治疗设备及细胞滤膜的制备方法与流程

1.本技术涉及生化检测技术领域，特别涉及一种治疗设备及细胞滤膜的制备方法。


背景技术：

2.癌症患者血液中的循环肿瘤细胞(英文：circulating tumor cell；简称：ctc)是导致患者的癌症发生转移的因素之一。但是，目前的技术无法去除患者血液中的ctc细胞，因此，亟需一种能够去除患者血液中的ctc细胞的治疗设备。


技术实现要素：

3.本技术实施例提供了一种治疗设备及细胞滤膜的制备方法。可以解决现有技术的无法去除患者血液中的ctc细胞的问题，所述技术方案如下：
4.一方面，提供了一种治疗设备，包括：
5.密封盒体；
6.位于密封盒体内的细胞滤膜，所述密封盒体被所述细胞滤膜分隔得到两个腔体，所述两个腔体包括第一腔体和第二腔体；
7.一端与所述密封盒体的第一腔体连通的第一管路，以及一端与所述密封盒体的第二腔体连通的第二管路；
8.其中，所述第一管路远离所述密封盒体的一端，以及所述第二管路远离所述密封盒体的一端，均为与血管连通的端口。
9.可选的，所述密封盒体包括：可拆卸连接的第一壳体和第二壳体；
10.所述细胞滤膜的边缘与所述第一壳体的开口或所述第二壳体任的开口可拆卸连接，所述第一管路的一端与所述第一壳体连通，所述第二管路的一端与所述第二壳体连通。
11.可选的，所述细胞滤膜包括：层叠的柔性层、功能层和掩膜层，所述功能层包括：导电层、遮光层和可被修饰液修饰的生化层中的至少一种。
12.可选的，所述治疗设备还包括：位于所述第一管路和/或位于所述第二管路内的传感器，以及与所述传感器连接的处理器；
13.其中，所述处理器用于基于传感器检测到的流体参数的信息，确定所述细胞滤膜是否发生堵塞。
14.可选的，所述第一管路为液体流入管路，所述第一管路内的传感器为压力传感器；
15.所述第二管路为液体流出管路，所述第二管路内的传感器为流速传感器；
16.其中，所述处理器用于：在所述压力传感器检测到所述第一管路内的流体的压力大于压力阈值时，确定所述细胞滤膜出现堵塞；
17.所述处理器还用于：在所述流速传感器检测到的所述第二管路内的液体的流速小于流速阈值时，确定所述细胞滤膜出现堵塞。
18.可选的，所述细胞滤膜的延展方向平行于重力方向。
19.另一方面，提供了一种细胞滤膜的制备方法，所述方法包括：
20.在透光基板上形成薄膜；
21.对所述薄膜进行图形化处理，以在所述透光基板上形成细胞滤膜；
22.剥离所述透光基板，以得到所述细胞滤膜。
23.可选的，所述薄膜包括：沿远离所述透光基板的方向依次层叠的柔性薄膜、功能薄膜和掩膜薄膜；
24.对所述薄膜进行图形化处理，以在所述透光基板上形成细胞滤膜，包括：
25.对所述掩膜薄膜执行一次构图工艺，以形成掩膜层；
26.对所述功能薄膜进行第一刻蚀处理，以形成带有所述掩膜层的功能层；
27.对所述柔性薄膜进行第二刻蚀处理，以形成带有所述掩膜层和所述功能层的柔性层。
28.可选的，对所述掩膜薄膜执行一次构图工艺，以形成掩膜层，包括：
29.在所述掩膜薄膜上形成光刻胶薄膜；
30.对所述光刻胶薄膜进行曝光处理和显影处理，以形成带有光刻胶图案的掩膜薄膜；
31.对所述带有光刻胶图案的掩膜薄膜进行第三刻蚀处理，以形成带有所述光刻胶图案的掩膜层；
32.去除所述光刻胶图案，以形成所述掩膜层。
33.可选的，所述功能薄膜包括：导电薄膜、遮光薄膜，以及可被修饰液修饰的生化薄膜中的至少一种。
34.本技术实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：
