一种真空绑定靶材的设备的制作方法

1.本发明涉及靶材生产设备领域，尤其涉及一种真空绑定靶材的设备。


背景技术：

2.旋转靶材均使用金属铟将靶筒绑定在钛管上，因铟的熔点为156.5℃，当前多使用常压加热保温炉，维持绑定温度。但过程中，因为铟在空气中暴露，不断氧化，若不能及时有效去除氧化铟杂质，绑定贴合率持续难以提升，同时作业方法往往繁杂，效率低下。
3.中国专利文献cn211036079u，公开了一种旋转靶材绑定用抽真空装置，采用本实用新型在绑定过程对旋转靶材与背管之间形成的密闭空间进行抽真空；但是上述专利并没有考虑到因产品质量过高，从而导致上下料不便的问题；且对产品的定位也进行采用凹槽的形式，并没有考虑到产品的直径问题。


技术实现要素：

4.针对上述问题，本发明提供一种真空绑定靶材的设备，通过升降气缸将开关舱门进行升起，并且升降电机将限位块升起，再通过推动气缸带动滑块在横向滑槽上移动，从而使吊装钩将产品吊起并带入或带出箱体内；设置放置凹槽对箱体内的产品进行放置，并通过旋转螺旋定位杆对定位块进行旋转，从而对放置凹槽内的产品进行定位；设置升降电机带动限位块进行下压，从而对产品进行二次定位；本发明通过螺纹定位杆控制定位块根据产品的直径来进行限位，并采用升降气缸带动限位块根据产品的高度来进行二次限位，从而有效的避免了在生产过程中产品的晃动；且采用横向滑槽、推动气缸和吊装钩等部件来大大提高了上下料的便捷性和人工效率，并且生产质量和准确度也大大提高了。
5.为解决上述问题，本发明提供一种真空绑定靶材的设备，包括箱体，箱体的右端设置有抽真空机构，箱体的内壁上铺设有加热层；箱体的顶部设置有开关舱门，开关舱门的上方设置有横向滑槽，横向滑槽的下端设置有滑块，滑块与横向滑槽左侧壁上设置的推动气缸相连接，滑块的下端设置有与开关舱门相连接有升降气缸，升降气缸的两侧设置有升降电机，升降电机穿过开关舱门与下端设置的限位块相连接，限位块的下表面设置有吊装钩；箱体的下表面设置有放置凹槽，放置凹槽的侧壁上分布有定位块，定位块穿过箱体连接有螺纹定位杆。
6.进一步改进在于：限位块为半月型的且限位块的右侧通过伸缩杆连接有灌料机构，限位块与灌料机构组合后的横截面为圆形。
7.进一步改进在于：灌料机构包括存料盒，存料盒的底部左端设置有加温器，存料盒的中部下端设置有灌料管，灌料管上设置有自动开关阀。
8.进一步改进在于：抽真空机构包括有真空气管连接的真空机械泵，真空气管上设置有真空计，真空计与真空机械泵之间的真空气管上设置有开关阀门。
9.进一步改进在于：箱体的底部表面设置有通风口，通风口通过冷却气管与冷却泵
相连接，冷却气管上设置有抽拉式的开关门，冷却气管内分布有过滤层。
10.进一步改进在于：箱体的外壁上设置有采用耐高温玻璃制成的观察窗口。
11.本发明的有益效果：通过升降气缸将开关舱门进行升起，并且升降电机将限位块升起，再通过推动气缸带动滑块在横向滑槽上移动，从而使吊装钩将产品吊起并带入或带出箱体内；设置放置凹槽对箱体内的产品进行放置，并通过旋转螺旋定位杆对定位块进行旋转，从而对放置凹槽内的产品进行定位；设置升降电机带动限位块进行下压，从而对产品进行二次定位；完成后通过开关阀门控制真空机械泵对箱体内的空气由真空气管进行抽真空，并采用真空计进行数据收集；设置加热器和加热层分别对存料盒与箱体进行加热、加温；设置伸缩杆对存料盒的位置进行调整，从而使灌料管能够准确与灌料口相对，并设置自动开关阀进行开启；设置冷却泵将冷却的风由冷却气管和通风口带入到箱体内，并设置开关门在工作时进行密闭，设置过滤层保证进入箱体内风的洁净度；设置观察窗口对箱体内的工作进行实时观察；本发明大大提高了上下料的便捷性和人工效率，并且生产质量和准确度也大大提高了。
