光刻机及光刻机的压板装置的制作方法

1.本实用新型涉及pcb制版领域，尤其是涉及一种光刻机及光刻机的压板装置。


背景技术：

2.现有技术多采用的吸盘压板方式，在吸盘的两边或四边边缘处直接压板，通过气缸或电机作为动力，通过各种结构件直接压在工件上。因为工件尺寸的不同，通常还会要求边缘压板的行程能够调节。但是工件本身因为经过多道工序的加工，或加热或冷却，在到达光刻前就已经有了或大或小的变形，且容易留有划痕和出现交叉污染，光刻的结果不理想。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种光刻机及光刻机的压板装置。
4.根据本实用新型第一方面实施例的光刻机包括；主机体、工作台、压板装置，所述主机体上设有光路模块、驱动模块，所述工作台的上表面形成为用于放置工件的放置区；所述光路模块与所述工作台的放置区相对设置，所述工作台与所述主机体连接，且所述工作台和所述光路模块中的至少一个与所述驱动模块连接，以使所述光路模块能够相对于所述放置区在水平方向移动。所述压板装置与所述主机体固定，且所述压板装置位于所述光路模块的至少一侧，所述压板装置与所述放置区相对设置，所述压板装置被构造成为以非接触方式对位于工作台上的工件施加以抵压放置区的作用力。
5.由此，在光路模块的一侧或者两侧设置压板装置，可以使压板装置靠近光路模块的工作区域，以使光刻机工作时，工作台上的工件稳定性更高。非接触式的压板装置对放置区施加作用力，避免了工件表面可能存在的划痕或者交叉污染，提高了工件的良率，简化了光刻机的结构。
6.在一些实施例中，所述压板装置通过朝向所述放置区喷气的方式施加作用力。
7.在一些实施例中，所述压板装置包括多个沿第一方向排布的喷气件，每个所述喷气件包括管路、喷嘴、电磁阀，所述管路的出口与所述喷嘴连接，所述电磁阀连接在所述管路上以控制所述管路的通断。
8.在一些实施例中，所述喷气件还包括三通接头，所述三通接头的一个接口与所述管路的进口连接，多个所述喷气件的三通接头沿第一方向排布并且依次串通，并用于与外接气源连通。
9.在一些实施例中，所述管路包括第一管路和第二管路，所述第一管路在所述电磁阀的上方与所述电磁阀连接，且所述第一管路与所述三通接头连接，所述第二管路在所述电磁阀的下方与所述电磁阀连接，所述第二管路自上向下朝远离所述三通接头方向倾斜。
10.在一些实施例中，所述第一管路的内径大于所述第二管路的内径，且所述第一管路和所述第二管路均为软管。
11.在一些实施例中，光刻机还包括安装背板以及阀支架，每个所述电磁阀通过阀支
架连接于所述安装背板，所述安装背板与所述主机体连接或者与所述光路模块连接。
12.在一些实施例中，还包括喷嘴支架，所述喷嘴支架包括横向连接板以及纵向连接板，所述纵向连接板的两端分别与所述横向连接板、阀支架连接，所述横向连接板具有多个沿第一方向分布的安装孔，所述喷嘴穿过所述安装孔以固定于所述横向连接板。
13.在一些实施例中，所述压板装置的个数为两个，且相对于所述光路模块对称分布，每个所述光路模块具有模拟曝光光柱，每个所述喷气件的管路延伸到所述光路模块下方，两个所述压板装置的喷气件位于所述光路模块的正下方且位于所述模拟曝光光柱的两侧。
14.根据本实用新型第二方面实施例的光刻机的压板装置包括：多个沿第一方向排布的喷气件，每个所述喷气件包括管路、喷嘴、电磁阀、三通接头，所述管路的出口与所述喷嘴连接，所述电磁阀连接在所述管路上以控制所述管路的通断，所述三通接头的一个接口与所述管路的进口连接，多个所述喷气件的三通接头沿第一方向排布并且依次串通，并用于与外接气源连通。
15.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
16.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
17.图1是根据本实用新型实施例的光刻机的局部示意图。
18.图2是根据本实用新型实施例的光刻机的压板装置的示意图。
19.图3是图2中m区域的局部放大示意图。
20.附图标记：
21.光刻机100；
22.主机体10；光路模块11；模拟曝光光柱111；驱动模块12；
23.工作台20；放置区21；
24.压板装置30；喷气件31；管路311；第一管路311a；第二管路311b；喷嘴312；电磁阀313；三通接头314；
25.安装背板40；
26.阀支架50；通孔51；条形孔52；
27.喷嘴支架60；横向连接板61；安装孔611；纵向连接板62；装配孔621；
28.第一方向a；第二方向b。
具体实施方式
29.下面详细描述本实用新型的实施例，参考附图描述的实施例是示例性的，下面详细描述本实用新型的实施例。
30.下面参考图1
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图3描述根据本实用新型实施例的光刻机100。
31.根据本实用新型实施例的光刻机100包括；主机体10、工作台20、压板装置30，主机体10上设有光路模块11、驱动模块12，工作台20的上表面形成为用于放置工件的放置区21；光路模块11与工作台20的放置区21相对设置，工作台20与主机体10连接，且工作台20和光
