一种磷化铟多晶装料辅助工具的制作方法

1.本实用新型涉及单晶生长技术领域，尤其涉及一种磷化铟多晶装料辅助工具。


背景技术：

2.在使用水平布里奇曼法合成磷化铟多晶时，为了稳定高温区与低温区的温场，将石英安瓿瓶设计成两端大，中间小的形状，这样虽然解决了高低温区的稳定，但同时给装料也带来了困难，由于石英安瓿瓶的中间细颈处太小，石英安瓿瓶尾部区域在装红磷时，只能将石英安瓿瓶竖起，将红磷从口部装入，这样料管尾部用来反映内外压力差的膜片就会粘上红磷，在升温阶段，膜片测量内部压力就会不准确，导致裂管或炸管；另外膜片是可以重复使用的，如果在装料时粘上红磷，膜片就会损坏，无法进行重复使用，造成生产成本升高。现有技术中还没有相关的技术手段来解决这一问题。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种磷化铟多晶装料辅助工具，在进行装料过程中，膜片粘上红磷，膜片测压不准确，造成裂管或炸管的问题得到解决。
4.本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：一种磷化铟多晶装料辅助工具，包括用于隔断石英安瓿瓶中红磷区与膜片区的挡块，挡块包括小径部和大径部，小径部与大径部一体成型，小径部的直径小于膜片区的最小尺寸，大径部的直径大于膜片区的最大尺寸，大径部固定连接有支撑杆,支撑杆的长度大于石英安瓿瓶的长度。挡块贴合膜片区能挡住红磷，且不会发生卡管的事故，支撑杆可以防止因红磷过重导致挡块变形卡管。
5.进一步，所述支撑杆的中部套设有物料通道，物料通道与支撑杆之间固定连接有连接杆，连接杆对物料通道起到支撑作用。
6.进一步，所述物料通道一端的直径小于石英安瓿瓶的中部细颈直径，另一端的直径大于石英安瓿瓶的最大直径，在装料过程中，红磷直接通过物料通道进入到红磷区，避免石英安瓿瓶的中部细颈壁粘上红磷。
7.进一步，所述支撑杆远离挡块的一端固定连接有把手，方便使用者拿取辅助工具。
8.进一步，所述连接杆有三个且均为圆柱形，三个连接杆使得对物料通道的支撑和固定效果更好，圆柱形的设置，使得装料时，红磷可从圆柱形连接杆上滑出，避免红磷沉积在连接杆上。
9.进一步，所述把手上设置有防滑纹；当用手握住把手时，可以起到防滑的作用。
10.进一步，所述物料通道与挡块之间的支撑杆上设置有刻度线，在红磷装料过程中，可以通过观察刻度线来确定加入红磷的量。
11.本实用新型的有益效果：
12.(1)本实用新型通过小径部和大径部组成的挡块，可以隔离膜片区，防止膜片粘上红磷而导致膜片测压不准确，裂管或炸管。
13.(2)本实用新型通过支撑杆的设置，可以防止因红磷过重导致挡块变形卡管。
14.(3)本实用新型通过物料通道的设置，在装料过程中，防止石英安瓿瓶的中部细颈壁粘上红磷，影响后续的工序。
15.(4)本实用新型中刻度线的设置使得加入红磷的量更加准确。
附图说明
16.图1是本实用新型一种磷化铟多晶装料辅助工具的结构示意图；
17.图2是本实用新型的侧视图；
18.图3是本实用新型的使用状态图；
19.图4是石英安瓿瓶的侧视图；
20.图5是本实用新型的剖视图；
21.其中，挡块1、小径部101、大径部102、支撑杆2、刻度线201、连接杆3、物料通道4、把手5、防滑纹501、石英安瓿瓶6、入料口601、铟区602、细颈区603、红磷区604、膜片区605。
具体实施方式
22.以下将结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明：
23.如图1
‑
图5所示，本实用新型的一种磷化铟多晶装料辅助工具，包括用于隔断石英安瓿瓶6中红磷区604与膜片区605的挡块1，挡块1包括小径部101和大径部102，大径部102与小径部101一体成型，小径部101的直径小于膜片区605的最小尺寸，大径部102的直径大于膜片区605的最大尺寸，大径部102固定连接有支撑杆2,支撑杆2的长度大于石英安瓿瓶6的长度，支撑杆2上靠近挡块1的一端设置有刻度线201，支撑杆2远离挡块1的一端固定连接有把手5，把手5上设置有防滑纹501，支撑杆2的中部固定连接有三根圆柱形的连接杆3，连接杆3固定连接有物料通道4，物料通道4一端的直径小于石英安瓿瓶6的细颈区603直径，另一端的直径大于石英安瓿瓶6的入料口601直径。
24.本实用新型的使用方法如下：如图4所示，石英安瓿瓶6包括入料口601、铟区602、细颈区603、红磷区604和膜片区605。
25.如图4和图5所示，握住辅助工具的把手5，将磷化铟多晶装料辅助工具放入石英安瓿瓶6中，挡块1与红磷区604、膜片区605的分界处接触，物料通道4的一端与细颈区603、铟区602的分界线接触，另一端位于石英安瓿瓶6的入料口601处；将石英安瓿瓶6竖直放置，红磷粉从物料通道4直径较大的一端倒入，红磷粉从物料通道4滑入细颈区603，铟区602不会粘上红磷粉，最后到达红磷区604；所有红磷位于挡块1之上，当加入红磷的量到达设定的标准刻度位置时，红磷完成装料，将石英安瓿瓶6水平放置，红磷区604的红磷高度只有安瓿瓶直径的三分之一；握住把手5，将挡块1和物料通道从石英安瓿瓶中取出；装好剩余的铟物料，完成装料过程。
26.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。


