酸性蚀刻废液的再生方法及系统与流程

技术特征：
1.一种酸性蚀刻废液的再生方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：s101：提供酸性蚀刻废液，酸性蚀刻废液包括铜离子、亚铜离子和氯离子；s102：将酸性蚀刻废液进行电解反应，形成电解再生液和氯气，电解反应的过程包括：将酸性蚀刻废液中的部分亚铜离子转变为铜离子，将部分氯离子转变为氯气，将部分铜离子转变为铜金属；s103：将电解反应得到的氯气与电解再生液反应，使电解再生液中的亚铜离子转变为铜离子后，形成再生酸性蚀刻液。2.如权利要求1所述的酸性蚀刻废液的再生方法，其特征在于，s102中所述电解反应的具体过程包括：通过微渗透膜将电解室分为阳极室和阴极室，当酸性蚀刻废液进入电解室后，在电流作用下，阳极室将亚铜离子转变为铜离子；阳极室将氯离子转变为氯气；阴极室将铜离子转变为铜金属。3.如权利要求2所述的酸性蚀刻废液的再生方法，其特征在于：所述将亚铜离子转变为铜离子的反应公式为：cu

→
cu
2
e-；所述将氯离子转变为氯气的反应公式为：2cl-→
cl2 2e；所述将铜离子转变为铜金属的反应公式为：cu
2
2e-→
cu；所述氯气与电解再生液的反应公式为：2cucl cl2→
2cucl2。4.如权利要求1至3任一项所述的酸性蚀刻废液的再生方法，其特征在于，s103之后还包括以下步骤：s103中未反应完的氯气会通过氯化亚铁、三氯化铁和铁屑进行吸收；吸收过程中氯气和氯化亚铁反应生成三氯化铁，三氯化铁和铁屑反应再生成氯化亚铁。5.如权利要求4所述的酸性蚀刻废液的再生方法，其特征在于，所述氯气和氯化亚铁的反应公式为：2fecl2 cl2→
2fecl3；所述三氯化铁和铁屑的反应公式为：fe 2fecl3→
3fecl2。6.一种酸性蚀刻废液的再生系统，其特征在于，该系统包括：电解室(103)和气液反应器(104)；电解室(103)用于：将酸性蚀刻废液进行电解反应，形成电解再生液和氯气，并将电解再生液和氯气输送至气液反应器(104)；电解室(103)包括阳极室(103a)和阴极室(103b)，进行电解反应时，阳极室(103a)将酸性蚀刻废液中的部分亚铜离子转变为铜离子，将部分氯离子转变为氯气；阴极室(103b)将部分铜离子转变为铜金属；气液反应器(104)用于：将氯气与电解再生液反应，使电解再生液中的亚铜离子转变为铜离子后，形成再生酸性蚀刻液。7.如权利要求6所述的酸性蚀刻废液的再生系统，其特征在于：该系统还包括酸性蚀刻废液储槽(102)和电解再生液储槽(105)；酸性蚀刻废液储槽(102)用于：将储存的酸性蚀刻废液输送至电解室(103)；电解再生液储槽(105)用于：将储存的电解再生液输送至气液反应器(104)。8.如权利要求6所述的酸性蚀刻废液的再生系统，其特征在于：该系统还包括氯气吸收器(106)，其用于：吸收气液反应器(104)中未反应完的氯气；在阳极室(103a)产生氯气、且气液反应器(104)不需要氯气时，吸收阳极室(103a)产生的氯气。9.如权利要求6至8任一项所述的酸性蚀刻废液的再生系统，其特征在于：该系统还包括比重控制器(109)和蚀刻机；
比重控制器(109)用于：配置再生酸性蚀刻液添加至蚀刻机的流量后，按照配置流量，将气液反应器(104)形成的再生酸性蚀刻液输送至蚀刻机上使用。10.如权利要求9所述的酸性蚀刻废液的再生系统，其特征在于：该系统还包括蚀刻剂储存槽(110)，其用于：在再生酸性蚀刻液输送至蚀刻机之前，为再生酸性蚀刻液添加蚀刻添加剂，蚀刻添加剂包括氧化剂和/或界面活性剂。

技术总结
本发明公开了一种酸性蚀刻废液的再生方法及系统，涉及酸性蚀刻废液处理领域。该方法的步骤包括：提供酸性蚀刻废液，酸性蚀刻废液包括铜离子、亚铜离子和氯离子；将酸性蚀刻废液进行电解反应，形成电解再生液和氯气，电解反应的过程包括：将酸性蚀刻废液中的部分亚铜离子转变为铜离子，将部分氯离子转变为氯气，将部分铜离子转变为铜金属；将电解反应得到的氯气与电解再生液反应，使电解再生液中的亚铜离子转变为铜离子后，形成再生酸性蚀刻液。本发明能够达到回收酸性蚀刻废液中的铜、以及再生酸性蚀刻废液的双重目的。生酸性蚀刻废液的双重目的。生酸性蚀刻废液的双重目的。


技术研发人员：刘阳 胡波
受保护的技术使用者：健鼎(湖北)电子有限公司
技术研发日：2020.04.01
技术公布日：2021/10/11