路模块11中的至少一个与驱动模块12连接，以使光路模块11能够相对于放置区21在水平方向移动。压板装置30与主机体10固定，且压板装置30位于光路模块11的至少一侧，压板装置30与放置区21相对设置，压板装置30被构造成为以非接触方式对位于工作台20上的工件施加以抵压放置区21的作用力。
32.其中，非接触式方式指的是不通过压板装置30和工件的直接接触，实现压板装置30对工件的抵压，制约工件在放置区21的位置，压板装置30与工件之间不连接。
33.如图1所示，光路模块11和驱动模块12安装在主机体10上，驱动模块12可以驱动光路模块11相对主机体10做往复运动或者固定在主机体10上，沿着第二方向b光路模块11还设有压板装置30，压板装置30可以调整与光路模块11的相对位置，沿着光路模块11的移动方向一侧分布或者两侧分布，且不与光路模块11连接或者接触。在光路模块11的下方还设有工作台20，工作台20可以沿着第二方向b运动，形成的放置区21可以放置工件，另外，压板装置30与工作台20也是不接触的，同时压板装置30可以隔空对放置区21的工件施加垂直工作台20的作用力。
34.由此，在光路模块11的一侧或者两侧设置压板装置30，可以使压板装置30靠近光路模块11的工作区域，以使光刻机100工作时，工作台20上的工件稳定性更高。非接触式的压板装置30对放置区21施加作用力，避免了工件表面可能存在的划痕或者交叉污染，提高了工件的良率，简化了光刻机100的结构。
35.可选地，压板装置30通过朝向放置区21喷气的方式施加作用力。如图1所示，压板装置30靠近工作台20的一端垂直工作台20，且可以将一定量的气体喷向工作台20上放置工件的区域，为工件提供一个竖直向下的力，使工件能够紧贴在放置区21。
36.由此，压板装置30通过喷气施加一个向下的作用力，避免与工件直接接触的同时，能够提高曝光区域的局部平整度，同时实现对工件的压紧，减少工件在放置区21的偏移，提高光刻机100的精度。
37.进一步地，压板装置30包括多个沿第一方向a排布的喷气件31，每个喷气件31包括管路311、喷嘴312、电磁阀313，管路311的出口与喷嘴312连接，电磁阀313连接在管路311上以控制管路311的通断。
38.如图2所示，沿着第一方向a压板装置30设有多个喷气件31，电磁阀313可以控制管路311的通断，根据需要以及光刻机100工作的实际面积调节工作的喷气件31的数量，流进管路311的气体经电磁阀313的调节后从喷嘴312喷出。其中，靠近管路311一端的喷嘴312截面积大于背离管路311一端的截面积，或者说喷嘴312越靠近出口的地方截面积越小，从而使流过的气体流速加快，增加对工件表面的压力。
39.由此，每个喷气件31都设有电磁阀313可以独立控制管路311的通断，因此当适用于不同尺寸大小的电路板时，可以相应调整处于打开状态的喷气件31的数量以及密度，增加了压板装置30的可调节性和通用性，而且多个喷气件31规律的分布，使得喷气件31的均匀分布增加了工件表面受力的平衡。
40.具体地，喷气件31还包括三通接头314，三通接头314的一个接口与管路311的进口连接，多个喷气件31的三通接头314沿第一方向a排布并且依次串通，并用于与外接气源连通。
41.也就是说，多个沿第一方向a排布的喷气件31是通过三通管实现相互连接的，各个
喷气管的三通接头314之间依次顺序接通，在接通后的三通接头314的一个自由端再接入外部气源，而每个三通接头314中的另一个接头(靠近管路311的接头)将气体通过管路311接入电磁阀313，使压板装置30中的气体能够被实时控制。
42.由此，相互连通的三通接头314使得各个喷气件31的进气口交汇到一起，不仅避免了供气管路311太长造成的气压损耗，而且方便气源对各个喷嘴312的统一供气，使多个喷嘴312的喷气压力更一致。另外，三通接头314的设置，也避免因局部喷气件31损坏而更换全部，降低维护保养的成本。
43.可选地，管路311包括第一管路311a和第二管路311b，第一管路311a在电磁阀313的上方与电磁阀313连接，且第一管路311a与三通接头314连接，第二管路311b在电磁阀313的下方与电磁阀313连接，第二管路311b自上向下朝远离三通接头314方向倾斜。
44.如图2所示，第一管路311a连接着三通接头314和电磁阀313，第二管路311b连接着电磁阀313和喷嘴312，三通接头314中的气体经第一管路311a流向电磁阀313，开启电磁阀313气体顺着第二管路311b流向喷嘴312后喷出，且第二管路311b自上向下逐渐靠近光路模块11倾斜设置。
45.由此，通过第一管路311a和第二管路311b的设置，增加了电磁阀313对气体的调节作用，倾斜设置的第二管路311b靠近光路模块11，增加了对曝光的核心区域的喷压，提高核心区域加工工件的稳定性。
46.可选地，第一管路311a的内径大于第二管路311b的内径，且第一管路311a和第二管路311b均为软管。这是由于电磁阀313需要借助第一管路311a供给其大量的气体，然后为了减小电磁阀313的排气噪音、实现较好的消声效果，也为了使通过第二管路311b排出的气体能够产生高流速向下的压力，将第二管路311b管径设置的较小。