技术特征：
1.一种磷化铟多晶装料辅助工具，其特征在于：包括用于隔断石英安瓿瓶中红磷区与膜片区的挡块，挡块包括小径部和大径部，小径部与大径部一体成型，小径部的直径小于膜片区的最小尺寸，大径部的直径大于膜片区的最大尺寸，大径部固定连接有支撑杆,支撑杆的长度大于石英安瓿瓶的长度。2.根据权利要求1所述的一种磷化铟多晶装料辅助工具，其特征在于：所述支撑杆的中部套设有物料通道，物料通道与支撑杆之间固定连接有连接杆。3.根据权利要求2所述的一种磷化铟多晶装料辅助工具，其特征在于：所述物料通道一端的直径小于石英安瓿瓶的中部细颈直径，另一端的直径大于石英安瓿瓶的最大直径。4.根据权利要求3所述的一种磷化铟多晶装料辅助工具，其特征在于：所述支撑杆远离挡块的一端固定连接有把手。5.根据权利要求4所述的一种磷化铟多晶装料辅助工具，其特征在于：所述连接杆有三个且均为圆柱形。6.根据权利要求5所述的一种磷化铟多晶装料辅助工具，其特征在于：所述把手上设置有防滑纹。7.根据权利要求6所述的一种磷化铟多晶装料辅助工具，其特征在于：所述物料通道与挡块之间的支撑杆上设置有刻度线。

技术总结
本实用新型涉及单晶生长技术领域，公开了一种磷化铟多晶装料辅助工具，包括用于隔断石英安瓿瓶中红磷区与膜片区的挡块，挡块包括小径部和大径部，小径部的直径小于膜片区的最小尺寸，大径部的直径大于膜片区的最大尺寸，大径部固定连接有支撑杆,支撑杆的长度大于石英安瓿瓶的长度。本实用新型能够在进行装料过程中，膜片粘上红磷，膜片测压不准确，造成裂管或炸管的问题得到解决。炸管的问题得到解决。炸管的问题得到解决。


技术研发人员：李勇 曾志勇
受保护的技术使用者：威科赛乐微电子股份有限公司
技术研发日：2020.11.04
技术公布日：2021/9/13