一种FPC片对片对位机构的制作方法

一种fpc片对片对位机构
技术领域
1.本实用新型主要涉及半导体曝光领域，尤其涉及一种fpc片对片对位机构。


背景技术：

2.fpc板曝光是fpc板生产过程中的一道重要工序。现有的很多fpc板曝光机是每次将一块fpc板放入曝光机中，曝光完毕后取出再进行下一块fpc板的曝光
3.目前fpc板曝光，靠人工来拿着底片和产品进行对准，对准以后放到曝光台面上进行曝光，人工操作不能保证产品的良率和更高对准精度。


技术实现要素：

4.针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种fpc片对片对位机构，包括上玻璃台面1、台面吸板2、对位平台3、固定板4、z轴升降系统5，所述上玻璃台面1吸附在上玻璃台面下，所述台面吸板2吸附产品，所述台面吸板2固定在对位平台3上在对位平台3上xy移动，所述对位平台3底部固定在z轴升降系统5上进行上下移动；
5.所述z轴升降系统5包括气缸6、固定板4，所述气缸6固定在固定板4上，所述固定板4设置在对位平台3下方，所述对位平台3固定在固定板4上方沿着沿着固定板4上下滑动；
6.所述对位平台3的四角重的三角上分别设有3个移动结构7，3个移动结构7带动对位平台3移动，且3个移动结构7的移动方向依次相垂直，所述所述对位平台3另一角上设有移动座707。
7.优选的，所述移动结构7包括电机701、滑动座705，固定座702、丝杆703，所述固定座702固定在对位平台3上，所述滑动座705的底部固定在固定座702上，所述滑动座705的上端固定在台面吸板2的底部，所述电机701的作用端连接丝杆703，所述滑动座705通过内螺纹固定在丝杆703，所述滑动座705通过丝杆703的旋转沿着固定座702上滑动。
8.优选的，所述滑动座705的一侧通过螺纹块704通过固定在丝杆703。
9.优选的，所述滑动座705与台面吸板2通过导轨706连接，所述导轨设置在滑动座705的上表面，导轨滑动方向与滑动座705沿着固定座702滑动方向相垂直。
10.优选的，所述滑动座705通过滑轨和滑块在固定座702上滑动。
11.优选的，所述对位平台3的四边通过直线轴承固定在固定板4上。
12.优选的，所述直线轴承设有6个，两边分别设置3个。
13.本实用新型的有益效果：
14.此结构可以实现产品与上底片进行自动对准，可实现精密精准对位，保证产品的精度，且设备小，不占用空间。
附图说明
15.图1为本实用新型的立体结构图；
16.图2为本实用新型的前视图；
17.图3为本实用新型的对位平台3的结构示意图。
具体实施方式
18.为了使本技术领域人员更好地理解本发明的技术方案，并使本发明的上述特征、目的以及优点更加清晰易懂，下面结合实施例对本发明做进一步的说明。实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。
19.如图1
‑
3所示可知，本实用新型包括有：
20.一种fpc片对片对位机构，包括上玻璃台面1、台面吸板2、对位平台3、固定板4、z轴升降系统5，所述上玻璃台面1吸附在上玻璃台面下，所述台面吸板2吸附产品，所述台面吸板2固定在对位平台3上在对位平台3上xy移动，所述对位平台3底部固定在z轴升降系统5上进行上下移动；
21.所述z轴升降系统5包括气缸6、固定板4，所述气缸6固定在固定板4上，所述固定板4设置在对位平台3下方，所述对位平台3固定在固定板4上方沿着沿着固定板4上下滑动；
22.所述对位平台3的四角重的三角上分别设有3个移动结构7，3个移动结构7带动对位平台3移动，且3个移动结构7的移动方向依次相垂直，所述所述对位平台3另一角上设有移动座707。
23.在本实施中优选的，所述移动结构7包括电机701、滑动座705，固定座702、丝杆703，所述固定座702固定在对位平台3上，所述滑动座705的底部固定在固定座702上，所述滑动座705的上端固定在台面吸板2的底部，所述电机701的作用端连接丝杆703，所述滑动座705通过内螺纹固定在丝杆703，所述滑动座705通过丝杆703的旋转沿着固定座702上滑动。
24.在本实施中优选的，所述滑动座705的一侧通过螺纹块704通过固定在丝杆703。
25.设置上述结构，其侧滑动会减少使用空间，使得滑动座705的滑动范围更大。
26.在本实施中优选的，所述滑动座705与台面吸板2通过导轨706连接，所述导轨设置在滑动座705的上表面，导轨滑动方向与滑动座705沿着固定座702滑动方向相垂直。
27.设置上述结构，保证当台面吸板2的滑动方向与某一个丝杆703作用的方向相反的时候，台面吸板2可以顺畅的滑动。
28.在本实施中优选的，所述滑动座705通过滑轨和滑块在固定座702上滑动。
29.在本实施中优选的，所述对位平台3的四边通过直线轴承固定在固定板4上。
30.设置上述结构，气缸6带动上下滑动，其直线轴承稳定地拖住对位平台3上下滑动。
31.在本实施中优选的，所述直线轴承设有6个，两边分别设置3个。
32.工作原理：
33.1.产品转移放到台面吸板2上面，并通过台面上的超多2mm小孔，把产品吸平，使产品完全和台面贴合平整；
34.2.自动对位，对位平台3通过z轴升降系统5把产品上升距离底片1.5mm，对位平台3把产品移动和底片设定精度处；
35.3.自动对好位后，z轴升降系统5再上升1.5mm，让产品和底片完全接触并开始吸真空，然后进行下一步曝光工序。
36.此结构可以实现产品与上底片进行自动对准，可实现精密精准对位，保证产品的
精度。
37.上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效，而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本专利请的权利要求所涵盖。