35.当通过本技术提供的治疗设备对患者进行治疗时，第一管路的一端与第二管路的一端均与患者的血管连通，使得患者血液通过第一管路进入密封腔体内，并通过密封腔体内的细胞滤膜滤除患者血液中的ctc细胞，而滤除ctc细胞的血液可以通过第二管路回流至患者体内。通过该治疗设备能够去除患者血液中的ctc细胞，使得该治疗设备能够对患者起到治疗效果。并且，通过该治疗设备中的细胞滤膜能够大量的捕获ctc细胞，可以保证对细胞滤膜所捕获的ctc细胞进行检测的准确性。
附图说明
36.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
37.图1是本技术实施例提供的一种治疗设备的结构示意图；
38.图2是采用图1示出的治疗设备去除患者体内的ctc细胞的效果图；
39.图3是本技术实施例提供的另一种治疗设备的结构示意图；
40.图4是本技术实施例提供的又一种治疗设备的结构示意图；
41.图5是本技术实施例提供的细胞滤膜捕获ctc细胞进行检测的效果图；
42.图6是本技术实施例提供的细胞滤膜捕获ctc细胞在细胞滤膜上分布的数量曲线图；
43.图7是本技术实施例提供的提供的一种细胞滤膜的俯视图；
44.图8是图7示出的细胞滤膜在a-a’处的截面图；
45.图9是本技术实施例提供的一种细胞滤膜的制备方法的流程图；
46.图10是本技术实施例提供的另一种细胞滤膜的制备方法的流程图；
47.图11是本技术实施例提供的一种在透光基板上依次形成柔性薄膜、功能薄膜和掩膜薄膜的示意图；
48.图12是本技术实施例提供的一种在掩膜薄膜上形成光刻胶薄膜的示意图；
49.图13是本技术实施例提供的一种形成带有光刻胶图案的掩膜薄膜；
50.图14是本技术实施例提供的一种形成带有光刻胶图案的掩膜层的示意图；
51.图15是本技术实施例提供的一种形成掩膜层的示意图；
52.图16是本技术实施例提供的一种形成带有掩膜层的功能层的示意图；
53.图17是本技术实施例提供的一种形成带有掩膜层和功能层的柔性层的示意图；
54.图18是本技术实施例提供的一种玻剥离透光基板，得到细胞滤膜的示意图。
具体实施方式
55.为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术实施方式作进一步地详细描述。
56.请参考图1，图1是本技术实施例提供的一种治疗设备的结构示意图。该治疗设备00可以包括：
57.密封盒体100，以及位于密封盒体100内的细胞滤膜200。该细胞滤膜200能够将密封盒体100分隔为两个腔体。该两个腔体包括第一腔体100a和第二腔体100b。在本技术中，该细胞滤膜200能够滤除体积较大的细胞，而ctc细胞的体积通常较大，因此该细胞滤膜200能够滤除ctc细胞。需要说明的是，该细胞滤膜200具有多个过滤孔，通过该过滤孔能够捕获ctc细胞，以实现滤除ctc细胞的目的。
58.该治疗设备00还可以包括：一端与第一腔体100a连通的第一管路300，以及一端与第二腔体100b连通的第二管路400。其中，该第一管路300远离密封盒体100的一端，以及第二管路400远离密封盒体100的一端，均为与血管连通的端口。
59.需要说明书的是，图1是以治疗设备00包括一个细胞滤膜100为例进行示意性说明的。在其他的可选的实现方式中，治疗设备00还可以包括多个平行排布的细胞滤膜。当治疗设备00包括多个平行排布的细胞滤膜时，这些平行排布的细胞滤膜能够将密封盒体100分隔为三个或三个以上的腔体，但这些腔体始终包括与第一管路300连通的第一腔体100a，以及与第二管路400连通的第二腔体100b。
