一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构的制作方法

1.本实用新型涉及显影机技术领域，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构。


背景技术：

2.在半导体行业中，光刻和显影是两个重要的步骤，显影过程在显影机上完成，显影过程就是将曝光后的光刻胶中与紫外光发生化学反应的部分取出或保留下来的过程，显影的基本过程是：对准曝光(光刻机)
→
曝光后烘
→
显影
→
坚膜
→
显影检测。
3.而匀胶显影机需要对曝光后烘干的砫片降温到23度左右，因此对匀胶显影机中冷板的温度检测精准度要求很高，而目前的匀胶显影机中冷板的温度检测是采用在冷盘背面打斜孔塞入探头的方法进行检测，如此，不仅加工成本增加，且探头塞入深度不固定导致温度感应不准确，不仅影响了冷却效果，还导致硅片的废品率提高，无法满足市场需求。


技术实现要素：

4.为了克服上述技术缺陷，本实用新型的目的是提供一种结构简单，所需成本低，温度感应精准，不会影响硅片的冷却效果，保证硅片生产质量，可以满足市场需求的光刻胶匀胶显影机的冷板结构。
5.为实现上述目的，本发明通过以下技术方案予以实现：
6.一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，
7.包括内部挖空的圆盘式冷板本体；
8.呈均匀分布并依次电性连接固定于所述冷板本体底部的制冷片；
9.固定设于所述冷板本体底部的用于控制制冷片通电的开关；
10.呈均匀分布并可活动设于所述冷板本体上的硅片定位凸块；
11.用于检测感应所述冷板本体温度的温感探头，所述温感探头经温感压块固定设于所述冷板本体的底部。
12.进一步的，所述冷板本体的底部还设有第一凹槽和第二凹槽。
13.进一步的，所述开关固定设于所述第一凹槽内。
14.进一步的，所述冷板本体上还设有多个定位孔。
15.进一步的，所述硅片定位凸块分别经所述定位孔均匀可拆卸的固定于所述冷板本体上。
16.进一步的，所述温感压块的一侧设有至少两个限位通孔。
17.进一步的，所述温感探头设于所述限位通孔内而固定连接于所述温感压块。
18.进一步的，所述温感压块设于第二凹槽内而固定于所述冷板本体的底部。
19.进一步的，所述温感压块上还设有其用于固定连接于所述冷板本体底部的安装孔。
20.综上所述，本实用新型的优点是：该光刻胶匀胶显影机的冷板结构，将温控探头设于设有限位通孔的温感压块内，并通过温感压块固定设于冷板本体底部的第二凹槽内进行
固定安装，其改变了现有技术直接将探头在冷板背面打斜孔塞入的方法进行固定的安装方式，其不仅简化了工艺，降低成本，且有了限位通孔，温控探头能更精确的感应冷板本体整体温度变化，从而保证硅片生产质量，此外，在冷板本体上用于硅片定位的硅片定位凸块是可根据生产硅片的实际大小来调节的，能够满足市场的需求。
附图说明
21.图1是本实用新型一实施例的结构示意图；
22.图2是本实用新型中冷板本体底部的结构示意图；
23.图3是本实用新型中温感压块的结构示意图；
24.其中，1、冷板本体，2、制冷片，3、硅片定位凸块，4、定位孔，5、第一凹槽，6、开关，7、第二凹槽，8、温感压块，9、温感探头，10、限位通孔，11、安装孔。
具体实施方式
25.下面将结合附图以及具体实施方式对实用新型作进一步的说明：
26.如图1、图2和图3所示，一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，
27.包括内部挖空的圆盘式冷板本体1；
28.呈均匀分布并依次电性连接固定于所述冷板本体1底部的制冷片2；
29.固定设于所述冷板本体1底部的用于控制制冷片2通电的开关6；
30.呈均匀分布并可活动设于所述冷板本体1上的硅片定位凸块3；
31.用于检测感应所述冷板本体1温度的温感探头9，所述温感探头9经温感压块8固定设于所述冷板本体1的底部。
32.其中，所述冷板本体1的底部还设有第一凹槽5和第二凹槽7。
33.其中，所述开关6固定设于所述第一凹槽5内。
34.其中，所述冷板本体1上还设有多个定位孔4。
35.其中，所述硅片定位凸块3分别经所述定位孔4均匀可拆卸的固定于所述冷板本体1上。
36.其中，所述温感压块8的一侧设有至少两个限位通孔10。
37.其中，所述温感探头9设于所述限位通孔10内而固定连接于所述温感压块8。
38.其中，所述温感压块8设于第二凹槽7内而固定于所述冷板本体1的底部。
39.其中，所述温感压块8上还设有其用于固定连接于所述冷板本体1底部的安装孔11。
40.该光刻胶匀胶显影机的冷板结构，将温控探头9设于设有限位通孔10的温感压块8内，并通过温感压块8固定设于冷板本体1底部的第二凹槽7内进行固定安装，其改变了现有技术直接将探头在冷板背面打斜孔塞入的方法进行固定的安装方式，其不仅简化了工艺，降低成本，且有了限位通孔，温控探头9能更精确的感应冷板本体1整体温度变化，从而保证硅片生产质量，此外，在冷板本体1上用于硅片定位的硅片定位凸块3是可根据生产硅片的实际大小来调节的，能够满足市场的需求。
41.综上所述，其不仅结构简单，所需成本低，温度感应精准，且不会影响硅片的冷却效果，保证硅片生产质量，可以满足市场需求。
42.对于本领域的技术人员来说，可根据以上技术方案以及构思，做出其他各种相应的改变以及变形，而所有的这些改变和变形都应该属于本发明权利要求的保护范围之内。


