一种溅射靶材检测机构的制作方法

1.本发明涉及靶材检测技术领域，尤其涉及一种溅射靶材检测机构。


背景技术：

2.在靶材生成制作过程中，采用溅射法在靶材表面镀膜，靶材表面若不平整，将会导致靶材通过溅射所镀的膜不均匀。而现有生产中，一般采用肉眼观察的方式观察靶材表面平整度，其不仅需要消耗一定的人力物力，效率低，而且容易产生误差无法准确将表面不平整的靶材剔除，从而导致靶材表面所镀的膜厚度不均匀。
3.鉴于以上所述，实有必要提供一种新型的溅射靶材检测机构以克服上述缺陷。


技术实现要素：

4.本发明的目的是提供一种溅射靶材检测机构，能够自动拍摄检测物料表面的平整度情况，不再需要采取人工逐个检测的方式进行检测，也避免了因人工检测易存在误差的情况发生。
5.为了实现上述目的，本发明提供一种溅射靶材检测机构，包括输料装置以及检测装置；所述检测装置包括机械手、翻转组件、升降旋转组件以及拍摄组件，所述机械手安装于所述升降旋转组件的上方并能够在所述升降旋转组件的上方沿水平方向和纵向移动，所述翻转组件与所述升降旋转组件间隔设置，所述拍摄组件与所述升降旋转组件间隔设置，所述翻转组件翻转所述升降旋转组件上的物料，所述升降旋转组件旋转升降物料，所述拍摄组件拍摄检测物料表面的平整度。
6.优选的，所述机械手包括导轨、第一动力件以及抓手；所述第一动力件安装于所述导轨的一端，所述抓手滑动连接于所述导轨上，所述第一动力件带动所述抓手在所述导轨上沿水平方向移动。
7.优选的，所述抓手包括安装板、升降组件以及吸盘组件；所述安装板滑动连接于所述导轨上，所述升降组件装设于所述安装板上，所述吸盘组件安装于所述升降组件上，所述升降组件带动吸盘组件升降运动。
8.优选的，所述吸盘组件包括吸盘固定架以及吸盘，所述吸盘固定架的边缘凸出形成有固定部，所述吸盘装设于所述固定部上。
9.优选的，所述升降旋转组件包括升降机、基板以及旋转平台；所述基板安装于所述升降机上，所述旋转平台安装于所述基板上。
10.优选的，所述旋转平台包括旋转台、安装于所述基板上的第二动力件以及转动安装于所述基板上的从动轮，所述从动轮与所述旋转台连接；所述第二动力件通过传动带带动从动轮转动，所述旋转台随所述从动轮转动。
11.优选的，所述从动轮的外圈还设置有保护罩，所述保护罩安装于所述基板与旋转台之间。
12.优选的，所述翻转组件间隔设置于所述旋转台的外围并包括第三动力件、安装夹、
气动件以及夹块；所述第三动力件与所述安装夹连接并带动安装夹转动，所述气动件装设于所述安装夹上并与所述夹块连接，所述气动件带动夹块朝靠近或远离旋转台的方向运动。
13.优选的，所述翻转组件还包括滑轨以及滑块，所述滑轨与安装夹连接，所述滑块安装于所述夹块上并与所述滑轨滑动连接。
14.优选的，所述拍摄组件包括第一光源、第二光源、第一工业相机以及第二工业相机；所述第一光源和第一工业相机均可拆卸安装于所述旋转台的上方，且所述第一光源安装于所述第一工业相机的前端，所述第二光源和第二工业相机均可拆卸安装于所述旋转台的外围，且所述第二光源安装于第二工业相机的前端，所述第一工业相机和第二工业相机均与显示屏电性连接。
15.与现有技术相比，本发明提供的一种溅射靶材检测机构，有益效果在于：1)能够自动拍摄检测物料表面的平整度情况，不再需要采取人工逐个检测的方式进行检测，也避免了因人工检测易存在误差的情况发生。
16.2)在翻转组件的夹块上开设卡槽，卡槽内设置有柔性缓冲垫，以便溅射靶材的边缘卡持于卡槽内时易被损伤。
附图说明
17.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
18.图1为本发明提供的溅射靶材检测机构的立体图。
19.图2为图1所示的溅射靶材检测机构的机械手的立体图。
20.图3为图1所示的溅射靶材检测机构的升降旋转组件的立体图。
21.图4为图1所示的溅射靶材检测机构的翻转组件的立体图。
22.图5为图1所示的溅射靶材检测机构的拍摄组件的立体图。
23.附图标记：1、输料装置；2、检测装置；11、支撑架；12、辊柱；21、机械手；22、翻转组件；23、升降旋转组件；24、拍摄组件；211、导轨；212、第一动力件；213、抓手；2131、安装板；2132、升降组件；2133、吸盘组件；2134、吸盘固定架；2135、吸盘；231、升降机；232、基板；233、旋转平台；2311、底架；2312、剪叉式支撑架；2313、横杆；2314、第二动力件；2331、旋转台；2332、第二动力件；2333、保护罩；221、第三动力件；222、安装夹；223、气动件；224、夹块；2241、卡槽；225、滑轨；226、滑块；227、减速机；241、第一光源、242、第二光源；243、第一工业相机；244、第二工业相机244。
