一种检测金属薄片装置的制作方法

技术特征：
1.一种检测金属薄片装置，其特征在于，包括：机械臂、检测腔体、气体分析室、ccd镜头、加热台和紫外灯；所述检测腔体上开设有进气阀门、出气阀门和仓门；所述机械臂置于所述检测腔体一侧，用于抓取金属薄片；所述加热台置于所述检测腔体内，用于加热金属薄片；所述检测腔体的进气端上设置有进气阀门，所述检测腔体的出气端上设置有出气阀门，且进气阀门和出气阀门分别用于通入和排出气体；所述紫外灯设置于所述检测腔体顶部，用于照射金属薄片；所述ccd镜头置于所述检测腔体内，且所述ccd镜头位于所述紫外灯的一侧，用于拍照识别金属薄片上的残留物；所述气体分析室置于所述检测腔体的一侧，且所述气体分析室的进气端与所述出气阀门连通。2.根据权利要求1所述一种检测金属薄片装置，其特征在于，所述紫外灯和ccd镜头滑动设置于所述检测腔体顶部。3.根据权利要求1所述一种检测金属薄片装置，其特征在于，还包括：可伸缩支撑柱；所述可伸缩支撑柱为多个，且多个所述可伸缩支撑柱置于所述加热台上，多个所述可伸缩支撑柱用于支撑金属薄片。4.根据权利要求1所述一种检测金属薄片装置，其特征在于，所述气体分析室为紫外可见分光仪器或紫外可见分光仪器。5.根据权利要求1所述一种检测金属薄片装置，其特征在于，还包括：驱动单元；所述驱动单元与所述机械臂、检测腔体、气体分析室、ccd镜头、加热台、紫外灯、进气阀门、出气阀门和仓门电连接，用于驱动所述机械臂、检测腔体、气体分析室、ccd镜头、加热台、紫外灯、进气阀门、出气阀门和仓门。6.根据权利要求1所述一种检测金属薄片装置，其特征在于，所述检测腔体的进气端和出气端上分别设置有两个通量阀门，两个所述通量阀门分别用于检测进入和排出所述检测腔体内气体的体积。

技术总结
本实用新型公开了一种检测金属薄片装置，机械臂置于检测腔体一侧，用于抓取金属薄片；加热台置于检测腔体内；检测腔体的进气端上设置有进气阀门，检测腔体的出气端上设置有出气阀门；紫外灯设置于检测腔体顶部；CCD镜头置于检测腔体内，CCD镜头位于紫外灯的一侧；气体分析室置于检测腔体的一侧，气体分析室的进气端与出气阀门连通。通过加热台、CCD镜头和紫外灯的设置检测金属薄片上残留的有机材料，以确保金属薄片上的有机材料全部蒸镀完全；防止金属薄片在下次蒸镀时残余的有机材料会叠加上新蒸镀上的有机材料，同时防止再次蒸镀到基板上会影响成膜的厚度，导致器件的光电性能不佳，使用新的有机材料会产生交叉污染现象。使用新的有机材料会产生交叉污染现象。使用新的有机材料会产生交叉污染现象。


技术研发人员：黄逸臻 张梦姿
受保护的技术使用者：福建华佳彩有限公司
技术研发日：2021.01.14
技术公布日：2021/10/8