一种光刻机用晶圆片匀胶装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻机技术领域，特别是涉及一种光刻机用晶圆片匀胶装置。


背景技术：

2.光刻工艺总共包括晶圆片匀胶(即涂覆胶层)、曝光、显影、坚膜、腐蚀、去胶等步骤，其中，匀胶是为了使分布于晶片上的光刻胶分布均匀并能达到一定厚度，以便曝光时晶圆片表面的光刻胶都能得到适当的感光。其中在匀胶时通常都是采用电机带动吸附在真空吸盘上的晶片旋转，从而在离心力的作用下使胶均匀分布在晶圆片上，胶膜涂敷厚度可根据电机旋转轴的速度来进行控制。
3.在匀胶时，晶圆片上的光刻胶受离心力影响会甩落在匀胶装置的内壁上，而内壁上的光刻胶清理较为麻烦，并且光刻胶气味较大，直接将光刻胶产生的气味排放到外部会造成空气污染，引起人体不适，为此我们提出了一种光刻机用晶圆片匀胶装置，以解决上述提出的技术问题。


技术实现要素：

4.本实用新型提供了一种光刻机用晶圆片匀胶装置以解决上述背景技术提出的内壁上的光刻胶清理较为麻烦，以及光刻胶气味较大的问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
6.一种光刻机用晶圆片匀胶装置，包括壳体和盖板，所述壳体上表面的中部开设有匀胶间，所述匀胶间内部底面的外侧开设有环形沟，所述环形沟内部底面的左右两端均插接有排胶管，所述匀胶间内部的下端设置有转盘，所述转盘的内部开设有空腔，所述转盘的上表面均匀开设有若干个吸孔，所述转盘底部的中央焊接有空心转轴，所述空心转轴下端的外圆周面均匀开设有若干个通孔，所述壳体下端的内部开设有抽气间，所述壳体下端的内部通过螺钉安装有第一电机，所述壳体下端内部的右侧通过螺钉安装有真空气泵，所述真空气泵的左端插接有抽气管，所述抽气管上表面的右端插接有抽气支管，所述真空气泵的右端插接有输气管，所述壳体内部下端的右侧开设有处理间，所述处理间内部装填有活性炭，所述处理间内部的右侧面插接有排气管，所述盖板盖在匀胶间的顶部，所述盖板底面的外侧开设有环形槽，所述环形槽的内部通过滚动轴承连接有转环，所述转环底部的右端焊接有刮刀，所述转环的上表面开设有轮齿，所述盖板上表面的右端通过螺钉安装有第二电机，所述第二电机的动力输出端通过键连接有齿轮。
7.进一步的，所述第一电机位于抽气间的正下方，而所述空心转轴的底部贯穿过抽气间并与第一电机的动力输出端相接。
8.进一步的，所述空心转轴与壳体内部的下端转动连接，而所述通孔位于抽气间的内部。
9.进一步的，所述吸孔的底部贯穿至空腔的内部，并且所述吸孔与空腔相通。
10.进一步的，所述真空气泵位于第一电机与处理间之间的上方，并且所述真空气泵
与抽气间左右齐平。
11.进一步的，所述抽气管的左端贯穿进抽气间的内部并相通，所述抽气支管的上端贯穿至匀胶间内部的底部并相通，并且所述抽气支管位于转盘的下方。
12.进一步的，所述输气管右端的底部贯穿至处理间的内部并相通，并且所述输气管右端的底部位于活性炭的左侧。
13.进一步的，所述刮刀位于匀胶间的内部，并且所述刮刀与匀胶间内部的圆周面贴合，而且所述刮刀位于转盘的外侧。
14.进一步的，所述齿轮位于转环的正上方，并且所述齿轮的下端贯穿进环形槽并与轮齿啮合。
15.进一步的，所述排气管和排胶管的末端均贯穿出壳体，所述通孔和空腔均与空心转轴的内部相通。
16.与现有技术相比，本实用新型实现的有益效果：
17.通过盖板与均匀胶的配合设置，盖板可以对匀胶间的顶部进行密封，同时盖板底部的刮刀可以沿着匀胶间的内壁滑动，于是滑动的刮刀可以将附着在匀胶间内壁的光刻胶刮落下来，从而对匀胶间的内壁进行清理，使得匀胶间的清理更加方便，同时匀胶间内部的异味会被抽气支管抽取，随后抽取的异味排入到处理间中的活性炭中进行净化，从而避免异味直接排放到空气中，造成环境污染。
附图说明
18.图1为本实用新型整体的内部结构示意图。
19.图2为本实用新型图1的a处局部放大示意图。
20.图3为本实用新型图1的b处局部放大示意图。
21.图1
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3中：1
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壳体，101
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匀胶间，102
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环形沟，103
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抽气间，104
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处理间，2
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转盘，201
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空腔，202
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吸孔，3
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空心转轴，301
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通孔，4
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第一电机， 5
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真空气泵，6
