抽液系统的制作方法

1.本发明涉及一种抽液系统，尤指一种可辅助储液桶移动至承载面上特定位置的抽液系统。


背景技术：

2.在半导体及精密电子产业的制程当中，经常需要使用例如研磨液或清洁药剂等化学液体，以提供平坦化制程或相关制造装置的清洁用途。这些化学液体在使用后会暂时储存于液桶中，并在累积一定容量后通过抽液或人工等方式进行移除。然而，由于装满化学残余液体的储液桶具有相当大的重量，若直接通过人力将储液桶移动至抽液专用的承载平台上将会相当吃力；另一方面，目前市面上的承载平台多半为固定型式，一旦储液桶的桶盖以及抽液用的夹具的相对位置产生误差，就必须要在产生偏移的方向上进行人工修正，以将储液桶移动至能使夹具顺利抽液的位置，这也造成了作业上的诸多不便。


技术实现要素：

3.基于本发明的至少一个实施例，本发明的抽液系统可借由承载面上的助动件辅助储液桶移动至承载面上，且由于基座可相对于旋转轴旋转，因此用户无需移动到各个方位，可结合旋转的基座施力将储液桶移动至特定位置，大幅节省人力以及提高作业的便利性。
4.本发明的第一实施例提供一种抽液系统，包括基座、至少一个助动件、多个固持件以及夹具。基座定义承载面以及旋转轴，其中旋转轴垂直于承载面，且基座可相对于旋转轴旋转；助动件配置于承载面上；固持件活动地连接于基座且相对于基座对称配置；夹具与承载面相对配置，基座以及夹具共同定义容置空间，且容置空间适于容置储液桶。
5.另一方面，本发明的第二实施例提供另一种抽液系统，包括基座、至少一个助动件以及多个固持件。基座定义承载面以及旋转轴，其中旋转轴垂直于承载面，且基座可相对于旋转轴旋转；助动件配置于承载面上；固持件活动地连接于基座且相对于基座对称配置。
6.优选地，抽液系统还包括多个螺杆，这些螺杆沿基座的径向配置，且旋转轴通过平分这些固持件的距离的中心。这些固持件各包括中央部以及多个端部，螺杆连接于基座以及这些固持件的各中央部，其中各中央部与中心的距离小于各端部与中心的距离，各端部上配置有转动件，且各转动件相对于承载面具有一高度差。
7.优选地，上述的助动件为单向滚轮、万向滚轮、辊件或履带。
8.优选地，抽液系统还包括限位件，限位件连接于基座以及夹具，且限位件的形状对应于储液桶。
9.优选地，抽液系统还包括倾斜机构，倾斜机构相对于地面枢接，且基座配置于倾斜机构上。
10.优选地，上述的倾斜机构的一端上形成有连接部，且基座配置于倾斜机构远离这端的一部份上。当这端接触地面时，基座以及倾斜机构与地面夹一个角度。
11.优选地，上述的承载面适于承载储液桶，且基座还包括传感单元。当承载面承载储
液桶时，传感单元发生物理形变或产生电子信号。
12.优选地，抽液系统还包括限位件，限位件连接于基座，其中承载面适于承载储液桶，且限位件的形状对应于储液桶。
附图说明
13.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中需求要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本发明的一些实施例，对于本领域一般技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
14.图1为本发明的抽液系统的第一实施例与储液桶协同作用的示意图。
15.图2为图1所示的抽液系统的立体示意图。
16.图3为图2所示的抽液系统下方组件的立体示意图。
17.图4为图3所示的下方组件的前视示意图。
18.图5为当图3所示的下方组件当固持件相对于基座展开时的俯视示意图。
19.图6为图5当固持件相对于基座收合且基座旋转一个方位时的俯视示意图。
20.图7为本发明的抽液系统的另一实施例的下方组件当固持件相对于基座展开时的俯视示意图。
21.图8为图7当固持件相对于基座收合且基座旋转一个方位时的俯视示意图。
22.图9为本发明的抽液系统的再一实施例的下方组件当固持件相对于基座展开时的俯视示意图。
23.图10为图9当固持件相对于基座收合且基座旋转一个方位时的俯视示意图。
24.图11为图3所示的下方组件的侧视示意图。
25.图12为图11所示的下方组件承载储液桶且倾斜一个角度时的示意图。
