用于石英玻璃渗氢工艺的料架、反应釜及装置的制作方法

技术特征：
1.用于石英玻璃渗氢工艺的料架，其特征在于，包括：外壳，为圆筒状；进气孔，均匀布满所述外壳上；支撑件，为杆状结构并设于所述外壳内；其中，所述支撑件与所述外壳连接，石英玻璃放置于所述支撑件上。2.根据权利要求1所述的用于石英玻璃渗氢工艺的料架，其特征在于，该料架还包括加强筋，所述加强筋设于所述外壳上。3.根据权利要求2所述的用于石英玻璃渗氢工艺的料架，其特征在于，所述支撑件与所述加强筋连接。4.根据权利要求3所述的用于石英玻璃渗氢工艺的料架，其特征在于，所述支撑件包括至少两个支撑杆，所述支撑杆端部与所述加强筋连接。5.根据权利要求4所述的用于石英玻璃渗氢工艺的料架，其特征在于，所述加强筋上设有多个与支撑杆配合的支撑孔，所述支撑杆端部插入所述支撑孔内实现支撑件与加强筋的可拆卸连接。6.用于石英玻璃渗氢工艺的反应釜，其特征在于，包括：密闭容腔；加热组件，设于所述密闭容腔中用于加热；其中，所述密闭容腔内设有如权利要求1~5任意一项所述的用于石英玻璃渗氢工艺的料架。7.根据权利要求6所述的用于石英玻璃渗氢工艺的反应釜，其特征在于，所述密闭容腔包括炉体以及盖合在炉体上的炉盖，所述炉盖及炉体的盖合处对应设有相互配合的错齿法兰，两所述错齿法兰上分别具有呈圆形布置的错齿，两错齿法兰上的错齿错位设置。8.根据权利要求7所述的用于石英玻璃渗氢工艺的反应釜，其特征在于，该反应釜还包括将两个所述错齿法兰锁紧的锁紧圈，所述锁紧圈由液压控制其开合和松紧。9.用于石英玻璃渗氢工艺的装置，其特征在于，包括：如权利要求6所述的用于石英玻璃渗氢工艺的反应釜；真空系统，用于对所述反应釜抽真空；充气系统，用于将氮气或氢气充入所述反应釜内；氢气燃烧系统，用于排出并燃烧所述反应釜内的氢气；其中，石英玻璃在所述反应釜内的料架中完成渗氢工艺。10.根据权利要求9所述的用于石英玻璃渗氢工艺的装置，其特征在于，所述氢气燃烧系统包括：压力监测器，设于所述密闭容腔内；排氢管路，与所述密闭容腔连通；放气阀，设于所述排氢管路上；氢气探测器，设于所述排氢管路上；点火器，设于所述排氢管路上；其中，所述压力监测器与所述放气阀配合，在密闭容腔内氢气气压过高时排氢，所述氢气探测器与点火器配合，在排氢管路中有氢气时点火器点火点燃氢气。

技术总结
本发明提供了一种用于石英玻璃渗氢工艺的料架、反应釜及装置，涉及光刻级熔石英玻璃材料生产领域。本发明的料架包括圆筒状的外壳，外壳内设有与其连接的杆状结构的支撑件，外壳上均匀布满若干进气孔；本发明的反应釜包括密闭容腔，密闭容腔中设有用于加热的加热组件，密闭容腔内设有料架；本发明的装置包括反应釜、用于对反应釜抽真空的真空系统、用于将氮气或氢气充入反应釜内的充气系统以及用于排出并燃烧反应釜内氢气的氢气燃烧系统，石英玻璃在支撑件上完成渗氢工艺。玻璃在支撑件上完成渗氢工艺。玻璃在支撑件上完成渗氢工艺。


技术研发人员：李建均 高运周 黄远坤
受保护的技术使用者：四川神光石英科技有限公司
技术研发日：2021.07.03
技术公布日：2021/9/28