技术特征：
1.一种fpc片对片对位机构，其特征在于，包括上玻璃台面(1)、台面吸板(2)、对位平台(3)、固定板(4)、z轴升降系统(5)，所述上玻璃台面(1)吸附在上玻璃台面下，所述台面吸板(2)吸附产品，所述台面吸板(2)固定在对位平台(3)上在对位平台(3)上xy移动，所述对位平台(3)底部固定在z轴升降系统(5)上进行上下移动；所述z轴升降系统(5)包括气缸(6)、固定板(4)，所述气缸(6)固定在固定板(4)上，所述固定板(4)设置在对位平台(3)下方，所述对位平台(3)固定在固定板(4)上方沿着沿着固定板(4)上下滑动；所述对位平台(3)的四角重的三角上分别设有3个移动结构(7)，3个移动结构(7)带动对位平台(3)移动，且3个移动结构(7)的移动方向依次相垂直，所述对位平台(3)另一角上设有移动座(707)。2.根据权利要求1所述的一种fpc片对片对位机构，其特征在于：所述移动结构(7)包括电机(701)、滑动座(705)，固定座(702)、丝杆(703)，所述固定座(702)固定在对位平台(3)上，所述滑动座(705)的底部固定在固定座(702)上，所述滑动座(705)的上端固定在台面吸板(2)的底部，所述电机(701)的作用端连接丝杆(703)，所述滑动座(705)通过内螺纹固定在丝杆(703)，所述滑动座(705)通过丝杆(703)的旋转沿着固定座(702)上滑动。3.根据权利要求2所述的一种fpc片对片对位机构，其特征在于：所述滑动座(705)的一侧通过螺纹块(704)通过固定在丝杆(703)。4.根据权利要求3所述的一种fpc片对片对位机构，其特征在于：所述滑动座(705)与台面吸板(2)通过导轨(706)连接，所述导轨设置在滑动座(705)的上表面，导轨滑动方向与滑动座(705)沿着固定座(702)滑动方向相垂直。5.根据权利要求4所述的一种fpc片对片对位机构，其特征在于：所述滑动座(705)通过滑轨和滑块在固定座(702)上滑动。6.根据权利要求5所述的一种fpc片对片对位机构，其特征在于：所述对位平台(3)的四边通过直线轴承固定在固定板(4)上。7.根据权利要求6所述的一种fpc片对片对位机构，其特征在于：所述直线轴承设有6个，两边分别设置3个。

技术总结
本实用新型提供一种FPC片对片对位机构，包括上玻璃台面、台面吸板、对位平台、固定板、Z轴升降系统，上玻璃台面吸附在上玻璃台面下，台面吸板吸附产品，台面吸板固定在对位平台上在对位平台上XY移动，对位平台底部固定在Z轴升降系统上进行上下移动；Z轴升降系统包括气缸、固定板，气缸固定在固定板上，固定板设置在对位平台下方，对位平台固定在固定板上方沿着沿着固定板上下滑动；对位平台的四角重的三角上分别设有个移动结构，个移动结构带动对位平台移动，且个移动结构的移动方向依次相垂直，对位平台另一角上设有移动座，此结构可以实现产品与上底片进行自动对准，可实现精密精准对位，保证产品的精度，且设备小，不占用空间。不占用空间。不占用空间。


技术研发人员：石利
受保护的技术使用者：无锡旭电科技有限公司
技术研发日：2020.12.16
技术公布日：2021/9/24