一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构的制作方法

技术特征：
1.一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，其特征在于，包括顶针推顶机构、顶针升降机构、顶针锁紧机构、推顶器底座和固定基座组件，所述固定基座组件固定在半导体生产设备中的大理石底盘上；固定基座组件包括第一l形丝孔块，推顶器底座通过第一x轴底座校准螺丝组件和第一y轴底座校准螺丝组件连接在第一l形丝孔块上；所述顶针升降机构包括连接在推顶器底座上的升降底座，升降底座上设置有升降限位座，升降限位座内设置有音圈升降电机组件和运动位置传感器；所述顶针推顶机构包括顶针下连接座、连接在顶针下连接座上的顶针定位套和连接在顶针定位套上的顶针组件，音圈升降电机组件上端通过第一连接座与顶针下连接座连接，顶针下连接座侧端连通有真空接头，顶针定位套内设置有四个顶针夹持块；所述顶针组件包括顶针和顶针帽；所述顶针锁紧机构包括连接在顶针定位套上的两个顶针x轴微调螺丝和两个顶针y轴微调螺丝；顶针连接在顶针夹持块内，并通过顶针x轴微调螺丝和顶针y轴微调螺丝调节位置；顶针帽连接在顶针定位套上，并且顶针穿过顶针帽上的顶针穿孔。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，其特征在于，所述固定基座组件还包括丝孔块垫板，丝孔块垫板的端部通过垫板固定螺丝连接在大理石底盘上，丝孔块垫板上开有用于限位第一l形丝孔块的第一l形凹槽，第一l形丝孔块通过螺丝连接在第一l形凹槽内的丝孔块垫板上。3.根据权利要求2所述的一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，其特征在于，所述推顶器底座呈方形框架板状，推顶器底座的前后两端分别连接有框架定位片，框架定位片内开设有第一框架定位槽孔，框架定位片通过第一框架定位槽孔内的框架固定旋钮与丝孔块垫板连接。4.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，其特征在于，所述第一x轴底座校准螺丝组件包括第一x轴定位螺丝杆和两个第一x轴调节螺丝帽，第一x轴定位螺丝杆横向穿过推顶器底座和第一l形丝孔块后，端部连接第一x轴调节螺丝帽；所述第一y轴底座校准螺丝组件包括第一y轴定位螺丝杆和两个第二y轴调节螺丝帽，第二y轴定位螺丝杆纵向穿过推顶器底座和第一l形丝孔块后，端部连接第二y轴调节螺丝帽。5.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，其特征在于，所述升降底座呈方形板状，升降限位座呈倒u形板状，升降底座通过螺丝与推顶器底座连接；所述音圈升降电机组件包括固定在升降限位座上的音圈电机定子和连接在活动连接在音圈电机定子上的音圈电机动子，第一连接座与音圈电机动子连接。6.根据权利要求5所述的一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，其特征在于，所述运动位置传感器包括传感定位器和传动移动器，传感定位器连接在升降限位座上，传动移动器连接在音圈电机动子上。7.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，其特征在于，所述顶针夹持块呈扇形块状，四个顶针夹持块形成圆柱状的夹持部，顶针夹持块的内侧端面上开设有半圆形夹持凹槽，相邻的两个顶针夹持块中的半圆形夹持凹槽形成第一通气孔；顶针夹持块的拐角端处设置有扇形夹持凹槽，四个顶针夹持块中的扇形夹持凹槽形成第一顶针夹持孔。
8.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，其特征在于，所述顶针帽的上端面中开设多个顶针穿孔，顶针穿孔的直径为0.3mm。9.根据权利要求4所述的一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，其特征在于，所述推顶器底座的左右侧端面上开设有用于第一x轴定位螺丝杆穿过的第一条形槽孔，第一条形槽孔的长度值大于第一x轴定位螺丝的直径；推顶器底座的左右侧端面上开设有用于第一y轴定位螺丝杆移动的第二条形槽孔，第二条形槽孔的长度值大于第一y轴定位螺丝杆的直径。

技术总结
本实用新型公开一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，包括顶针推顶机构、顶针升降机构、顶针锁紧机构、推顶器底座和固定基座组件；固定基座组件包括第一L形丝孔块，推顶器底座通过第一X轴底座校准螺丝组件和第一Y轴底座校准螺丝组件连接在第一L形丝孔块上；顶针升降机构包括升降底座和升降限位座，升降限位座内设有音圈升降电机组件和运动位置传感器；顶针推顶机构包括顶针下连接座、顶针定位套和顶针组件，顶针定位套内设置有四个顶针夹持块；顶针组件包括顶针和顶针帽；顶针锁紧机构包括连接在顶针定位套上的两个顶针X轴微调螺丝和两个顶针Y轴微调螺丝。该推顶结构的校准更方便准确，性能更稳定。性能更稳定。性能更稳定。


技术研发人员：王耀荣 王振海 盛沙 崔培豹 杨索和 李宏斌
受保护的技术使用者：青岛中科墨云智能有限公司
技术研发日：2021.04.13
技术公布日：2021/10/23