一种光刻机投影物镜镜头的装调装置的制作方法

1.本发明涉及一种光刻机，特别涉及一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，属于物镜镜头装调技术领域。


背景技术：

2.光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备，现如今随着全世界科技的不断发展，人们对光刻镜头的要求也越来越高，由于现有的光刻机投影物镜镜头大多不便于进行装调操作，所以需要一种光刻机投影物镜镜头的装调装置。
3.但现有的光刻机物镜镜头大多在固定安装完成之后不便于进行位置调节，进而使得不便于将物镜镜头对准目标物，从而影响后续工作的进行，同时物镜镜头大多不便于进行拆装操作，由于现有的物镜镜头大多通过螺栓固定连接，进而使得需要耗费大量的拆装时间，从而影响后续工作的进行。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种光刻机投影物镜镜头的装调装置。
5.为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案：
6.本发明一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，包括工作台，所述工作台的顶端面上对称固定连接有两个固定柱，两个所述固定柱的内部均设有螺纹杆，两个所述固定柱的顶端面上固定连接有固定板，所述固定板的顶部设有第一电机，所述第一电机的输出端贯穿固定板，所述固定板的内部设有活动机构，所述固定板的下方设有升降板，所述升降板的内部设有第二固定壳，所述第二固定壳的内部设有旋转机构，所述第二固定壳的上方设有滑齿条，所述滑齿条固定连接在升降板的顶端面上，所述升降板的底部设有第一固定壳，所述第一固定壳的内部对称设有两个移动板，两个所述移动板的底部对称设有两个滑槽，两个所述滑槽均固定连接在第一固定壳的底端面上，两个所述滑槽的内部均设有移动机构，两个所述移动板的顶部设有限位机构，所述第一固定壳的底部设有物镜镜头，且物镜镜头的顶端固定连接有固定头，所述固定头的两侧壁上均开凿设有限位槽。
7.作为本发明的一种优选技术方案，所述旋转机构包括两个第二从动齿轮，两个所述第二从动齿轮的两端均固定连接有转动杆，两个所述第二从动齿轮的一端均转动连接有固定件，两个所述固定件之间设有第二电机，所述第二电机的输出端上固定连接有连接杆，所述固定件固定连接在第二固定壳的内壁上，两个所述第二从动齿轮远离固定件的一端通过转动杆转动连接在第二固定壳的内壁上，两个所述第二从动齿轮的一侧贯穿第二固定壳与滑齿条啮合连接，两个所述第二从动齿轮之间设有第一主动齿轮，所述第一主动齿轮与两个第二从动齿轮之间啮合连接，所述第一主动齿轮的一端通过转动件转动连接在第二固定壳的内壁上，所述第一主动齿轮的另一端与第二电机的输出端上的连接杆固定连接。
8.作为本发明的一种优选技术方案，所述活动机构包括两个第二转动齿轮，两个所述第二转动齿轮之间设有第一转动齿轮，所述第一转动齿轮和两个第二转动齿轮之间通过
链条啮合连接，两个所述第二转动齿轮和第一转动齿轮的顶端和底端均通过连接件转动连接在固定板的内壁上，所述第一转动齿轮顶端的连接件与第一电机的输出端固定连接，两个所述第二转动齿轮底端的连接件贯穿固定板并固定连接有转动块，所述转动块的另一端贯穿固定柱并与螺纹杆固定连接。
9.作为本发明的一种优选技术方案，所述限位机构包括第三固定壳，所述第三固定壳固定连接在第一固定壳的顶端面上，所述第三固定壳的内部设有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的两端均贯穿第三固定壳，所述双向螺纹杆的一端转动连接在第三固定壳的内壁上，所述双向螺纹杆的另一端贯穿第三固定壳固定连接有转动盘，所述第三固定壳的两侧均设有第二滑块，两个所述第二滑块均螺纹连接在双向螺纹杆上，两个所述第二滑块的底端均与移动板固定连接，两个所述移动板相对的一端面上均固定焊接有插块。