60.在本技术实施例中，当患者的血液中含有ctc细胞时，可以采用该治疗设备00去除患者血液中的ctc细胞。示例的，请参考图2，图2是采用图1示出的治疗设备去除患者体内的ctc细胞的效果图。可以将第一管路300的一端与第二管路400的一端均与患者的血管连通，如此，患者的血液会通过第一管路300流入密封盒体100内，通过密封盒体100内的细胞滤膜200去除血液中的ctc细胞a，而血液中的诸如红细胞和白细胞等其他正常的细胞b，由于其体积较小，因此能够正常通过细胞滤膜200，不会被细胞滤膜滤除。经过细胞滤膜200滤除ctc细胞a后的血液可以通过第二管路400回流至患者的血管内。因此，通过该治疗设备00能
够去除患者血液中的ctc细胞，使得该治疗设备00能够对患者起到治疗效果。
61.相关技术中，当对患者进行ctc细胞的检测时，需要采集患者的血液样品，并让该血液样品通过细胞滤膜，以便细胞滤膜捕获血液样品中的ctc细胞。但是，由于患者血液中的ctc细胞的浓度较低，而采集患者的血液样品的容量是有限的，因此，目前的细胞滤膜所捕获到的ctc细胞的数量较少，导致对细胞滤膜所捕获的ctc细胞进行检测的准确性较低。
62.而在本技术实施例中，当对患者进行ctc细胞的检测时，可以通过治疗设备00在治疗患者的同时，让治疗设备00中的细胞滤膜200捕获患者血液中的ctc细胞。在采用治疗设备00对患者进行治疗时，患者的血液需要大量的流入治疗设备00，血液通过治疗设备00中的细胞滤膜200对ctc细胞进行滤除后，从治疗设备00回流至患者的血管内。由于患者大量的血液会通过细胞滤膜200，因此有效降低了细胞滤膜200捕获ctc细胞的难度，进而提高了细胞滤膜200捕获ctc细胞的数量，从而有效的提高了对细胞滤膜200所捕获的ctc细胞进行检测的准确性。
63.综上所述，本技术实施例提供的治疗设备，包括：密封腔体、位于密封腔体内的细胞滤膜，以及与密封腔体连通的第一管路和第二管路。当通过该治疗设备对患者进行治疗时，第一管路的一端与第二管路的一端均与患者的血管连通，使得患者血液通过第一管路进入密封腔体内，并通过密封腔体内的细胞滤膜滤除患者血液中的ctc细胞，而滤除ctc细胞的血液可以通过第二管路回流至患者体内。通过该治疗设备能够去除患者血液中的ctc细胞，使得该治疗设备能够对患者起到治疗效果。并且，通过该治疗设备中的细胞滤膜能够大量的捕获ctc细胞，可以保证对细胞滤膜所捕获的ctc细胞进行检测的准确性。
64.可选的，请参考图3，图3是本技术实施例提供的另一种治疗设备的结构示意图。该治疗设备00中的密封盒体100可以包括：可拆卸连接的第一壳体101和第二壳体102。治疗设备00中的第一管路300的一端与该第一壳体101连通，治疗设备00中的第二管路400的一端与该第二壳体102连通。
65.该第一壳体101与第二壳体102均具有开口，且第一壳体101的开口与第二壳体102的开口能够可拆卸连接。在本技术中，治疗设备00中的细胞滤膜200的边缘可以与第一壳体101的开口或第二壳体102的开口可拆卸连接。如此，细胞滤膜200可以从密封盒体100内取出，便于后续检测细胞滤膜200所捕获的ctc细胞，并且，也便于在细胞滤膜200发生堵塞时，对治疗设备00更换新的细胞滤膜。
66.示例的，第一壳体101具有第一连接件1011，第二壳体102具有与第一连接件1011可拆卸连接的第二连接件1012。通过第一连接件1011与第二连接件1012的配合，能够实现第一壳体101与第二壳体102的可拆卸连接。例如，第一连接件1011与第二连接件1012分别为磁性相反的两个磁体，或者，第一连接件1011与第二连接件1012分别为螺栓和螺母。
67.可选的，密封盒体100还可以包括：位于第一壳体101与第二壳体102之间的密封圈(图3中未示出)，通过该密封圈能够保证密封盒体100的密封性，进而保证了治疗设备00的使用的可靠性。
