一种用于化学气相沉积装置的石英舟结构的制作方法

1.本实用新型涉及石英舟技术领域，具体涉及一种用于化学气相沉积装置的石英舟结构。


背景技术：

2.石墨烯(graphene)是由sp2杂化的碳原子以蜂窝状晶格结构排列的一种 0.335 nm 单层厚度的新型二维碳材料。这种新型二维(2d)结构石墨烯材料的发现与其拥有特异的物理化学性质引发了科研界和产业界的研究热潮。然而，在对碳纳米管的研究实验中，偶然间发现了一种类似花瓣状的垂直生长在衬底上的三维(3d)碳纳米材料，这种材料被称作为垂直直立的石墨烯纳米墙, 简称垂直石墨烯。相比于二维的石墨烯薄膜，三维结构 gnws 拥有极其稳定的化学性质、超强的机械强度和更大的比表面积，以及拥有与石墨烯薄膜相同特征的高导电率和电子亲和力。基于快速发展的太阳能收集技术, 人们可以将太阳光能转化为热能, 并且由于其高转换效率和低损耗而受到了广泛的关注。截至目前, 利用太阳能热转换实现了诸多应用, 如产生太阳能蒸汽, 用于光热治疗和发电等。尽管如此, 它仍然还具有有待开发的巨大潜力。石墨烯拥有轻质、宽带光吸收、低摩尔比热、高德拜温度和高导热性等优异性能, 被认为是一种很有前景的光热材料。垂直石墨烯三维墙状结构不仅可以防止石墨烯片的堆叠, 而且还能够轻易地靠近和扩散各种离子和分子，并且还拥有更大的比表面积,使其能够提供足够的热交换接触, 从而获得高的太阳能热转换效率。
3.目前垂直石墨烯的合成多数利用等离子体增强化学气相沉积(pecvd)法, 因为 pecvd具有利用等离子体中产生的反应性物质在低温和低压下实现沉积的优点, 其中等离子体不仅可以作为气体前驱体分解甲烷的良好刺激物, 而且垂直于表面分布的高电场有助于垂直石墨烯独特结构的形成。但是, 普遍制备温度仍需要大于600 ℃, 这样的高温引发了很多问题, 以至于限制了其应用。例如, 实验过程时间长以及薄膜物理尺寸小; 其次, 高温对衬底具有选择性, 部分衬底无法承受如此高的温度。最典型的是金属箔衬底在高温时容易变软发生形变，导致影响垂直石墨烯的合成质量。另外，由于垂直石墨烯生长机理问题，如果直径将衬底平方在载具上，那衬底的下表面垂直石墨烯的生长形貌较差，甚至无法生长。这是由于在pecvd中，若直接将基底放在载具上，基底上下表面所出的生长环境并不相同，尤其是等离子场的差异较大。


