光波导元件、使用光波导元件的光调制器件及光发送装置的制作方法

技术特征：

1.一种光波导元件，具有：基板，具有电光效应；光波导，形成于该基板；以及光接收元件，配置于该基板上，并监视在该光波导中传播的光波或从该光波导放射的光波，其特征在于，

所述光波导元件具备从该光波导延伸至该光接收元件的监视用光波导，

该监视用光波导相对于该光波导的出射方向具有折返部分，

该光接收元件配置于该监视用光波导的所述折返部分之后的一部分。

2.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

在该基板的上侧，将加强构件沿着该基板的配置该光波导的输出端的一边接合于该基板，所述折返部分形成于该基板与该加强构件之间。

3.根据权利要求1或2所述的光波导元件，其特征在于，

该光波导的输入端与输出端沿着该基板的同一边配置。

4.根据权利要求3所述的光波导元件，其特征在于，

将该光接收元件配置在从该输入端向该基板泄漏的泄漏光的扩散角的范围外。

5.根据权利要求2所述的光波导元件，其特征在于，

在该加强构件的面向该光接收元件的侧面或该光接收元件的面向该加强构件的侧面形成有遮光部。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的光波导元件，其特征在于，

该监视用光波导为脊型光波导。

7.一种光调制器件，其特征在于，具有：

权利要求1～6中任一项所述的光波导元件；

壳体，收容该光波导元件；以及

光纤，将光波从该壳体的外部输入该光波导，或将光波从该光波导输出到该壳体的外部。

8.根据权利要求7所述的光调制器件，其特征在于，

所述光调制器件在该壳体的内部具有将输入到该光波导元件的调制信号放大的电子电路。

9.一种光发送装置，其特征在于，具有：

权利要求7或8所述的光调制器件；以及

电子电路，输出使该光调制器件进行调制动作的调制信号。

技术总结
本发明提供一种光波导元件、使用光波导元件的光调制器件及光发送装置。光波导元件能够将具有电光效应的基板的长度构成得短并能够充分确保光接收元件的配置所需的空间。一种光波导元件，具有：基板(1)，具有电光效应；光波导(2)，形成于该基板；以及光接收元件(PD)，配置于该基板上，并监视在该光波导中传播的光波或从该光波导放射的光波，其特征在于，具备从该光波导延伸至该光接收元件的监视用光波导(22)，该监视用光波导相对于该光波导的出射方向具有折返部分(23)，该光接收元件配置于该监视用光波导的所述折返部分之后的一部分(24)。

技术研发人员：宫崎德一;中田悠;
受保护的技术使用者：住友大阪水泥股份有限公司;
技术研发日：2021.03.12
技术公布日：2021.10.01