附图说明
12.图1为本发明的整体结构图。
13.图2为本发明限位块和存料盒的横截面结构图。
14.其中：1
‑
箱体,2
‑
加热层,3
‑
开关舱门,4
‑
横向滑槽,5
‑
滑块,6
‑
推动气缸，7
‑
升降气缸,8
‑
升降电机,9
‑
限位块,10
‑
吊装钩,11
‑
放置凹槽,12
‑
定位块,13
‑
螺纹定位杆,14
‑
伸缩杆,15
‑
存料盒,16
‑
加温器,17
‑
灌料管,18
‑
自动开关阀,19
‑
真空气管,20
‑
真空机械泵,21
‑
真空计,22
‑
开关阀门,23
‑
通风口,24
‑
冷却气管,25
‑
冷却泵,26
‑
开关门,27
‑
过滤层,28
‑
观察窗口。
具体实施方式
15.为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。
16.如图1和2所示，本实施例提供一种真空绑定靶材的设备，包括箱体1，箱体1的右端设置有抽真空机构，箱体1的内壁上铺设有加热层2；箱体1的顶部设置有开关舱门3，开关舱门3的上方设置有横向滑槽4，横向滑槽4的下端设置有滑块5，滑块5与横向滑槽4左侧壁上设置的推动气缸6相连接，滑块5的下端设置有与开关舱门3相连接有升降气缸7，升降气缸7的两侧设置有升降电机8，升降电机8穿过开关舱门3与下端设置的限位块9相连接，限位块9的下表面设置有吊装钩10；箱体1的下表面设置有放置凹槽11，放置凹槽11的侧壁上分布有定位块12，定位块12穿过箱体1连接有螺纹定位杆13。限位块9为半月型的且限位块9的右侧通过伸缩杆14连接有灌料机构，限位块9与灌料机构组合后的横截面为圆形。灌料机构包括存料盒15，存料盒15的底部左端设置有加温器16，存料盒15的中部下端设置有灌料管17，灌料管17上设置有自动开关阀18。抽真空机构包括有真空气管19连接的真空机械泵20，真空气管19上设置有真空计21，真空计21与真空机械泵20之间的真空气管19上设置有开关阀门22。箱体1的底部表面设置有通风口23，通风口23通过冷却气管24与冷却泵25相连接，冷却气管24上设置
有抽拉式的开关门26，冷却气管24内分布有过滤层。27。箱体1的外壁上设置有采用耐高温玻璃制成的观察窗口28。
17.本实施例的实施方式：通过升降气缸7将开关舱门3升起，并升降电机8将限位块9升到顶点，再通过推动气缸6带动滑块5在横向滑槽4上移动，从而使吊装钩10将吊起的产品进行带入或带出箱体1内；箱体1内的产品放置到放置凹槽11内，并通过螺纹定位杆13控制定位块12根据产品直径所限位，且升降电机8将限位块9下降对产品高度进行限位，并升降气缸7对开关舱门3进行下降使箱体1密闭；完成后通过开启开关阀门22，从而使真空机械泵20将箱体1内的空气由真空气管19进行抽真空，并采用真空计21进行数据收集；加热层2对箱体1进行加热，同时加温器16对物料进行加热，当产品加热完毕时，伸缩杆14控制存料盒15移动，使灌料管17对准灌料口后，将开启自动开关阀18使物料由灌料管17排出进行灌料；灌料完成后，冷却泵25将冷却的风由冷却气管24和通风口23带入到箱体1内，从而对箱体1内的温度进行加速降温，开关门26在箱体1工作时进行密闭，并且过滤层27保证进箱体1内冷却的风的洁净度；设置观察窗口28对箱体1内的工作进行实时观察，从而防止产生错误；本发明大大提高了上下料的便捷性和人工效率，并且生产质量和准确度也大大提高了。