技术实现要素：

4.本实用新型主要解决现有技术中存在使用化学气相沉积合成垂直石墨烯时难以在衬底表面实现双面生长以及当生长衬底为金属箔时，较高的温度容易使金属箔弯曲变形的不足，提供了一种用于化学气相沉积装置的石英舟结构，其具有结构紧凑简单、稳定性好和使用寿命长的特点。解决了垂直石墨烯难以在衬底表面双面同时生长的问题。使衬底在较高温度下不会弯曲形变，破坏垂直石墨烯的形貌。
5.本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：
6.一种用于化学气相沉积装置的石英舟结构，包括石英舟主体，所述的石英舟主体两端均设有承重横梁，所述的承重横梁两端与石英舟主体间均设有支撑柱，所述的承重横梁上端两侧均设有承重横梁连接凹槽，所述的承重横梁上端两侧均设有与承重横梁连接凹槽相按入式插嵌的铆钉。
7.作为优选，所述的铆钉与承重横梁间设有增高组件。
8.作为优选，所述的增高组件包括连接杆，所述的连接杆两端与承重横梁间均设有接长柱，所述的接长柱与承重横梁连接凹槽间均设有与承重横梁连接凹槽相插嵌的连接插杆。
9.作为优选，所述的连接杆上端两侧均设有与铆钉相按入式插嵌的连接孔。
10.作为优选，所述的石英舟主体长为10厘米，宽为5厘米，高为1厘米的长方体结构。
11.作为优选，所述的支撑柱高为5厘米，厚度为0.5厘米。
12.作为优选，所述的承重横梁宽度为1厘米；所述的承重横梁连接凹槽内径为0.5厘米，深度为1厘米的圆形凹槽。
13.本实用新型能够达到如下效果：
14.本实用新型提供了一种用于化学气相沉积装置的石英舟结构，与现有技术相比较，具有结构紧凑简单、稳定性好和使用寿命长的特点。解决了垂直石墨烯难以在衬底表面双面同时生长的问题。使衬底在较高温度下不会弯曲形变，破坏垂直石墨烯的形貌。
附图说明
15.图1是本实用新型的结构示意图。
16.图2是本实用新型中的增高组件的结构示意图。
17.图中：石英舟主体1，铆钉2，增高组件3，支撑柱4，承重横梁5，承重横梁连接凹槽6，接长柱7，连接孔8，连接杆9，连接插杆10。
具体实施方式
18.下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。
19.实施例：如图1和图2所示，一种用于化学气相沉积装置的石英舟结构，包括石英舟主体1，石英舟主体1长为10厘米，宽为5厘米，高为1厘米的长方体结构。石英舟主体1两端均设有承重横梁5，承重横梁5宽度为1厘米。承重横梁5两端与石英舟主体1间均设有支撑柱4，支撑柱4高为5厘米，厚度为0.5厘米。承重横梁5上端两侧均设有承重横梁连接凹槽6，承重横梁连接凹槽6内径为0.5厘米，深度为1厘米的圆形凹槽。承重横梁5上端两侧均设有与承重横梁连接凹槽6相按入式插嵌的铆钉2。铆钉2与承重横梁5间设有增高组件3。增高组件3包括连接杆9，连接杆9上端两侧均设有与铆钉2相按入式插嵌的连接孔8。连接杆9两端与承重横梁5间均设有接长柱7，接长柱7与承重横梁连接凹槽6间均设有与承重横梁连接凹槽6相插嵌的连接插杆10。
20.综上所述，该用于化学气相沉积装置的石英舟结构，具有结构紧凑简单、稳定性好和使用寿命长的特点。解决了垂直石墨烯难以在衬底表面双面同时生长的问题。使衬底在较高温度下不会弯曲形变，破坏垂直石墨烯的形貌。
21.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范实施例的细节，而且
在不背离实用新型的基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
22.总之，以上所述仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的结构特征并不局限于此，任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新型的专利范围之中。


技术特征：
1.一种用于化学气相沉积装置的石英舟结构，其特征在于：包括石英舟主体（1），所述的石英舟主体（1）两端均设有承重横梁（5），所述的承重横梁（5）两端与石英舟主体（1）间均设有支撑柱（4），所述的承重横梁（5）上端两侧均设有承重横梁连接凹槽（6），所述的承重横梁（5）上端两侧均设有与承重横梁连接凹槽（6）相按入式插嵌的铆钉（2）。2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积装置的石英舟结构，其特征在于：所述的铆钉（2）与承重横梁（5）间设有增高组件（3）。3.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积装置的石英舟结构，其特征在于：所述的增高组件（3）包括连接杆（9），所述的连接杆（9）两端与承重横梁（5）间均设有接长柱（7），所述的接长柱（7）与承重横梁连接凹槽（6）间均设有与承重横梁连接凹槽（6）相插嵌的连接插杆（10）。4.根据权利要求3所述的一种用于化学气相沉积装置的石英舟结构，其特征在于：所述的连接杆（9）上端两侧均设有与铆钉（2）相按入式插嵌的连接孔（8）。5.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积装置的石英舟结构，其特征在于：所述的石英舟主体（1）长为10厘米，宽为5厘米，高为1厘米的长方体结构。6.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积装置的石英舟结构，其特征在于：所述的支撑柱（4）高为5厘米，厚度为0.5厘米。7.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积装置的石英舟结构，其特征在于：所述的承重横梁（5）宽度为1厘米；所述的承重横梁连接凹槽（6）内径为0.5厘米，深度为1厘米的圆形凹槽。

技术总结
本实用新型涉及一种用于化学气相沉积装置的石英舟结构，所属石英舟技术领域，包括石英舟主体，所述的石英舟主体两端均设有承重横梁，所述的承重横梁两端与石英舟主体间均设有支撑柱，所述的承重横梁上端两侧均设有承重横梁连接凹槽，所述的承重横梁上端两侧均设有与承重横梁连接凹槽相按入式插嵌的铆钉。具有结构紧凑简单、稳定性好和使用寿命长的特点。解决了垂直石墨烯难以在衬底表面双面同时生长的问题。使衬底在较高温度下不会弯曲形变，破坏垂直石墨烯的形貌。坏垂直石墨烯的形貌。坏垂直石墨烯的形貌。


技术研发人员：张亮 汪小知 叶启开
受保护的技术使用者：杭州英希捷宜合信息技术发展有限公司
技术研发日：2021.02.26
技术公布日：2021/10/18