一种硅片用加工装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅片技术领域，具体为一种硅片用加工装置。


背景技术：

2.硅片是由硅棒经过加工制成，硅棒需要经过多个制作工序才能生产出合格的硅片，生产工序大致有切片、激光标识、倒角、膜片、俯视、被损伤、边缘抛光、预热、退火、背封、粘片和抛光等步骤，其中抛光需要用到双面研磨机，而在抛光前，需要先将抛光垫固定在上磨盘与下磨盘表面才能对硅片进行抛光工作。
3.现有的抛光垫多采用背胶粘贴的形式与磨盘表面进行固定，但在使用过程中，一旦背胶出现涂抹不均匀或使用的背胶粘性不达标，就有可能使抛光垫与磨盘出现局部分离或脱落，令硅片的抛光工序受到影响，从而导致生产出的硅片难以达到使用要求，无法满足使用者的生产需求。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片用加工装置，具备防止抛光垫脱离的优点，解决了当背胶粘性不足时，抛光垫可能会与磨盘发生局部分离脱落的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片用加工装置，包括主体、支架、上磨盘、下磨盘和环形挡板，所述支架的底部与主体的顶部固定连接，所述上磨盘与支架的内部活动连接，所述下磨盘与主体的内部活动连接，所述环形挡板的底部与主体的顶部固定连接，所述下磨盘的顶部活动连接有抛光垫，所述下磨盘的侧表面固定套接有固定管，所述固定管的侧表面螺纹连接有环形拉块，所述下磨盘的侧表面活动套接有第一夹块，所述第一夹块的侧表面与抛光垫的侧面活动连接，所述第一夹块的侧表面螺纹连接有第二夹块，所述第二夹块的内部与抛光垫的侧面活动连接，所述第一夹块的内部活动连接有连接螺栓，所述连接螺栓的侧表面与第二夹块的内部活动连接，所述第一夹块通过固定螺栓与环形拉块的内部连接，所述固定螺栓的侧表面活动套接有垫块，所述抛光垫的顶部活动连接有固定环，所述固定环通过对拉螺栓与环形拉块的内部连接，所述对拉螺栓的顶端固定连接有旋钮。
8.优选的，所述固定管的底端固定连接有限制块，所述限制块的顶部与环形拉块的底部抵持。
9.优选的，所述第一夹块与第二夹块的内部均开设有第一螺纹槽，所述连接螺栓的侧表面与第一螺纹槽的内部螺纹连接。
10.优选的，所述第一夹块与环形拉块的内部均开设有第二螺纹槽，所述固定螺栓的侧表面与第二螺纹槽的内部螺纹连接。
11.优选的，所述第一夹块与环形拉块的内部均开设有第二螺纹槽，所述固定螺栓的
侧表面与第二螺纹槽的内部螺纹连接。
12.优选的，所述对拉螺栓的底端固定连接有对拉块，所述对拉块的顶部与环形拉块的底部抵持。
13.与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅片用加工装置，具备以下有益效果：
14.1、该硅片用加工装置，通过洗磨盘、抛光垫、固定管、环形拉块、第一夹块、第二夹块、连接螺栓、固定螺栓、固定环、对拉螺栓、旋钮和对拉块之间的相互配合，可以通过固定环将抛光垫与下磨盘的顶部连接，达到了防止抛光垫与磨盘分离脱离的效果，解决了当背胶粘性不足时，抛光垫可能会与磨盘发生局部分离脱落的问题。
15.2、该硅片用加工装置，通过抛光垫、固定管、环形拉块、第一夹块、第二夹块和连接螺栓之间的相互配合，可以先通过第一夹块与第二夹块将抛光垫夹持在两者之间，然后将第一夹块套接在下磨盘表面，并通过连接螺栓将其与环形拉块连接，从使抛光垫被绷紧，达到了防止抛光垫松弛的效果，解决了当仅使用固定环将抛光垫与下磨盘连接时，抛光垫表面难以处于紧绷状态，从而导致抛光垫表面出现褶皱，进而影响硅片抛光质量的问题。
附图说明
16.图1为本实用新型局部剖视图；
17.图2为本实用新型图1中a处放大图；
18.图3为本实用新型图1中b处放大图。