26.附图标记
27.1 抽液系统
28.110 基座
29.112 承载面
30.114 传感单元
31.120、120a、120b 助动件
32.130 固持件
33.132 中央部
34.134 端部
35.136 转动件
36.140 夹具
37.150 限位件
38.160 螺杆
39.170 倾斜机构
40.172 连接部
41.2 储液桶
42.c 中心
43.h 高度差
44.s 容置空间
45.x 旋转轴
46.θ 角度
具体实施方式
47.有关本发明的前述及其它技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图的较佳实施例的详细说明中，将可清楚地呈现。值得一提的是，以下实施例所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附加附图的方向。因此，使用的方向用语是用以说明，而非对本发明加以限制。此外，在下列各实施例中，相同或相似的组件将采用相同或相似的标号。
48.请参考图1及图2，图1为本发明的抽液系统的第一实施例与储液桶协同作用的示意图，图2为图1所示的抽液系统的立体示意图。本实施例的抽液系统1包括基座110、至少一个助动件120以及多个固持件130，其中基座110定义承载面112以及旋转轴x，旋转轴x垂直于承载面112，且基座110可相对于旋转轴x旋转；助动件120配置于承载面112上；固持件130活动地连接于基座110且相对于基座110对称配置。较佳地，抽液系统1还包括夹具140，其中夹具140与承载面112相对配置，基座110以及夹具140共同定义容置空间s，且容置空间s适于容置储液桶2。
49.详细而言，本实施例的基座110为旋转平台，可自由地相对于旋转轴x在顺时针或逆时针方向上旋转，且承载面112适于承载储液桶2。较佳地，本实施例的抽液系统1还包括限位件150，且限位件150连接于基座110以及夹具140，因此可作为基座110以及夹具140彼此之间的连接构件。在本实施例中，限位件150为弧面挡板，形状对应于储液桶2，且基座110枢接于限位件150的底部，故当储液桶2推上承载面112且不慎出力过大导致储液桶2位置偏移时，限位件150可限制储液桶2的位置以避免储液桶2自基座110上滑落。
50.以下将具体说明本实施例的抽液系统1如何辅助用户将储液桶2移动至基座110上。请参考图3及图4，图3为图2所示的抽液系统下方组件的立体示意图，图4为图3所示的下方组件的前视示意图。承上所述，承载面112上配置有至少一个助动件120，在本实施例中，助动件120为一维的方向滚轮，且数量为10个，当用户从基座110的边缘将储液桶2的一部份倚靠在承载面112上时，通过助动件120的滚动，可以让储液桶2顺利地滑移至承载面112上的特定位置(例如是正中央)。此外，由于基座110可相对于旋转轴x自由旋转，因此无论用户欲从哪一个方位将储液桶2移动至基座110上，均可以在移动前或移动的过程中旋转基座110而得到正确滚动方向的助动件120的辅助而使得搬运的工作变得更加顺利。
51.值得一提的是，在本实施例中，基座110还包括传感单元114，配置于承载面112的中央用以侦测装载有化学残余液体的储液桶2的重量，其中传感单元114可以是一般的秤重弹簧，也可以是会产生数码或电子信号的荷重计、应变规或压电组件。当承载面112承载储液桶2时，传感单元114将产生物理形变或产生电子信号，使抽液系统1或用户得知目前储液桶2的重量，以便进行抽液或卸除储液桶2等程序。然而，在其它的实施例中，基座110也可以不包括传感单元114，且配置的位置及数量也可以依据储液桶2的外型等实际需求进行调
整，本发明对此不加以限制。
52.另一方面，为了避免储液桶2在承载过程中因为基座110旋转或其它因素自基座110上掉落，固持件130对称地配置在基座110周围用以固持储液桶2。具体而言，本实施例的抽液系统1还包括多个螺杆160，其中螺杆160的数量对应于固持件130的数量，且沿基座110的径向配置。更进一步而言，每个固持件130各包括中央部132以及多个端部134，其中这些端部134通过对应的中央部132彼此连接，且螺杆160连接于基座110以及这些固持件130的各中央部132。如图4所示，旋转轴x通过平分这些固持件130的距离的中心c，使得螺接于螺杆160上的固持件130以旋转轴x为中心做远离或接近的移动。