68.可选的，请参考图4，图4是本技术实施例提供的又一种治疗设备的结构示意图。该治疗设备00还可以包括：位于第一管路300和/或第二管路400内的传感器500，以及与该传感器500连接的处理器600。需要说明的是，该传感器500需要与第一管路300和/或第二管路400的内壁固定连接，保证传感器500能够对流体的参数进行检测的同时，避免出现由于传
感器500脱落而导致治疗设备00发生故障的问题。
69.其中，该传感器500用于检测第一管路300和/或第二管路400内的流体参数的信息，并将检测到的流体参数的信息发送给处理器600。该处理器600用于接收传感器500发送的流体参数的信息，并基于该流体参数的信息，确定细胞滤膜200是否发生堵塞。
70.示例的，第一管路300可以为液体流入管路，该第一管路300内的传感器500为压力传感器501。该压力传感器501用于：检测第一管路300内的流体的压力，并将其检测到的流体的压力发送给处理器600。该处理器600用于：当接收到压力传感器501发送的流体的压力时，检测该流体的压力是否大于压力阈值，并在检测出流体的压力大于压力阈值时，确定细胞滤膜200出现堵塞。
71.第二管路400可以为液体流出管路，该第二管路400内的传感器500为流速传感器502。该流速传感器502用于：检测第二管路400内的流体的流速，并将其检测到的流体的流速发送给处理器600。该处理器600用于：当接收到流速传感器502发送的流体的流速时，检测该流体的流速是否小于流速阈值，并在检测出流体的流速小于流速阈值时，确定细胞滤膜200出现堵塞。
72.在本技术实施例中，如图3和图4所示，在使用该治疗设备00对患者进行治疗时，该治疗设备00中的细胞滤膜200的延展方向平行于重力方向，也即是，该细胞滤膜200使用过程中是竖直放置的。如此，当细胞滤膜200滤除血液中的ctc细胞时，在重力的影响下，细胞滤膜200所捕获的ctc细胞的数量由下至上逐渐减少。
73.示例的，如图5和图6所示，图5是本技术实施例提供的细胞滤膜捕获ctc细胞进行检测的效果图，图6是本技术实施例提供的细胞滤膜捕获ctc细胞在细胞滤膜上分布的数量曲线图。图5示出的细胞滤膜200的左端为其在密封盒体内时靠近下方的一端，图5示出的细胞滤膜200的右端为其在密封盒体内时靠近上方的一端。可以采用诸如显微镜的检测设备01沿着从左至右的方向x对细胞滤膜200上的ctc细胞a的数量进行检测，从而可以得到图6示出的数量分布曲线图。图6中横坐标代表图5中的细胞滤膜200中不同的位置，图6中的纵坐标的代表细胞滤膜200在对应位置处所捕获的ctc细胞a的数量。基于该曲线图可知，细胞滤膜200所捕获到的ctc细胞a的数量由图5中从左到右的方向依次减少。如此，在基于细胞滤膜200所捕获的ctc细胞a的数量，确定患者血液中含有的ctc细胞a的含量时，可以通过检测组件01确定在细胞滤膜200靠近右端的区域内的ctc细胞a的个数，并将确定出的个数与预先确定的出的在对应位置处ctc细胞a的理论个数件比较，以确定患者血液中的ctc细胞a的含量的高低，从而能够诊断出患者患病的严重程度。由于细胞滤膜200靠近右端的区域内的ctc细胞a分布的数量较少，因此可以有效的提高确定该内的ctc细胞a的个数的效率，从而可以提高确定患者患病的严重程度的效率。
74.可选的，请参考图7和图8，图7是本技术实施例提供的提供的一种细胞滤膜的俯视图，图8是图7示出的细胞滤膜在a-a’处的截面图。该细胞滤膜200具有多个过滤孔200a。
