一种盲孔电镀方法和电镀装置与流程

技术特征：
1.一种盲孔电镀方法，其特征在于，盲孔电镀需要经过至少1次清洗处理、n 1次酸浸处理、n 1次电镀和n次加速处理，其中，n为自然数；电镀步骤包括：(1)清洗待镀件表面的异物；(2)将待镀件浸泡在第一酸浸槽中；(3)将待镀件放入第一电镀槽中进行电镀；(4)将待镀件水洗干净，然后放入第一加速槽中加速；(5)将待镀件水洗干净，然后浸泡在第二酸浸槽中；(6)将待镀件放入第二电镀槽中进行电镀。2.根据权利要求1所述的一种盲孔电镀方法，其特征在于，电镀步骤还包括：(7)将待镀件水洗干净，然后放入下一个加速槽中加速；(8)将待镀件水洗干净，然后浸泡在下一个酸浸槽中；(9)将待镀件放入下一个电镀槽中进行电镀；(10)重复步骤(7)～步骤(9)n
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1次。3.根据权利要求1所述的一种盲孔电镀方法，其特征在于，所有酸浸槽中的溶液组成相同，包含50～150ml/l的浓硫酸；浸泡过程中，溶液必须采用强制对流。4.根据权利要求1所述的一种盲孔电镀方法，其特征在于，所有电镀槽中溶液组成相同，包含五水硫酸铜160～280g/l、浓硫酸20～100g/l、氯离子20～80mg/l以及有机添加剂；电镀过程中，溶液必须采用强制对流，溶液温度18～40℃，电镀时间5～60min。5.根据权利要求1所述的一种盲孔电镀方法，其特征在于，所述第二电镀槽至第n 1电镀槽中溶液组成相同，但第二电镀槽与第一电镀槽中溶液组成不同；第一电镀槽中包含五水硫酸铜50～120g/l、浓硫酸160～260g/l、氯离子20～80mg/l，第二电镀槽至第n 1电镀槽中包含五水硫酸铜160～280g/l、浓硫酸20～100g/l、氯离子20～80mg/l；电镀过程中，溶液必须采用强制对流，溶液温度18～40℃，电镀时间5～60min。6.根据权利要求1所述的一种盲孔电镀方法，其特征在于，所有加速槽中溶液组成相同，包含浓硫酸50～150ml/l和氧化剂；加速过程中，溶液无强制对流。7.根据权利要求6所述的一种盲孔电镀方法，加速槽溶液的氧化剂为：双氧水和过硫酸钠中的至少一种。8.一种盲孔电镀装置，其特征在于，所述电镀装置包括待镀件、多段式电镀槽，其中多段式电镀槽包括第一电镀模块和第二电镀模块，所述第一电镀模块包括酸浸槽和电镀槽；所述第二电镀模块包括加速槽、酸浸槽、电镀槽。9.根据权利要求8所述的一种盲孔电镀装置，所述第二电镀模块的数量大于等于2。

技术总结
本发明涉及到一种盲孔电镀方法和电镀装置，所述电镀方法包括：盲孔电镀需要经过1次清洗处理、N 1次酸浸处理、N 1次电镀和N次加速处理，其中，N＝1，2，3，4


技术研发人员：周国云 周慧敏 何为 王守绪 朱凯 缪桦 周进群
受保护的技术使用者：电子科技大学
技术研发日：2021.09.02
技术公布日：2021/10/29