一种低能耗镀膜装置的制作方法

1.本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种低能耗镀膜装置。


背景技术：

2.溅射产生的原子沉积在基体表面成膜称为溅射镀膜，通常是利用气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体，击出阴极靶体原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜。
3.现有的镀膜装置在溅射镀膜时需要先将镀膜场所抽成真空，再在真空环境下放入氩气形成低压氩气环境，抽真空和放入氩气的过程都需要消耗大量的能耗，但由于镀膜装置的内部空间有限，每次只能给一个配件镀膜，一旦开启装置的密封门更换镀膜配件，则需要重新抽真空和喷射氩气，不仅造成镀膜效率低下，还使镀膜装置高耗能，严重浪费了能耗资源。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中现有的镀膜装置的内部空间有限，每次只能给一个配件镀膜，一旦开启装置的密封门更换镀膜配件，则需要重新抽真空和喷射氩气，不仅造成镀膜效率低下，还使镀膜装置高耗能问题，而提出的一种低能耗镀膜装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种低能耗镀膜装置，包括壳体、真空泵、氩气喷射装置和镀膜料靶本体，所述真空泵固定设置在壳体的上端外壁上并和壳体的内部连通设置，所述镀膜料靶本体固定设置在壳体左侧内壁的上端，所述氩气喷射装置固定设置在壳体的顶端内壁上且其喷头对准镀膜料靶本体的下端，所述镀膜料靶本体的下端设有液压缸，所述液压缸固定设置在壳体的左端内壁上，所述液压缸的下端设有两个丝杆，所述丝杆的下端通过第一轴承和壳体的底端内壁转动连接，所述丝杆下端的杆壁上固定设有蜗轮，所述丝杆的上端杆壁上设有与之螺纹连接的螺纹块，所述螺纹块靠近壳体内壁的侧壁均与壳体的内壁滑动连接，两个所述螺纹块呈交错设置，两个所述螺纹块相对的一端开设有滑槽，所述滑槽的一端为开口设置，所述滑槽内滑动设有滑块，左端的所述滑块位于镀膜料靶本体料靶的正下端，所述壳体的底端内壁上固定设有伺服双轴电机，所述伺服双轴电机的两个输出端上均固定设有蜗杆，所述蜗杆的另一端贯穿壳体的内壁并通过第二轴承和壳体的内壁转动连接，所述蜗轮和蜗杆啮合设置，所述壳体靠近滑槽开口一端的侧壁上铰接设有密封门。
7.优选的，所述滑槽的内壁上固定设有滑杆，所述滑杆的另一端贯穿滑块并和滑块滑动连接。
8.优选的，所述滑块的上端固定设有第一限位板和第二限位板，所述螺纹块的上端固定设有用于限位第一限位板的第一限位块。
9.优选的，所述滑块靠近滑槽开口一端的侧壁上固定设有把手。
10.优选的，右端的所述丝杆的上端设有第二限位块，所述第二限位块的右端固定设
置在壳体右端的内壁上，所述第二限位块的下端和液压缸的下端平齐。
11.优选的，两个所述蜗杆呈对称设置且螺纹相反。
12.与现有技术相比，本实用新型提供了一种低能耗镀膜装置，具备以下有益效果：
13.1、该种低能耗镀膜装置，通过向外拉动左端的拉手将左端的滑块拉出，把多个镀膜配件整齐堆放在左端的滑块上，将滑块推入壳体中，关闭密封门，通过真空泵抽走壳体内部的空气，通过氩气喷射装置向镀膜料靶本体料靶的下端喷射氩气，使壳体内形成低压氩气环境，实现了一次放入多个镀膜配件，提升了设备的实用性。
14.2、该种低能耗镀膜装置，通过液压缸向右推动最上层的镀膜配件，将镀膜配件推送至右端的滑块上，通过第一限位板和第二限位板使镀膜配件在堆放时可以精准落位，实现了设备自动准确更换镀膜配件，提升了设备的便捷性。
15.3、该种低能耗镀膜装置，通过两个蜗杆呈对称设置且螺纹相反，带动两个蜗轮同步反向转动，从而使左端的螺纹块向上运动的同时右端的螺纹块同步向下运动，从而可以实现将上层的镀膜配件完成的镀膜后，自动推送至右端的滑块上，并自动将下层的镀膜配件抬升至预设位置镀膜，直至所有镀膜配件完成镀膜，在一次抽真空的环境下，完成了多个镀膜配件的镀膜，即提升的镀膜效率，又降低了镀膜装置的能耗。