10.作为本发明的一种优选技术方案，所述移动机构包括滑杆，所述滑杆的两端均固定连接在滑槽的内壁上，所述滑杆上滑动连接有滑动块，所述滑动块的顶端面上固定连接有连接块，所述连接块远离滑动块的一端贯穿滑槽并与移动板固定连接。
11.作为本发明的一种优选技术方案，所述螺纹杆的底端转动连接在固定柱的内壁上，所述螺纹杆上设有第一滑块，所述第一滑块螺纹连接在螺纹杆上，所述第一滑块的一端与升降板固定连接。
12.作为本发明的一种优选技术方案，所述固定板的底部设有第一缓冲板，所述第一缓冲板的顶部对称设有两个第一弹簧，两个所述第一弹簧的一端与第一缓冲板固定连接，两个所述第一弹簧远离第一缓冲板的一端固定连接在固定板的底端面上。
13.作为本发明的一种优选技术方案，所述第一固定壳的底端面上开凿设有凹槽，所述第三固定壳的底部设有第二缓冲板，所述第二缓冲板和第三固定壳之间设有多个第二弹簧，每个所述第二弹簧的一端均与第二缓冲板固定连接，每个所述第二弹簧的另一端均与第三固定壳固定连接。
14.作为本发明的一种优选技术方案，所述第二固定壳的底部通过连接件与第一固定壳的顶部固定连接，所述升降板的底部开设有第二固定壳底部的连接件相适配的条形槽口。
15.本发明所达到的有益效果是：
16.1、通过活动机构可以起到通过第一转动齿轮的旋转，进而通过链条的移动带动两个第二转动齿轮旋转的方式，从而实现调节物镜镜头上下移动的效果，升降稳定不易出现晃动的现象，旋转机构可以起到通过第二从动齿轮与滑齿条啮合的方式，进而可以实现调节物镜镜头水平移动的效果。
17.2、通过限位机构可以起到将物镜镜头进行限位固定的效果，进而可以快速对物镜镜头进行拆装更换，从而避免传统的通过螺栓固定连接的方式，进而影响工作的效率，移动机构可以起到在对物镜镜头进行固定安装时的插块，可以对其起到限位的效果，从而避免出现在移动插块对物镜镜头进行固定安装时，出现插块晃动的现象，进而影响物镜镜头的安装固定效果。
附图说明
18.附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实
施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
19.图1是本发明的主视结构示意图；
20.图2是本发明的旋转机构结构示意图；
21.图3是本发明的限位机构结构示意图；
22.图4是本发明的移动机构结构示意图；
23.图5是本发明的a处放大结构示意图；
24.图6是本发明的第一固定壳和第二固定壳结构示意图。
25.图中：1、工作台；2、固定柱；3、螺纹杆；4、第一滑块；5、固定板；6、转动块；7、第一弹簧；8、第一转动齿轮；9、第一电机；10、第一缓冲板；11、链条；12、第二转动齿轮；13、第一固定壳；14、第二固定壳；15、升降板；16、滑齿条；17、第一主动齿轮；18、第二从动齿轮；19、固定件；20、连接杆；21、第二电机；22、双向螺纹杆；23、第三固定壳；24、第二弹簧；25、第二缓冲板；26、第二滑块；27、移动板；28、固定头；29、插块；30、滑槽；31、连接块；32、滑杆；33、滑动块；34、移动机构；35、活动机构；36、限位机构；37、旋转机构；38、转动盘。
具体实施方式
26.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
27.实施例：如图1
‑