具体实施方式
24.为了使本发明的目的、技术方案和有益技术效果更加清晰明白，以下结合附图和具体实施方式，对本发明进行进一步详细说明。应当理解的是，本说明书中描述的具体实施方式仅仅是为了解释本发明，并不是为了限定本发明。
25.需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等
指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
26.还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况上述术语在本发明中的具体含义。
27.此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。此外，“多个”、“若干”的含义是指两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
28.请参阅图1，本发明提供一种溅射靶材检测机构，包括输料装置1以及检测装置2；所述检测装置2包括机械手21、翻转组件22、升降旋转组件23以及拍摄组件24，所述机械手21安装于所述升降旋转组件23的上方并能够在所述升降旋转组件23的上方沿水平方向和纵向移动，所述翻转组件22与所述升降旋转组件23间隔设置，所述拍摄组件24与所述升降旋转组件23间隔设置，所述输料装置1用于向所述升降旋转组件23输送物料(溅射靶材)，所述翻转组件22用于翻转所述升降旋转组件23上的物料，所述升降旋转组件23用于旋转升降物料，所述拍摄组件24用于拍摄检测物料表面的平整度，所述拍摄组件24与显示屏电性连接。
29.进一步的，所述输料装置1包括支撑架11以及转动连接于所述支撑架11上的辊柱12。在本实施例中，辊柱12的数量为若干个，当若干个辊柱12沿顺时针方向转动时，物料朝靠近检测装置2的方向移动，当若干个辊柱12沿逆时针方向转动时，物料朝远离检测装置2的方向移动。
30.请一同参阅图2至图5，进一步的，所述机械手21包括导轨211、第一动力件212以及抓手213；所述第一动力件212安装于所述导轨211的一端，所述抓手213滑动连接于所述导轨211上，所述第一动力件212带动所述抓手213在所述导轨211上沿水平方向移动。
31.进一步的，所述导轨211内部设置有滚珠丝杠，所述第一动力件212与所述滚珠丝杠的螺杆连接，所述抓手213与所述滚珠丝杠的螺杆上的螺母连接，所述第一动力件212带动螺杆转动，螺母在螺杆上直线运动。
32.进一步的，所述抓手213包括安装板2131、升降组件2132以及吸盘组件2133；所述安装板2131滑动连接于所述导轨211上，所述升降组件2132装设于所述安装板2131上，所述吸盘组件2133安装于所述升降组件2132上，所述升降组件2132带动吸盘组件2133升降运动。在本实施例中，所述升降组件2132可以为滚珠丝杠或伸缩气缸。
33.进一步的，所述吸盘组件2133包括吸盘固定架2134以及吸盘2135，所述吸盘固定架2134的边缘凸出形成有固定部，所述吸盘2135装设于所述固定部上。在本实施例中，所述固定部的数量为若干个，每个固定部上均安装有一个吸盘2135。
34.进一步的，所述升降旋转组件23包括升降机231、基板232以及旋转平台233；所述基板232安装于所述升降机231的顶部，所述旋转平台233安装于所述基板232的顶面上。在
本实施例中，所述升降机231为剪叉式升降机。
35.进一步的，所述升降机231包括底架2311、剪叉式支撑架2312、横杆2313以及第二动力件2314；所述剪叉式支撑架2312的数量为两个，两个剪叉式支撑架2312平行间隔设置且两个剪叉式支撑架2312的底部均与底架2311转动连接，所述横杆2313的数量为若干个，若干个横杆2313均转动连接于两个剪叉式支撑架2312之间，所述第二动力件2314与其中一个横杆2313连接并带动所述其中一个横杆2313移动使两个剪叉式支撑架2312扩展或收缩。
36.当所述第二动力件2314推动其中一个横杆2313向前移动时，此时两个剪叉式支撑架2312收缩，基板232在剪叉式支撑架2312收缩时下降，当所述第二动力件2314拉动其中一个横杆2313向后移动时，此时两个剪叉式支撑架2312扩张，基板232在剪叉式支撑架2312扩张时上升。
37.在本实施例中，所述第一动力件2332为伺服电机，所述第二动力件2314为伺服电动缸。
38.进一步的，所述旋转平台233包括旋转台2331、安装于所述基板232上的第二动力件2332以及转动安装于所述基板232上的从动轮，所述从动轮与所述旋转台2331连接；所述第二动力件2332通过传动带230带动从动轮转动，所述旋转台2331随所述从动轮转动。如此，当溅射靶材放置于旋转台2331上时，所述第二动力件2332通过传动带230带动从动轮转动，所述旋转台2331随所述从动轮转动使得溅射靶材旋转。