16.该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型可以降低溅射镀膜装置的能耗，提升镀膜装置的效率。
附图说明
17.图1为本实用新型提出的一种低能耗镀膜装置的结构示意图；
18.图2为图1中a
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a向的剖面结构示意图。
19.图中：1壳体、2镀膜料靶本体、3氩气喷射装置、4真空泵、5液压缸、6丝杆、7蜗轮、8螺纹块、9滑块、10第一限位板、11第二限位板、12第一限位块、13第二限位块、14伺服双轴电机、15蜗杆、16滑杆、17镀膜配件、18密封门、19把手。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
21.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
22.参照图1
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2，一种低能耗镀膜装置，包括壳体1、真空泵4、氩气喷射装置3和镀膜料靶本体2，真空泵4固定设置在壳体1的上端外壁上并和壳体1的内部连通设置，镀膜料靶本体2固定设置在壳体1左侧内壁的上端，氩气喷射装置3固定设置在壳体1的顶端内壁上且其喷头对准镀膜料靶本体2的下端，镀膜料靶本体2的下端设有液压缸5，液压缸5固定设置在壳体1的左端内壁上，液压缸5的下端设有两个丝杆6，右端的丝杆6的上端设有第二限位块13，第二限位块13的右端固定设置在壳体1右端的内壁上，第二限位块13的下端和液压缸5
的下端平齐，丝杆6的下端通过第一轴承和壳体1的底端内壁转动连接，丝杆6下端的杆壁上固定设有蜗轮7，丝杆6的上端杆壁上设有与之螺纹连接的螺纹块8，螺纹块8靠近壳体1内壁的侧壁均与壳体1的内壁滑动连接，两个螺纹块8呈交错设置，两个螺纹块8相对的一端开设有滑槽，滑槽的一端为开口设置，滑槽内滑动设有滑块9，滑槽的内壁上固定设有滑杆16，滑杆16的另一端贯穿滑块9并和滑块9滑动连接，滑块9的上端固定设有第一限位板10和第二限位板11，螺纹块8的上端固定设有用于限位第一限位板10的第一限位块12，滑块9靠近滑槽开口一端的侧壁上固定设有把手19，左端的滑块9位于镀膜料靶本体2料靶的正下端，壳体1的底端内壁上固定设有伺服双轴电机14，伺服双轴电机14的两个输出端上均固定设有蜗杆15，蜗杆15的另一端贯穿壳体1的内壁并通过第二轴承和壳体1的内壁转动连接，两个蜗杆15呈对称设置且螺纹相反，蜗轮7和蜗杆15啮合设置，壳体1靠近滑槽开口一端的侧壁上铰接设有密封门18。
23.本实用新型中，在实际使用时，工作人员通过向外拉动左端的拉手19将左端的滑块9拉出，把多个镀膜配件17整齐堆放在左端的滑块9上，将滑块9推入壳体1中，关闭密封门18，通过真空泵4抽走壳体1内部的空气，通过氩气喷射装置3向镀膜料靶本体2料靶的下端喷射氩气，使壳体1内形成低压氩气环境，打开镀膜料靶本体2的高压电源开始镀膜工作，当最上端的镀膜配件17镀膜完成后，通过液压缸5向右推动最上层的镀膜配件17，将镀膜配件17推送至右端的滑块9上，通过第一限位板10和第二限位板11使镀膜配件17在堆放时可以精准落位，通过伺服双轴电机14带动蜗杆15转动，通过两个蜗杆15呈对称设置且螺纹相反，带动两个蜗轮7同步反向转动，从而使左端的螺纹块8向上运动的同时右端的螺纹块8同步向下运动，从而可以实现将上层的镀膜配件完成的镀膜后，自动推送至右端的滑块9上，并自动将下层的镀膜配件17抬升至预设位置镀膜，直至所有镀膜配件17完成镀膜，在一次抽真空的环境下，完成了多个镀膜配件17的镀膜，即提升的镀膜效率，又降低了镀膜装置的能耗。
24.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。