53.除此之外，各端部134上配置有转动件136，其中转动件136例如是滚轮或套筒，相对于承载面112具有高度差h且枢接于对应的端部134上用以抵接并固持储液桶2的桶身。详细而言，如图4所示，各中央部132与中心c的距离小于各端部134与中心c的距离。借此，当螺杆160旋转时，连接于螺杆160的中央部132会先行进入到基座110的底侧内部，而仍在基座110外部的端部134上配置的转动件136会朝径向内侧收紧，并抵接至储液桶2的桶身。
54.以下将对固持件130固持储液桶2的过程做详细的介绍，请参考图5及图6，图5为当图3所示的下方组件当固持件相对于基座展开时的俯视示意图，图6为图5当固持件相对于基座收合且基座旋转一个方位时的俯视示意图。当想要移动储液桶2时，会先将储液桶2的一部份倚靠在承载面112上，此时固持件130相对于基座110如图5所示为展开的状态，用户可以启动螺杆160并带动靠近储液桶2倚靠侧的固持件130，使得转动件136抵接在储液桶2上暂时性地固持，待储液桶2借由上述的助动件120以及基座110旋转移动至预定的位置后，所有的固持件130再一同收紧直到转动件136均抵接至储液桶2的桶身上，成为如图6所示的状态，借此储液桶2在基座110的各个方位均确保有转动件136固持，而不会因为外力或其它因素自基座110上掉落，且因为转动件136可顺应储液桶2的桶身曲线转动，因此可以降低组件接触软质桶身时因压力所造成的桶身变形。除此之外，当承载的储液桶2具有不同规格的大小时，也可以借由固持件130的收紧使储液桶2的中心移动至预定的位置，因此可以对应不同规格及大小的储液桶2。
55.请参考图7至图10，图7为本发明的抽液系统的另一实施例的下方组件当固持件相对于基座展开时的俯视示意图，图8为图7当固持件相对于基座收合且基座旋转一个方位时的俯视示意图，图9为本发明的抽液系统的再一实施例的下方组件当固持件相对于基座展开时的俯视示意图，图10为图9当固持件相对于基座收合且基座旋转一个方位时的俯视示意图。除了上述的单向滚轮外，在其它的实施例中，助动件120也可以是其他的型式，例如利用履带辅助移动的助动件120a(如图7及图8所示)，或是利用万向滚轮辅助移动的助动件120b(如图9及图10所示)，又或者是利用长条形辊件铺置在承载面112上的助动件(未绘示)，甚至可以是上述型式的助动件搭配组合使用，本发明对此并不加以限制。
56.请参考图11及图12，图11为图3所示的下方组件的侧视示意图，图12为图11所示的下方组件承载储液桶且倾斜一个角度时的示意图。当抽液系统1上方的夹具140夹取桶盖并且对储液桶2抽液至一定程度时，桶内的残余液体会减少而使得探入储液桶2内的抽取设备抽取不易。为了解决此问题，本实施例的抽液系统1还包括倾斜机构170，其中倾斜机构170相对于地面枢接，且基座110配置于倾斜机构170上。
57.详细而言，如图11所示，倾斜机构170的一端上形成有连接部172，用以连接下压倾
斜机构170的支撑杆(未绘示)，且基座110配置于倾斜机构170远离连接部172一端的一部份上。当在抽液过程中，抽液系统1或用户通过例如上述的传感单元114得知储液桶2内的化学残余液体少于一定比例时，用户可以将连接于连接部172的支撑杆下压，使得倾斜机构170枢转，从而让连接部172的一端向下位移并接触地面。当连接部172的一端接触地面时，基座110、倾斜机构170以及承载于基座110上的储液桶2的底面与地面夹一个角度θ，借此使得储液桶2内的残余液体能集中于储液桶2底部的一个区域，有利于抽液系统1将残余液体完全抽尽。经实际测试，当角度θ为5-10度的范围时，能有效地让抽液系统1抽尽残余液体，且不会因为倾斜角度过大而使得桶身翻覆。
58.以上所述仅为本发明的实施例，其并非用以局限本发明的专利范围。且应注意的是，凡是与上述实施例等效的变化与置换，均应设为涵盖于本发明的范畴内。因此，本发明的保护范围当以权利要求书所界定的范围为准。