痕较少的优秀研磨品质的化学‑机械研磨粒子以及包含所述研磨粒子的研磨浆料组合物。

技术研发人员：文元均;金宰贤;申圭淳;朴钟大;李敏键;陈成勋;李玖和;赵京淑;柳在鸿
受保护的技术使用者：株式会社东进世美肯
技术研发日：2019.12.27
技术公布日：2021.08.24