75.该细胞滤膜200包括：层叠的柔性层201、功能层202和掩膜层203。其中，该柔性层201和掩膜层203的功能及作用在下述的细胞滤膜的制造方法的实施例中进行介绍，在此不做赘述。
76.该功能层202可以包括：导电层202a、遮光层202b和可被修饰溶液修饰的生化层202c中的至少一种。
77.其中，该导电层202a能够使细胞滤膜200具有一定的导电性，进而在细胞滤膜200捕获到ctc细胞后，可以对该ctc细胞的电阻率进行检测。
78.该遮光层202b能够对光线起到遮挡作用，由于细胞滤膜200所捕获为ctc细胞位于细胞滤膜200的过滤孔200a内，因此当细胞滤膜200包括遮光层202b时，可以提高位于过滤孔200a内的ctc细胞的对比度，进而便于后续通过显微镜观察该ctc细胞。
79.该生化层202c能够被修饰溶液进行修饰，使得细胞滤膜200在捕获到ctc细胞时，该被修饰溶液修饰后的生化层202c能够与不同的ctc细胞的表面进行反应，从而形成不同的颜色。通过该生化层202c能够区分出细胞滤膜200所捕获的ctc细胞的种类。
80.需要说明的是，功能层202中的导电层202a和遮光层202b可以为一层具有遮光性能和导电性能的金属层，示例的，该金属层可以为金属钼或金属铁等。当功能层202包括该金属层时，由于金属层的机械强度较高，因此细胞滤膜200具有一定的抗卷曲能力，有效的提高了该细胞滤膜200的机械强度。
81.综上所述，本技术实施例提供的治疗设备，包括：密封腔体、位于密封腔体内的细胞滤膜，以及与密封腔体连通的第一管路和第二管路。当通过该治疗设备对患者进行治疗时，第一管路的一端与第二管路的一端均与患者的血管连通，使得患者血液通过第一管路进入密封腔体内，并通过密封腔体内的细胞滤膜滤除患者血液中的ctc细胞，而滤除ctc细胞的血液可以通过第二管路回流至患者体内。通过该治疗设备能够去除患者血液中的ctc细胞，使得该治疗设备能够对患者起到治疗效果。并且，通过该治疗设备中的细胞滤膜能够大量的捕获ctc细胞，可以保证对细胞滤膜所捕获的ctc细胞进行检测的准确性。
82.请参考图9，图9是本技术实施例提供的一种细胞滤膜的制备方法的流程图。该细胞滤膜的制备方法用于制备图1示出的治疗设备00中的细胞滤膜200。该细胞滤膜的制备方法可以包括：
83.步骤901、在透光基板上形成薄膜。
84.示例的，该透光基板可以为玻璃、石英、蓝宝石或树脂等透明基板。
85.步骤902、对薄膜进行图形化处理，以在透光基板上形成细胞滤膜。
86.步骤903、剥离透光基板，以得到细胞滤膜。
87.在相关技术中，细胞滤膜的制备方法如下：在硅基上通过图形化刻蚀工艺形成图案化的硅基，然后在图案化的硅基上灌入液态的有机材料，在液态的有机材料凝固之后，即可在图案化的硅基上形成细胞滤膜。由于硅基是非透光的材料，在剥离硅基的过程中，极易损坏细胞滤膜。因此，在相关技术中通常将形成有细胞滤膜的硅基放入用于溶解硅基的溶液(例如，氢氟酸)中，在硅基被完全溶解后，即可得到细胞滤膜。但是，采用溶液溶解硅基的方式的成本较高，导致该细胞滤膜的制备制备成本较高。并且，硅基的尺寸通常较小，因此相关技术无法制备出面积较大的细胞滤膜。
88.而在本技术实施例中，由于细胞滤膜是形成在透光基板上的，该透光基板具有较高的透光形成，因此可以在不损坏细胞滤膜的前提下，采用激光剥离技术剥离该透光基板，以得到该细胞滤膜，有效的降低了细胞滤膜的制备成本。又由于透光基板的尺寸远大于硅基衬底的尺寸，因此，本技术实施例示出的细胞滤膜的制备方法可以制备出面积较大的细胞滤膜，该面积较大的细胞滤膜可以装配在图1示出的治疗设备中，以滤除血液中的ctc细胞。