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抽气管，7
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抽气支管，8
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输气管，9
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活性炭，10
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排气管，11
‑ꢀ
排胶管，12
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盖板，1201
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环形槽，13
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转环，1301
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轮齿，14
‑
刮刀，15
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第二电机，16
‑
齿轮。
具体实施方式
22.以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
23.请参阅图1至图3：
24.本实用新型提供一种光刻机用晶圆片匀胶装置，包括壳体1和盖板12，下面对一种光刻机用晶圆片匀胶装置的各个部件进行详细描述：
25.壳体1上表面的中部开设有匀胶间101，匀胶间101内部底面的外侧开设有环形沟102，环形沟102内部底面的左右两端均插接有排胶管11，匀胶间 101内部的下端设置有转盘2，转盘2的内部开设有空腔201，转盘2的上表面均匀开设有若干个吸孔202，转盘2底部的中央焊接有空心转轴3，空心转轴3下端的外圆周面均匀开设有若干个通孔301，壳体1下端的内部开设有抽气间103，壳体1下端的内部通过螺钉安装有第一电机4，壳体1下端内部的右侧通过螺钉安装有真空气泵5，真空气泵5的左端插接有抽气管6，抽气管 6上表面的右端
插接有抽气支管7，真空气泵5的右端插接有输气管8，壳体 1内部下端的右侧开设有处理间104，处理间104内部装填有活性炭9，处理间104内部的右侧面插接有排气管10，盖板12盖在匀胶间101的顶部，盖板 12底面的外侧开设有环形槽1201，环形槽1201的内部通过滚动轴承连接有转环13，转环13底部的右端焊接有刮刀14，转环13的上表面开设有轮齿1301，盖板12上表面的右端通过螺钉安装有第二电机15，第二电机15的动力输出端通过键连接有齿轮16。
26.具体的，第一电机4位于抽气间103的正下方，而空心转轴3的底部贯穿过抽气间103并与第一电机4的动力输出端相接，空心转轴3与壳体1内部的下端转动连接，而通孔301位于抽气间103的内部，吸孔202的底部贯穿至空腔201的内部，并且吸孔202与空腔201相通，真空气泵5位于第一电机4与处理间104之间的上方，并且真空气泵5与抽气间103左右齐平，抽气管6的左端贯穿进抽气间103的内部并相通，抽气支管7的上端贯穿至匀胶间101内部的底部并相通，并且抽气支管7位于转盘2的下方，输气管8 右端的底部贯穿至处理间104的内部并相通，并且输气管8右端的底部位于活性炭9的左侧，刮刀14位于匀胶间101的内部，并且刮刀14与匀胶间101 内部的圆周面贴合，而且刮刀14位于转盘2的外侧，齿轮16位于转环13的正上方，并且齿轮16的下端贯穿进环形槽1201并与轮齿1301啮合，排气管 10和排胶管11的末端均贯穿出壳体1，通孔301和空腔201均与空心转轴3 的内部相通。
27.根据以上所述，第一电机4通过空心转轴3可以带动转盘2进行转动，转盘2的上表面放置有晶圆片，真空气泵5通过抽气管6、抽气间103、通孔 301以及空心转轴3可以将空气201的内部抽成真空状态，于是吸孔202利用负压可以将转盘2上端晶圆片牢牢吸住，同时转动转盘2可以带动晶圆片进行转动，于是晶圆片上表面涂抹的光刻胶在离心力的作用下会被摊平，从而实现匀胶，盖板12可以对匀胶间101的顶部遮挡密封，避免光刻胶甩出匀胶间，第二电机15通过齿轮16与轮齿1301的啮合可以带动转环13进行转动，转动的转环13同步带动刮刀14贴着匀胶间101的内壁进行滑动，以此可以将甩落在匀胶间101内壁的光刻胶刮落下来，刮落的光刻胶会流至环形沟102 中，环形沟102中的光刻胶可通过排胶管11排放到所需的地方，以此通过这种方式便于对匀胶间101的内壁进行清理，也便会对废胶进行收集；
28.在真空气泵5抽气时，真空气泵5通过抽气支管7可以将匀胶间101中光刻胶散发的异味抽取，接着抽取的异味通过输气管8排放到处理间104中，随后处理间104中的活性炭可以对异味进行净化，净化后的空气便可通过排气管10排放到所需的地方，从而避免异味直接排放到外部造成环境污染。
29.最后应说明的是，以上各实施例仅仅为本实用新型的较优实施例用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，当更不是限制本实用新型的专利范围；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围；另外，将本实用新型的技术方案直接或间接的运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。