墨水、薄膜晶体管及其制备方法、有源层薄膜、显示设备与流程

技术特征：

1.一种墨水，其特征在于，包括：

金属氧化物前驱体盐；

有机溶剂；

纳米导电材料，所述纳米导电材料包括：一维纳米材料、二维纳米材料或者由一维纳米材料与二维纳米材料形成的复合材料。

2.根据权利要求1所述的墨水，其特征在于，所述有机溶剂包括醇醚类有机溶剂，所述醇醚类有机溶剂选自：乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇丙醚、乙二醇异丙醚、乙二醇丁醚、乙二醇叔丁醚、乙二醇己醚、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇正丙醚、丙二醇异丙醚、丙二醇正丁醚、丙二醇叔丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇丁醚，二乙二醇二丁醚，二乙二醇己醚、二丙二醇甲醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇二乙醚、二丙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇甲醚和三丙二醇丁醚中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的墨水，其特征在于，所述金属氧化物前驱体盐选自：锌盐、铟盐、镓盐和锡盐中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的墨水，其特征在于，所述一维纳米材料与所述二维纳米材料各自独立地选自：碳、黑磷、氧化铟、氧化镓、氧化锌、氧化锡、氧化钛、硫化钨、硫化钼、硫化镉、硫化锌、硒化钨、硒化钼、硒化镉、硒化锌和磷化铟中的至少一种。

5.根据权利要求1～4任一项所述的墨水，其特征在于，所述一维纳米材料的直径为1～100nm，长度为1～50μm；和/或

所述二维纳米材料的厚度为1～100nm。

6.根据权利要求1～4任一项所述的墨水，其特征在于，基于所述墨水的总质量，所述金属氧化物前驱体盐的含量为1～15wt％，所述有机溶剂的含量为80～95wt％，所述纳米导电材料的含量为1～10wt％。

7.根据权利要求6所述的墨水，其特征在于，还包括：

醇类粘度调节剂，基于所述墨水的总质量，所述醇类粘度调节剂的含量为1～15wt％；和/或

醇胺类稳定剂，基于所述墨水的总质量，所述醇胺类稳定剂的含量为0.1～5wt％。

8.根据权利要求7所述的墨水，其特征在于，所述醇类粘度调节剂选自：2-甲基环己醇、3-甲基环己醇、3,5,5-三甲基己醇、壬醇、5-乙基-2-壬醇、2,6-二甲基-4-庚醇、癸醇、乙二醇、聚乙二醇、1,2-丙二醇，1,3-丙二醇、1,2-丁二醇、1,3-丁二醇、1,4-丁二醇、2,3-丁二醇、5-戊二醇，2-丁烯-1,4-二醇、2-甲基-2,4-戊二醇、2-乙基-1,3-己二醇、1,2,6-己三醇、丙三醇和二甘醇中的至少一种；和/或

所述醇胺类稳定剂选自：单乙醇胺、二乙醇胺和二甘醇胺中的至少一种。

9.一种薄膜晶体管有源层薄膜，其特征在于，所述薄膜晶体管有源层薄膜是根据权利要求1～8任一项所述的墨水去除溶剂后形成的。

10.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：

衬底；

栅极，所述栅极设置在所述衬底上；

绝缘层，所述绝缘层设置在所述栅极远离所述衬底的一侧；

有源层，所述有源层设置在所述绝缘层远离所述栅极的一侧，所述有源层是由权利要求1～8任一项所述的墨水去除溶剂后形成的薄膜，或是根据权利要求9所述的薄膜晶体管有源层薄膜；

间隔设置的源极和漏极，所述源极和所述漏极分别独立地设置在所述绝缘层远离所述栅极的一侧，且与所述有源层接触。

11.一种薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供基板，所述基板包括：衬底、设置在所述衬底上的栅极以及设置在所述栅极表面的绝缘层；

将根据权利要求1～8任一项所述的墨水涂覆于所述绝缘层表面并去除溶剂，形成有源层；

在所述绝缘层表面形成与所述有源层接触的源极和漏极，所述源极和所述漏极之间无接触。

12.一种显示设备，其特征在于，包括：薄膜晶体管，所述薄膜晶体管是根据权利要求10所述的薄膜晶体管，或是根据权利要求11所述的薄膜晶体管的制备方法制备得到的薄膜晶体管。

技术总结
本发明公开了一种墨水、薄膜晶体管有源层薄膜、薄膜晶体管及其制备方法、显示设备。该墨水包括金属氧化物前驱体盐、纳米导电材料和有机溶剂。纳米导电材料包括：一维纳米材料、二维纳米材料或者由一维纳米材料与二维纳米材料形成的复合材料。通过去除该墨水中的有机溶剂，并使金属氧化物前驱体盐和纳米导电材料形成复合纳米导电材料的金属氧化物薄膜，可形成复合纳米导电材料的金属氧化物薄膜薄膜晶体管有源层薄膜。该薄膜晶体管有源层薄膜可有效应对柔性薄膜晶体管器件的重复弯折，提升薄膜晶体管器件的耐弯折性能和使用寿命。

技术研发人员：黄航
受保护的技术使用者：广东聚华印刷显示技术有限公司
技术研发日：2020.04.17
技术公布日：2021.08.13