6所示，本发明一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，包括工作台1，工作台1的顶端面上对称固定连接有两个固定柱2，两个固定柱2的内部均设有螺纹杆3，两个固定柱2的顶端面上固定连接有固定板5，固定板5的顶部设有第一电机9，第一电机9的输出端贯穿固定板5，固定板5的内部设有活动机构35，固定板5的下方设有升降板15，升降板15的内部设有第二固定壳14，第二固定壳14的内部设有旋转机构37，第二固定壳14的上方设有滑齿条16，滑齿条16固定连接在升降板15的顶端面上，升降板15的底部设有第一固定壳13，第一固定壳13的内部对称设有两个移动板27，两个移动板27的底部对称设有两个滑槽30，两个滑槽30均固定连接在第一固定壳13的底端面上，两个滑槽30的内部均设有移动机构34，两个移动板27的顶部设有限位机构36，第一固定壳13的底部设有物镜镜头，且物镜镜头的顶端固定连接有固定头28，固定头28的两侧壁上均开凿设有限位槽，由于在第二固定壳14的底部设有活动块滑动连接在滑动槽内，从而便于第二固定壳14进行移动，进而实现调节物镜镜头移动的操作。
28.其中，旋转机构37包括两个第二从动齿轮18，两个第二从动齿轮18的两端均固定连接有转动杆，两个第二从动齿轮18的一端均转动连接有固定件19，两个固定件19之间设有第二电机21，第二电机21的输出端上固定连接有连接杆20，固定件19固定连接在第二固定壳14的内壁上，两个第二从动齿轮18远离固定件19的一端通过转动杆转动连接在第二固定壳14的内壁上，两个第二从动齿轮18的一侧贯穿第二固定壳14与滑齿条16啮合连接，两个第二从动齿轮18之间设有第一主动齿轮17，第一主动齿轮17与两个第二从动齿轮18之间啮合连接，第一主动齿轮17的一端通过转动件转动连接在第二固定壳14的内壁上，第一主动齿轮17的另一端与第二电机21的输出端上的连接杆20固定连接，可以起到通过第二从动
齿轮18与滑齿条16啮合的方式，进而可以实现调节物镜镜头水平移动的效果。
29.其中，活动机构35包括两个第二转动齿轮12，两个第二转动齿轮12之间设有第一转动齿轮8，第一转动齿轮8和两个第二转动齿轮12之间通过链条11啮合连接，两个第二转动齿轮12和第一转动齿轮8的顶端和底端均通过连接件转动连接在固定板5的内壁上，第一转动齿轮8顶端的连接件与第一电机9的输出端固定连接，两个第二转动齿轮12底端的连接件贯穿固定板5并固定连接有转动块6，转动块6的另一端贯穿固定柱2并与螺纹杆3固定连接，可以起到通过第一转动齿轮8的旋转，进而通过链条11的移动带动两个第二转动齿轮12旋转的方式，从而实现调节物镜镜头上下移动的效果，升降稳定不易出现晃动的现象。
30.其中，限位机构36包括第三固定壳23，第三固定壳23固定连接在第一固定壳13的顶端面上，第三固定壳23的内部设有双向螺纹杆22，双向螺纹杆22的两端均贯穿第三固定壳23，双向螺纹杆22的一端转动连接在第三固定壳23的内壁上，双向螺纹杆22的另一端贯穿第三固定壳23固定连接有转动盘38，第三固定壳23的两侧均设有第二滑块26，两个第二滑块26均螺纹连接在双向螺纹杆22上，两个第二滑块26的底端均与移动板27固定连接，两个移动板27相对的一端面上均固定焊接有插块29，可以起到将物镜镜头进行限位固定的效果，进而可以快速对物镜镜头进行拆装更换，从而避免传统的通过螺栓固定连接的方式，进而影响工作的效率。
31.其中，移动机构34包括滑杆32，滑杆32的两端均固定连接在滑槽30的内壁上，滑杆32上滑动连接有滑动块33，滑动块33的顶端面上固定连接有连接块31，连接块31远离滑动块33的一端贯穿滑槽30并与移动板27固定连接，可以起到在对物镜镜头进行固定安装时的插块29，可以对其起到限位的效果，从而避免出现在移动插块29对物镜镜头进行固定安装时，出现插块29晃动的现象，进而影响物镜镜头的安装固定效果。
