一种相变材料化学机械抛光设备的制作方法

技术特征：
1.一种相变材料化学机械抛光设备，包括柜体（1），其特征在于：所述柜体（1）的顶端固定设有壳体（2），所述柜体（1）的顶端开设有凹槽（3），所述凹槽（3）底端内壁的中间位置处固定设有底座（4），所述底座（4）的顶端固定设有支座（5），所述支座（5）的一侧顶端固定设有夹板一（6），所述支座（5）的另一侧顶端滑动设有夹板二（7），所述柜体（1）内的下部阵列开设有多个容纳腔（8），所述凹槽（3）的底端内壁上阵列开设有多个落水孔（9），所述落水孔（9）的底端均与相邻的所述容纳腔（8）的内部空间相通，所述壳体（2）的顶端对称固定设有气缸（10），所述气缸（10）的输出端均延伸至所述壳体（2）内且固定连接有固定板（11），所述固定板（11）的底端中间位置处固定设有电机（12），所述电机（12）的输出端固定连接有抛光盘（13），所述抛光盘（13）位于所述支座（5）的正上方，所述固定板（11）底端的一侧固定设有喷嘴（14）。2.根据权利要求1所述的一种相变材料化学机械抛光设备，其特征在于：所述壳体（2）为u型壳体且u型壳体的后侧设有挡板。3.根据权利要求1所述的一种相变材料化学机械抛光设备，其特征在于：所述支座（5）内开设有滑槽（15），所述支座（5）的一侧设有调节螺杆（16），所述调节螺杆（16）的另一端延伸至所述滑槽（15）内，位于所述滑槽（15）内的所述调节螺杆（16）上螺纹套设有螺纹座（17），所述螺纹座（17）的顶端与所述夹板二（7）的底端固定连接。4.根据权利要求1所述的一种相变材料化学机械抛光设备，其特征在于：所述柜体（1）的前侧中部阵列固定嵌设有多个进液管（18），所述进液管（18）的另一端均与相邻的所述容纳腔（8）的内部空间相通，所述柜体（1）的后侧下部阵列固定嵌设有多个抽液分管（19），所述抽液分管（19）的一端均与相邻的所述容纳腔（8）的内部空间相通，所述抽液分管（19）的另一端固定连接有抽液总管（20），所述抽液分管（19）上均设有阀门（21），所述柜体（1）的后侧上部固定设有泵体（22），所述泵体（22）的输入端与所述抽液总管（20）远离所述抽液分管（19）的一端固定连接，所述泵体（22）的输出端固定连接有送液管（23），所述送液管（23）的另一端延伸至所述壳体（2）内且与所述喷嘴（14）固定连接。5.根据权利要求1所述的一种相变材料化学机械抛光设备，其特征在于：所述落水孔（9）内均固定设有过滤网（24），所述落水孔（9）的顶端均合盖设有盖体（25）。

技术总结
本实用新型涉及一种相变材料化学机械抛光设备，包括柜体，所述柜体的顶端固定设有壳体，所述柜体的顶端开设有凹槽，所述凹槽底端内壁的中间位置处固定设有底座，所述底座的顶端固定设有支座，所述支座的一侧顶端固定设有夹板一，所述支座的另一侧顶端滑动设有夹板二，所述柜体内的下部阵列开设有多个容纳腔，所述凹槽的底端内壁上阵列开设有多个落水孔，所述落水孔的底端均与相邻的所述容纳腔的内部空间相通，所述壳体的顶端对称固定设有气缸，所述气缸的输出端均延伸至所述壳体内且固定连接有固定板，所述固定板的底端中间位置处固定设有电机，本实用新型可以快速切换化学试剂，从而方便进行使用，且可以有效的提高抛光的效率。的效率。的效率。


技术研发人员：熊德博 姜洋 吴凤瑛 周亚 郭梦晓
受保护的技术使用者：熊德博
技术研发日：2021.01.26
技术公布日：2021/10/8