47.由此，第一管路311a的内径较大便于外部气源的流入，第二管路311b内径较小便于增加管路311内的压强，提高气体流速，使能够提供一个较大的挤压力，有利于工件贴紧在放置区21。进一步地，第一管路311a和第二管路311b都采用软管，增加管路311的可调性，气体的流动性更强，且质量较轻。
48.如图3所示，光刻机100还包括安装背板40以及阀支架50，每个电磁阀313通过阀支架50连接于安装背板40，安装背板40与主机体10连接或者与光路模块11连接。
49.具体地，电磁阀313垂直固定在阀支架50上，阀支架50固定在安装背板40的一侧，阀支架50上设有多个通孔51和条形孔52，可供电磁阀313的安装和调节。安装背板40则与主机体10或者光路模块11连接，当安装背板40与主机体10连接时，安装背板40是固定不动的，固定在安装背板40上的压板装置30也是固定不动的，通过工作台20的伸缩实现对工件的加工；当安装背板40与光路模块11固定在一起时，由于光路模块11与工作台20可以相对移动，从而实现光路模块11对工件的加工。当然，若光路模块11直接固定在主机体10上，此时的运动方式和安装背板40与主机体10连接一致。
50.由此，通过阀支架50和安装背板40将电磁阀313安装到主机体10或者光路模块11上，增加安装的多样性，使光刻机100可以满足更多的使用场合，实用性更高。其中安装背板40和光路模块11连接，还增加了光刻机100使用的灵活性，加工工件的尺寸范围更大，加工的效率更高。
51.进一步地，光刻机100还包括喷嘴支架60，喷嘴支架60包括横向连接板61以及纵向
连接板62，纵向连接板62的两端分别与横向连接板61、阀支架50连接，横向连接板61具有多个沿第一方向a分布的安装孔611，喷嘴312穿过安装孔611以固定于横向连接板61。
52.如图3所示，喷气件31的喷嘴312穿过横向连接板61的安装孔611，喷嘴312的出口朝向工件所在的放置区21，横向连接板61上设有多个安装孔611，可以用来安装多个喷嘴312，根据实际工作需要调整喷嘴312的密度。横向连接板61通过纵向连接板62连接到阀支架50上，横向连接板61和纵向连接板62可以一体成型制造，也可以在其中一个上开设孔，通过螺钉实现连接。纵向连接板62的自由端可以开设装配孔621，使能够供紧固件穿过将其紧固在阀支架50上。
53.由此，横向连接板61可以对喷嘴312进行限位和固定，避免喷气过程中由于气压导致喷嘴312的不稳定，纵向连接板62用来固定横向连接板61，使喷嘴支架60与阀支架50或者主机体10形成一个整体，增加压板装置30的结构稳定性。
54.可选地，压板装置30的个数为两个，且相对于光路模块11对称分布，每个光路模块11具有模拟曝光光柱111，每个喷气件31的管路311延伸到光路模块11下方，两个压板装置30的喷气件31位于光路模块11的正下方且位于模拟曝光光柱111的两侧。
55.如图1所示，在光路模块11行进的第二方向b上，压板装置30分布在光路模块11的两侧，且关于光路模块11对称分布。其中，喷嘴312位于光路模块11的下方、模拟曝光光柱111的两侧，电磁阀313、三通接头314位于光路模块11的两侧或与光路模块11齐平。
56.需要说明的是，这里模拟曝光光柱111指的是光路模块11射出的光线所经过的路径。
57.由此，在光路模块11的两侧设置压板装置30，以使光刻机100在工作的时候，工件在第二方向b上的两侧能够被喷气挤压的牢固，降低工件由于喷气不均倾斜的风险，使工件在放置区21的平衡性更好。
58.根据本实用新型第二方面实施例的光刻机的压板装置30包括：多个沿第一方向a排布的喷气件31，每个喷气件31包括管路311、喷嘴312、电磁阀313、三通接头314，管路311的出口与喷嘴312连接，电磁阀313连接在管路311上以控制管路311的通断，三通接头314的一个接口与管路311的进口连接，多个喷气件31的三通接头314沿第一方向a排布并且依次串通，并用于与外接气源连通。
59.由此，光刻机100使用该喷气压板装置30，可以将工作台20的曝光放置区21使用强力喷气压平，保证放置区21的局部平整，无需对其他非必要工作区域进行压平，而且压板装置30采用非接触式的压平方式，避免直接接触式压平方式在对不同工件压板时产生的交叉污染，同时非接触式的压平方式也可以避免在工件上留下划痕、压印等不良影响，简化压板装置30的结构和操控、容易实现。
60.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
61.在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上。在本实用新型的描述
中，第一特征在第二特征“之上”或“之下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。在本实用新型的描述中，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。
62.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。
63.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。