技术特征：
1.一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：包括内部挖空的圆盘式冷板本体(1)；呈均匀分布并依次电性连接固定于所述冷板本体(1)底部的制冷片(2)；固定设于所述冷板本体(1)底部的用于控制制冷片(2)通电的开关(6)；呈均匀分布并可活动设于所述冷板本体(1)上的硅片定位凸块(3)；用于检测感应所述冷板本体(1)温度的温感探头(9)，所述温感探头(9)经温感压块(8)固定设于所述冷板本体(1)的底部。2.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述冷板本体(1)的底部还设有第一凹槽(5)和第二凹槽(7)。3.根据权利要求2所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述开关(6)固定设于所述第一凹槽(5)内。4.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述冷板本体(1)上还设有多个定位孔(4)。5.根据权利要求4所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述硅片定位凸块(3)分别经所述定位孔(4)均匀可拆卸的固定于所述冷板本体(1)上。6.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述温感压块(8)的一侧设有至少两个限位通孔(10)。7.根据权利要求6所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述温感探头(9)设于所述限位通孔(10)内而固定连接于所述温感压块(8)。8.根据权利要求2或7所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述温感压块(8)设于第二凹槽(7)内而固定于所述冷板本体(1)的底部。9.根据权利要求8所述的一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其特征在于：所述温感压块(8)上还设有其用于固定连接于所述冷板本体(1)底部的安装孔(11)。

技术总结
本实用新型涉及显影机技术领域，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机的冷板结构，其包括内部挖空的圆盘式冷板本体；呈均匀分布并依次电性连接固定于所述冷板本体底部的制冷片；固定设于所述冷板本体底部的用于控制制冷片通电的开关；呈均匀分布并可活动设于所述冷板本体上的硅片定位凸块；用于检测感应所述冷板本体温度的温感探头，所述温感探头经温感压块固定设于所述冷板本体的底部，其不仅结构简单，所需成本低，温度感应精准，且不会影响硅片的冷却效果，保证硅片生产质量，可以满足市场需求。可以满足市场需求。可以满足市场需求。


技术研发人员：吴想 周加宏 戴文海
受保护的技术使用者：江西维易尔半导体设备有限公司
技术研发日：2021.03.01
技术公布日：2021/9/28