89.综上所述，本技术实施例提供的细胞滤膜的制备方法，由于细胞滤膜是形成在透光基板上的，该透光基板具有较高的透光形成，因此可以在不损坏细胞滤膜的前提下，采用激光剥离技术剥离该透光基板，以得到该细胞滤膜，无需采用溶液溶解透明基板，有效的降低了细胞滤膜的制备成本。又由于透光基板的尺寸远大于硅基衬底的尺寸，因此，本技术示出的细胞滤膜的制备方法可以制备出面积较大的细胞滤膜，该面积较大的细胞滤膜可以装配本技术示出的治疗设备中，以滤除血液中的ctc细胞。
90.可选的，请参考图10，图10是本技术实施例提供的另一种细胞滤膜的制备方法的流程图。该细胞滤膜的制备方法用于制备图1、图3或图4示出治疗设备中的细胞滤膜200，例如，其可以制备出图7示出的细胞滤膜。该细胞滤膜的制备方法可以包括：
91.步骤1001、提供一个透光基板。
92.可选的，该透光基板可以为玻璃、石英、蓝宝石或树脂等透明基板。示例的，可以采用清洗工艺对该透光基板进行清洗，保证后续可以在该透光基板上正常形成薄膜。
93.步骤1002、在该透光基板上形成薄膜。
94.在本技术实施例中，该薄膜可以包括：沿远离透光基板的方向依次层叠的柔性薄膜、功能薄膜和掩膜薄膜。示例的，该功能薄膜可以包括：导电薄膜、遮光薄膜，以及可被修饰溶液修饰的生化薄膜中的至少一种。
95.可选的，该柔性薄膜可以为聚酰亚胺(英文：polyimide；简称：pi)层。掩膜薄膜的材料可以为诸如氮化硅或二氧化硅等无机材料。
96.对于功能薄膜中的导电薄膜与遮光薄膜，该导电薄膜与遮光薄膜可以为同一层薄膜，其材料可以为具有遮光性能和导电性能的材料，例如，其可以为金属钼或金属铁等金属材料。当然，该导电薄膜与遮光薄膜可以为两层不同的薄膜，在这种情况下，导电薄膜的材料可以为诸如ito的透明导电材料，该遮光薄膜的材料可以为金属铬或黑色树脂等。
97.对于功能薄膜中的生化薄膜，该生化薄膜的材料可以为能能够被修饰溶液修饰的材料，例如，该生化薄膜的材料可以为氧化硅。
98.示例的，请参考图11，图11是本技术实施例提供的一种在透光基板上依次形成柔性薄膜、功能薄膜和掩膜薄膜的示意图。可以在透光基板02上通过沉积、涂敷、溅射等多种方式中的任一种依次形成柔性薄膜02a、功能薄膜02b和掩膜薄膜02c。
99.步骤1003、对掩膜薄膜执行一次构图工艺，以形成掩膜层。
100.在本技术实施例中，对掩膜薄膜执行一次构图工艺，以形成掩膜层的方式可以包括以下几个子步骤：
101.子步骤s1、在掩膜薄膜上形成光刻胶薄膜。
102.示例的，请参考图12，图12是本技术实施例提供的一种在掩膜薄膜上形成光刻胶薄膜的示意图。可以采用涂覆设备在掩膜薄膜02c上涂覆一层光刻胶薄膜02d。
103.子步骤s2、对光刻胶薄膜进行曝光处理和显影处理，以形成带有光刻胶图案的掩膜薄膜。
104.示例的，请参考图13，图13是本技术实施例提供的一种形成带有光刻胶图案的掩膜薄膜。可以采用掩膜版并通过曝光设备对光刻胶薄膜进行曝光处理，之后可以采用显影设备对曝光处理后的光刻胶薄膜进行显影处理，从而可以得到带有光刻胶图案02d1的掩膜薄膜02c。
105.子步骤s3、对带有光刻胶图案的掩膜薄膜进行第三刻蚀处理，以形成带有光刻胶图案的掩膜层。
106.示例的，请参考图14，图14是本技术实施例提供的一种形成带有光刻胶图案的掩膜层的示意图。可以采用刻蚀设备对带有光刻胶图案02d1的掩膜薄膜进行第三刻蚀处理，以形成带有光刻胶图案02d1的掩膜层203。
107.子步骤s4、去除光刻胶图案，以形成掩膜层。
108.示例的，请参考图15，图15是本技术实施例提供的一种形成掩膜层的示意图。将带有光刻胶图案的掩膜层203中的光刻胶图案进行剥离，即可得到掩膜层203。