19.其中：1、主体；2、支架；3、上磨盘；4、下磨盘；5、环形挡板；6、抛光垫；7、固定管；8、环形拉块；9、第一夹块；10、第二夹块；11、第一螺纹槽；12、连接螺栓；13、第二螺纹槽；14、固定螺栓；15、垫块；16、固定环；17、第三螺纹槽；18、对拉螺栓；19、旋钮；20、对拉块。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1
‑
3，一种硅片用加工装置，包括主体1、支架2、上磨盘3、下磨盘4和环形挡板5，主体1为双面研磨机，该种研磨机主要用于两面平行的晶体或其它机械零件进行双面研磨，特别是薄脆性材料的加工，适用于各种材质的机械密封环、陶瓷片、气缸活塞环、油泵叶片轴承端面及硅、锗、石英晶体、石墨、蓝宝石、光学水晶、玻璃、铌酸锂、硬质合金、不锈钢、粉末冶金等金属材料的平面研磨和抛光，支架2的底部与主体1的顶部固定连接，上磨盘3与支架2的内部活动连接，下磨盘4与主体1的内部活动连接，环形挡板5的底部与主体1的顶部固定连接，下磨盘4位于环形挡板5的内部，下磨盘4的顶部活动连接有抛光垫6，下磨盘4的侧表面固定套接有固定管7，固定管7的侧表面螺纹连接有环形拉块8，固定管7的底端固定连接有限制块，限制块的顶部与环形拉块8的底部抵持，下磨盘4的侧表面活动套接有第一夹块9，第一夹块9的侧表面与抛光垫6的侧面活动连接，第一夹块9的侧表面螺纹连接有第二夹块10，第二夹块10的内部与抛光垫的侧面活动连接，第一夹块9与第二夹块10均为环形夹块，当第一夹块9与第二夹块10螺纹连接后，抛光垫6将被这两个夹持固定。
22.第一夹块9的内部活动连接有连接螺栓12，连接螺栓12的侧表面与第二夹块10的内部活动连接，第一夹块9与第二夹块10的内部均开设有第一螺纹槽11，连接螺栓12的侧表面与第一螺纹槽11的内部螺纹连接，第一夹块9通过固定螺栓14与环形拉块8的内部连接，第一夹块9与环形拉块8的内部均开设有第二螺纹槽13，固定螺栓14的侧表面与第二螺纹槽13的内部螺纹连接，固定螺栓14的侧表面活动套接有垫块15，垫块15的底部与第一夹块9的顶部抵持，固定螺栓14的顶端固定连接有挡块，挡块的底部与垫块15的顶部抵持，通过抛光垫6、固定管7、环形拉块8、第一夹块9、第二夹块10和连接螺栓12之间的相互配合，可以先通过第一夹块9与第二夹块10将抛光垫6夹持在两者之间，然后将第一夹块9套接在下磨盘4表面，并通过连接螺栓12将其与环形拉块8连接，从使抛光垫6被绷紧，达到了防止抛光垫6松弛的效果，解决了当仅使用固定环16将抛光垫6与下磨盘4连接时，抛光垫6表面难以处于紧绷状态，从而导致抛光垫6表面出现褶皱，进而影响硅片抛光质量的问题。
23.抛光垫6的顶部活动连接有固定环16，固定环16通过对拉螺栓18与环形拉块8的内部连接，第一夹块9与环形拉块8的内部均开设有第二螺纹槽13，固定螺栓14的侧表面与第二螺纹槽13的内部螺纹连接，对拉螺栓18的底端固定连接有对拉块20，对拉块20的顶部与环形拉块8的底部抵持，对拉螺栓18的顶端固定连接有旋钮19，上磨盘3上同样安装有用于固定抛光垫6的结构，且这些机构均与下磨盘上的机构相同，通过下磨盘4、抛光垫6、固定管7、环形拉块8、第一夹块9、第二夹块10、连接螺栓12、固定螺栓14、固定环16、对拉螺栓18、旋钮19和对拉块20之间的相互配合，可以通过固定环16将抛光垫6与下磨盘4的顶部连接，从而达到了防止抛光垫6脱离的效果，解决了当背胶粘性不足时，抛光垫6可能会与磨盘发生局部分离脱落的问题。
24.在使用时，先将环形拉块8与固定管7螺纹连接，再将抛光垫6夹持在第一夹块9与第二夹块10之间，并使第一夹块9与第二夹块10螺纹连接，然后将第一夹块9套接在下磨盘4的侧表面，此时抛光垫6将下磨盘4的顶部包裹，且抛光垫6将一直处于绷紧状态，然后使用固定螺栓14，将第一夹块9与环形拉块8连接，夹块的位置被固定，最后将固定环16套接在包裹有抛光垫6的下磨盘4顶部，并拧动旋钮19，使固定环16被对拉螺栓18固定在环形拉块8上，此时，抛光垫6的底部与下磨盘4的顶部紧密贴合，抛光垫6被固定与下磨盘4之上，便完成了抛光垫6的安装工作。
25.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。