一种光分束器及其应用的制作方法

技术特征：
1.一种光分束器，包括设置在基底上的微结构阵列，所述微结构阵列包括多个微结构，其特征在于：所述微结构为宝盖形，并且所述微结构的轴线与微结构阵列的列方向平行，而与微结构阵列的行方向垂直；分别定义所述微结构阵列的行方向、列方向为x方向、y方向，则所述微结构满足下列条件中的至少一个：0.4＜a1/a2＜0.7、0.4＜b1/b2＜0.7、0.3＜c1/c2＜0.5；其中，a1为一个微结构的盖中底与位于同一列的下一个微结构的盖中顶在y方向上的距离，a2为一个微结构的盖中顶与盖中底在y方向上的距离，b1为一个微结构的盖底的两个尖角的顶端在x方向上的距离，b2为一个微结构的盖底的一个尖角的顶端与位于同一行的下一个微结构的盖底的相邻尖角的顶端在x方向上的距离，c1为一个微结构的盖中顶到盖上部平台拐点在y方向上的距离，c2为一个微结构的盖上部平台拐点到盖底的任意一个尖角的顶端在y方向上的距离。2.根据权利要求1所述的光分束器，其特征在于：所述单束光为激光；和/或，所述光分束器用于将单束光分束为3
×
7的多束光；和/或，所述单束光的波长为600
‑
1000nm。3.根据权利要求1所述的光分束器，其特征在于：所述光分束器在x方向、y方向上的衍射角度分别为6
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12
°
、12
‑
18
°
。4.根据权利要求1所述的光分束器，其特征在于：所述基底和微结构均是透明材质的，所述微结构包括设置在基底表面的突起结构或凹下结构；和/或，所述微结构相对于基底表面凸起的高度或凹下的深度为400
‑
1200nm。5.根据权利要求4所述的光分束器，其特征在于：所述微结构至少是通过压印或刻蚀方式在基底表面形成。6.根据权利要求1
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5中任一项所述的光分束器，其特征在于：所述基底及微结构的材质包括光学玻璃或光学树脂。7.权利要求1
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6中任一项所述的光分束器在基于飞行时间或结构光的深度检测或三维检测中的应用。8.一种光学组件，其特征在于，包括光源和权利要求1
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6中任一项所述的光分束器；所述光分束器用于对所述光源发射的光线进行分束。9.根据权利要求8所述的光学组件，其特征在于：所述光源包括激光器。10.权利要求8
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9中任一项所述的光学组件在基于飞行时间或结构光的深度检测或三维检测中的用途。

技术总结
本发明公开了一种光分束器及其应用。所述光分束器包括设置在基底上的微结构阵列，所述微结构阵列包括多个微结构，所述微结构为宝盖形，且所述微结构的轴线与微结构阵列的列方向平行，并与微结构阵列的行方向垂直。本发明的光分束器能实现3


技术研发人员：刘建奇 郑之华
受保护的技术使用者：苏州燃腾光电科技有限公司
技术研发日：2021.06.15
技术公布日：2021/9/17