一种溅射靶材检测机构的制作方法

技术特征：
1.一种溅射靶材检测机构，其特征在于，包括输料装置(1)以及检测装置(2)；所述检测装置(2)包括机械手(21)、翻转组件(22)、升降旋转组件(23)以及拍摄组件(24)，所述机械手(21)安装于所述升降旋转组件(23)的上方并能够在所述升降旋转组件(23)的上方沿水平方向和纵向移动，所述翻转组件(22)与所述升降旋转组件(23)间隔设置，所述拍摄组件(24)与所述升降旋转组件(23)间隔设置，所述翻转组件(22)翻转所述升降旋转组件(23)上的物料，所述升降旋转组件(23)旋转升降物料，所述拍摄组件(24)检测物料表面的平整度。2.如权利要求1所述的一种溅射靶材检测机构，其特征在于，所述机械手(21)包括导轨(211)、第一动力件(212)以及抓手(213)；所述第一动力件(212)安装于所述导轨(211)的一端，所述抓手(213)滑动连接于所述导轨(211)上，所述第一动力件(212)带动所述抓手(213)在所述导轨(211)上沿水平方向移动。3.如权利要求2所述的一种溅射靶材检测机构，其特征在于，所述抓手(213)包括安装板(2131)、升降组件(2132)以及吸盘组件(2133)；所述安装板(2131)滑动连接于所述导轨(211)上，所述升降组件(2132)装设于所述安装板(2131)上，所述吸盘组件(2133)安装于所述升降组件(2132)上，所述升降组件(2132)带动吸盘组件(2133)升降运动。4.如权利要求3所述的一种溅射靶材检测机构，其特征在于，所述吸盘组件(2133)包括吸盘固定架(2134)以及吸盘(2135)，所述吸盘固定架(2134)的边缘凸出形成有固定部，所述吸盘(2135)装设于所述固定部上。5.如权利要求1所述的一种溅射靶材检测机构，其特征在于，所述升降旋转组件(23)包括升降机(231)、基板(232)以及旋转平台(233)；所述基板(232)安装于所述升降机(231)上，所述旋转平台(233)安装于所述基板(232)上。6.如权利要求5所述的一种溅射靶材检测机构，其特征在于，所述旋转平台(233)包括旋转台(2331)、安装于所述基板(232)上的第二动力件(2332)以及转动安装于所述基板(232)上的从动轮，所述从动轮与所述旋转台(2331)连接；所述第二动力件(2332)通过传动带带动从动轮转动，所述旋转台(2331)随所述从动轮转动。7.如权利要求6所述的一种溅射靶材检测机构，其特征在于，所述从动轮的外圈还设置有保护罩(2333)，所述保护罩(2333)安装于所述基板(232)与旋转台(2331)之间。8.如权利要求6所述的一种溅射靶材检测机构，其特征在于，所述翻转组件(22)间隔设置于所述旋转台(2331)的外围并包括第三动力件(221)、安装夹(222)、气动件(223)以及夹块(224)；所述第三动力件(221)与所述安装夹(222)连接并带动安装夹(222)转动，所述气动件(223)装设于所述安装夹(222)上并与所述夹块(224)连接，所述气动件(223)带动夹块(224)朝靠近或远离旋转台(2331)的方向运动。9.如权利要求8所述的一种溅射靶材检测机构，其特征在于，所述翻转组件(22)还包括滑轨(225)以及滑块(226)，所述滑轨(225)与安装夹(222)连接，所述滑块(226)安装于所述夹块(224)上并与所述滑轨(225)滑动连接。10.如权利要求6所述的一种溅射靶材检测机构，其特征在于，所述拍摄组件(24)包括第一光源(241)、第二光源(242)、第一工业相机(243)以及第二工业相机(244)；所述第一光源(241)和第一工业相机(243)均可拆卸安装于所述旋转台(2331)的上方，且所述第一光源(241)安装于所述第一工业相机(243)的前端，所述第二光源(242)和第二工业相机(244)均可拆卸安装于所述旋转台(2331)的外围，且所述第二光源(242)安装于第二工业相机(244)
的前端，所述第一工业相机(243)和第二工业相机(244)均与显示屏电性连接。

技术总结
本发明公开了一种溅射靶材检测机构，包括输料装置以及检测装置；所述检测装置包括机械手、翻转组件、升降旋转组件以及拍摄组件，所述机械手安装于所述升降旋转组件的上方并能够在所述升降旋转组件的上方沿水平方向和纵向移动，所述翻转组件与所述升降旋转组件间隔设置，所述拍摄组件与所述升降旋转组件间隔设置，所述翻转组件翻转所述升降旋转组件上的物料，所述升降旋转组件旋转升降物料，所述拍摄组件拍摄检测物料表面的平整度。组件拍摄检测物料表面的平整度。组件拍摄检测物料表面的平整度。


技术研发人员：张克芳 张鸿雁 程文 王孔甦
受保护的技术使用者：武汉凤翔科技发展有限公司
技术研发日：2021.08.13
技术公布日：2021/10/29