32.其中，螺纹杆3的底端转动连接在固定柱2的内壁上，螺纹杆3上设有第一滑块4，第一滑块4螺纹连接在螺纹杆3上，第一滑块4的一端与升降板15固定连接，由于第一滑块4螺纹连接在螺纹杆3上，当螺纹杆3转动时，进而可以实现通过第一滑块4的上下移动，带动升降板15进行升降，即可实现调节物镜镜头进行升降的操作。
33.其中，固定板5的底部设有第一缓冲板10，第一缓冲板10的顶部对称设有两个第一弹簧7，两个第一弹簧7的一端与第一缓冲板10固定连接，两个第一弹簧7远离第一缓冲板10的一端固定连接在固定板5的底端面上，由于在第一缓冲板10上设有第一弹簧7，可以起到对升降板15升起时产生的冲击力起到消减的效果，避免过大的冲击力对升降板15造成损伤。
34.其中，第一固定壳13的底端面上开凿设有凹槽，第三固定壳23的底部设有第二缓冲板25，第二缓冲板25和第三固定壳23之间设有多个第二弹簧24，每个第二弹簧24的一端均与第二缓冲板25固定连接，每个第二弹簧24的另一端均与第三固定壳23固定连接，由于设有第二缓冲板25，且第二缓冲板25与第二弹簧24连接，可以对插入固定头28时产生的较大冲击力起到消减的效果,从而可以对固定头28起到保护的效果。
35.其中，第二固定壳14的底部通过连接件与第一固定壳13的顶部固定连接，升降板15的底部开设有第二固定壳14底部的连接件相适配的条形槽口，方便通过第二固定壳14带动第一固定壳13移动。
36.具体的，本发明使用时，首先当需要调节物镜镜头的高度时，首先启动第一电机9，
进而带动第一转动齿轮8转动，从而带动链条11进行移动，由于两个第二转动齿轮12与链条11啮合连接，从而可以起到通过两个第二转动齿轮12的旋转，带动螺纹杆3进行转动,又由于第一滑块4螺纹连接在螺纹杆3上，进而可以实现通过第一滑块4的上下移动，带动升降板15进行升降，即可实现调节物镜镜头进行升降的操作，当升降板15升起时，使得升降板15与第一缓冲板10相接触，由于在第一缓冲板10上设有第一弹簧7，可以起到对升降板15升起时产生的冲击力起到消减的效果，避免过大的冲击力对升降板15造成损伤。
37.当需要调节物镜镜头水平移动时，启动第二电机21，进而通过连接杆20的转动带动第一主动齿轮17旋转，由于两个第二从动齿轮18与第一主动齿轮17啮合连接，从而使得两个第二从动齿轮18进行旋转，又由于两个第二从动齿轮18与滑齿条16啮合连接，即可带动第二固定壳14进行移动，在第二固定壳14的底部设有活动块滑动连接在升降板15底部开设的滑动槽内，从而便于第二固定壳14进行移动，进而实现调节物镜镜头移动的操作。
38.当需要拆卸物镜镜头时，旋转转动盘38，进而使得双向螺纹杆22转动，由于第二滑块26螺纹连接在双向螺纹杆22上，从而使得两个第二滑块26同时移动，可以起到通过第二滑块26带动移动板27移动的效果，由于在移动板27上设有插块29，当物镜镜头上的固定头28插入至第一固定壳13中时，此时将插块29插入固定头28上的限位槽中时，可以起到对物镜镜头固定的效果，由于设有第二缓冲板25，且第二缓冲板25与第二弹簧24连接，可以对插入固定头28时产生的较大冲击力起到消减的效果,从而可以对固定头28起到保护的效果。
39.在移动板27的底部通过连接块31与滑动块33连接，进而使得滑动块33滑动连接在滑杆32上，从而可以对移动板27起到限位的效果，避免出现移动板27在移动时，出现晃动的现象，影响对物镜镜头固定操作的进行。
40.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。