39.进一步的，所述从动轮的外圈还设置有保护罩2333，所述保护罩2333安装于所述基板232与旋转台2331之间。传动带穿过保护罩2333套设于从动轮上，所述第二动力件2332通过传动带230带动从动轮转动，所述旋转台2331随所述从动轮转动使得溅射靶材旋转。
40.进一步的，所述翻转组件22间隔设置于所述旋转台2331的外围并包括第三动力件221、安装夹222、气动件223以及夹块224；所述第三动力件221与所述安装夹222连接并带动安装夹222转动，所述气动件223装设于所述安装夹222上并与所述夹块224连接，所述气动件223带动夹块224朝靠近或远离升降旋转组件23的旋转平台233的旋转台2331的方向运动。
41.进一步的，所述夹块224靠近升降旋转组件23的一侧开设有卡槽2241，以便溅射靶材的边缘卡持于卡槽2241内。
42.进一步的，所述卡槽2241内设置有柔性缓冲垫，防止溅射靶材卡持于夹块224的卡槽2241内时被损伤。
43.进一步的，所述翻转组件22还包括滑轨225以及滑块226，所述滑轨225的一端与安装夹222连接，所述滑块226安装于所述夹块224的底部并与所述滑轨225滑动连接。
44.进一步的，所述翻转组件22还包括减速机227，所述减速机227连接于所述第三动力件221和安装夹222之间。在本实施例中，所述第一动力件212、第二动力件2332以及第三动力件221均为伺服电机，所述气动件223为气缸，所述减速机227为行星齿轮减速机。
45.进一步的，所述拍摄组件24包括第一光源241、第二光源242、第一工业相机243以及第二工业相机244；所述第一光源241和第一工业相机243均可拆卸安装于所述旋转台2331的上方，且所述第一光源241安装于所述第一工业相机243的前端，所述第一光源241发射的光照射于旋转台2331上的溅射靶材的上表面，所述第一工业相机243拍摄溅射靶材的上表面；
46.所述第二光源242和第二工业相机244均可拆卸安装于所述旋转台2331的外围，且所述第二光源242安装于第二工业相机244的前端，所述第二光源242发射的光照射于旋转台2331上的溅射靶材的外围，所述第二工业相机244拍摄溅射靶材的侧表面，所述第一工业相机243和第二工业相机244均与显示屏电性连接。
47.使用时，若干个辊柱12沿顺时针方向转动，物料朝靠近检测装置2的方向移动，待物料移动至预定的位置时，所述第一动力件212带动所述抓手213在所述导轨211上沿水平方向朝靠近物料的方向移动至溅射靶材的正上方，所述升降组件2132带动吸盘组件2133下降运动，
48.所述吸盘组件2133的吸盘2135吸取溅射靶材，所述升降组件2132带动吸盘组件2133上升运动，此时所述第一动力件212带动所述抓手213在所述导轨211上沿水平方向移动至旋转台2331的正上方，所述升降组件2132再次带动吸盘组件2133下降运动以便将溅射靶材放置于旋转台2331上；
49.所述第一光源241发射的光照射于旋转台2331上的溅射靶材的上表面，所述第一工业相机243拍摄溅射靶材的上表面，显示屏显示所述第一工业相机243拍摄的影像，以便检测人员在显示屏上观察溅射靶材上表面的平整度；
50.然后所述翻转组件22的气动件223带动夹块224朝靠近旋转台2331的方向运动，通过夹块224的卡槽2241卡住溅射靶材的边缘，所述第三动力件221带动所述安装夹222旋转180
°
，所述夹块224随所述安装夹222旋转180
°
将溅射靶材翻面，此时溅射靶材的下表面朝上，
51.所述第一光源241发射的光照射于旋转台2331上的溅射板材的下表面上，所述第一工业相机243拍摄溅射靶材的下表面，显示屏显示所述第一工业相机243拍摄的影像，以便检测人员在显示屏上观察溅射靶材上表面的平整度；
52.所述第二动力件2332通过传动带带动从动轮转动，所述旋转台2331随所述从动轮转动使得溅射靶材旋转，所述第二光源242发射的光照射于旋转台2331上的溅射靶材的外围，所述第二工业相机244拍摄溅射靶材的侧表面，显示屏显示所述第二工业相机244拍摄的影像，以便检测人员在显示屏上观察溅射靶材上表面的平整度。
53.本发明并不仅仅限于说明书和实施方式中所描述，因此对于熟悉领域的人员而言可容易地实现另外的优点和修改，故在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念的精神和范围的情况下，本发明并不限于特定的细节、代表性的设备和这里示出与描述的示例。