109.需要说明的是，通过上述子步骤s1至子步骤s4即可得到掩膜层。
110.步骤1004、对功能薄膜执行第一刻蚀处理，以形成带有掩膜层的功能层。
111.示例的，请参考图16，图16是本技术实施例提供的一种形成带有掩膜层的功能层的示意图。可以采用刻蚀设备对功能薄膜执行第一刻蚀处理，以形成带有掩膜层203的功能层202。
112.需要说明的是，由于该功能薄膜可以包括：导电薄膜、遮光薄膜，以及可被修饰溶液修饰的生化薄膜中的至少一种。因此，通过步骤1004所形成的功能层202可以包括层叠的导电层、遮光层，以及可被修饰溶液修饰的生化层中的至少一种。
113.还需要说明的是，功能层202中的导电层、遮光层和生化层的作用可以参考前述对治疗设备结构描述的实施例中的对应内容，在此不再赘述。
114.步骤1005、对柔性薄膜执行第二刻蚀处理，以形成带有掩膜层和功能层的柔性层。
115.示例的，请参考图17，图17是本技术实施例提供的一种形成带有掩膜层和功能层的柔性层的示意图。可以采用刻蚀设备对柔性薄膜进行第二刻蚀处理，以形成带有掩膜层203和功能层202的柔性层201。该层叠的柔性层201、功能层202和掩膜层203即可构成细胞滤膜200。也即是，在透光基板000上形成了细胞滤膜200。
116.需要说明的是，由于细胞滤膜200中的柔性层201的材料与光刻胶图案的材料基本相同，因此，若直接通过光刻胶图案对柔性薄膜进行刻蚀处理时，光刻胶图案也会被刻蚀，极易出现光刻胶图案已全部被刻蚀掉，但柔性薄膜还未刻蚀完成的情况。为此，本技术中需要通过材料与柔性层202的材料不同的掩膜层203对柔性薄膜进行刻蚀处理，以形成柔性层201。
117.步骤1006、剥离透光基板，以得到细胞滤膜。
118.示例的，请参考图18，图18是本技术实施例提供的一种玻剥离透光基板，得到细胞滤膜的示意图。可以采用激光剥离设备，对透光基板000进行激光剥离，以得到细胞滤膜200。
119.需要说明的是，细胞滤膜200中的柔性层201可以防止在对透光基板000进行激光剥离的过程中，损坏细胞滤膜200中的功能层202，进而保证了制备细胞滤膜200时的产品良率。
120.综上所述，本技术实施例提供的细胞滤膜的制备方法，由于细胞滤膜是形成在透光基板上的，该透光基板具有较高的透光形成，因此可以在不损坏细胞滤膜的前提下，采用激光剥离技术剥离该透光基板，以得到该细胞滤膜，无需采用溶液溶解透明基板，有效的降低了细胞滤膜的制备成本。又由于透光基板的尺寸远大于硅基衬底的尺寸，因此，本技术示
出的细胞滤膜的制备方法可以制备出面积较大的细胞滤膜，该面积较大的细胞滤膜可以装配本技术示出的治疗设备中，以滤除血液中的ctc细胞。
121.需要指出的是，在附图中，为了图示的清晰可能夸大了层和区域的尺寸。而且可以理解，当元件或层被称为在另一元件或层“上”时，它可以直接在其他元件上，或者可以存在中间的层。另外，可以理解，当元件或层被称为在另一元件或层“下”时，它可以直接在其他元件下，或者可以存在一个以上的中间的层或元件。另外，还可以理解，当层或元件被称为在两层或两个元件“之间”时，它可以为两层或两个元件之间惟一的层，或还可以存在一个以上的中间层或元件。通篇相似的参考标记指示相似的元件。
122.在本技术中，术语“第一”和“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“多个”指两个或两个以上，除非另有明确的限定。
123.以上所述仅为本技术的可选的实施例，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。