一种阴极挡板机构的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，具体是一种阴极挡板机构。

背景技术：

真空镀膜机中常用到阴极保护装置，其包括驱动机构和阴极挡板机构，阴极挡板机构包括左阴极挡板组件、右阴极挡板组件和箱体，驱动机构、左阴极挡板组件和右阴极挡板组件均设置在箱体上，驱动机构驱动左阴极挡板组件和右阴极挡板组件做开合运动实现打开或关闭箱体，对阴极挡板机构进行维护时，需要将左阴极挡板组件和右阴极挡板组件从箱体上进行拆卸，现有技术中，左阴极挡板组件和右阴极挡板组件分别通过两个轴销螺栓连接在箱体上，拆卸时，需要工人通过内六角扳手分别将四个轴销螺栓退出才能将左阴极挡板组件和右阴极挡板组件拆卸，等待轴销螺栓退出的时间较长，拆卸效率低。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种方便拆卸维护的阴极挡板机构,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种阴极挡板机构，包括箱体、左阴极挡板组件和右阴极挡板组件，所述左阴极挡板组件和右阴极挡板组件均可活动连接在箱体上，所述左阴极挡板组件包括挡板模块、球面副模块和销轴卡扣模块，所述挡板模块的长度方向两端下分别设有上耳板和下耳板，所述上耳板通过球面副模块与箱体的上侧壁连接，所述下耳板通过销轴卡扣模块与箱体的下侧壁连接。

进一步地，所述球面副模块包括球座和球体，所述球座与上耳板固定连接，所述球座的一端开设有容纳槽，所述容纳槽的开口朝向箱体的上侧壁，所述箱体的上侧壁对应容纳槽的位置处开设有通孔，所述球体卡于容纳槽和通孔之间。

进一步地，所述销轴卡扣模块包括销轴本体和v形金属薄卡片，所述销轴本体的一端与箱体的下侧壁固定连接，所述下耳板的后方开设倒u形缺口，所述倒u形缺口的凹弧面贴合在销轴本体的周壁上，所销轴本体的周壁上开设环形凹槽，所述v形金属薄卡片固定连接在下耳板下，所述v形金属薄卡片的拐弯位置处开设镂空部，所述镂空部与环形凹槽卡接。

进一步地，所述v形金属薄卡片包括一体结构的前段、折弯段和后段，所述镂空部包括前半圆孔、后半圆孔、条形孔一和条形孔二，所述前半圆孔位于前段，所述后半圆孔位于折弯段，所述后半圆孔与环形凹槽卡接，所述条形孔一和条形孔二分别位于后半圆孔的左边和右边，所述条形孔一和条形孔二的前端均与前半圆孔连通。

本实用新型的有益效果：

左阴极挡板组件和右阴极挡板组件的拆卸过程相同，拆卸时，首先通过人手带动v形金属薄卡片的后段以折弯段为支点沿逆时针方向旋转，使前段和后段的夹角a缩小以达到后半圆孔与环形凹槽脱离且后期后半圆孔向前运动过程中不会被销轴本体阻挡的程度为止；然后通过人手带动挡板模块向上运动以将球体取出；最后通过人手带动挡板模块向前运动，即实现完成左阴极挡板组件或右阴极挡板组件的拆卸工作。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：1、无需通过内六角扳手即可完成左阴极挡板组件和右阴极挡板组件的拆卸工作；2、拆卸步骤简便，拆卸时间相对较短，拆卸效率高。

附图说明

图1：一种阴极挡板机构的立体示意图。

图2：一种阴极挡板机构的左阴极挡板组件的左视示意图。

图3：一种阴极挡板机构的下耳板的仰视示意图。

图4：一种阴极挡板机构的前视示意图。

图5：一种阴极挡板机构的a-a剖面示意图。

图6：一种阴极挡板机构的v形金属薄卡片的立体示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型进行进一步说明：

请参照图1至图5，一种阴极挡板机构，包括箱体1、左阴极挡板组件2和右阴极挡板组件3，左阴极挡板组件2和右阴极挡板组件3均可活动连接在箱体1上，左阴极挡板组件2和右阴极挡板组件3互为镜像件，左阴极挡板组件2包括挡板模块21、球面副模块22和销轴卡扣模块23，挡板模块21的长度方向两端下分别设有上耳板211和下耳板212，上耳板211通过球面副模块22与箱体1的上侧壁连接，下耳板212通过销轴卡扣模块23与箱体1的下侧壁连接。

请参照图2和图5，球面副模块22包括球座221和球体222，球座221与上耳板211固定连接，球座221的一端开设有容纳槽2211，容纳槽2211呈圆台形，容纳槽2211的大开口朝向箱体1的上侧壁，箱体1的上侧壁对应容纳槽2211的位置处开设有通孔11，球体222卡于容纳槽2211和通孔11之间。

请参照图2至图5，销轴卡扣模块23包括销轴本体231和v形金属薄卡片232，销轴本体231的一端与箱体1的下侧壁固定连接，下耳板212的后方开设倒u形缺口2121，倒u形缺口2121的凹弧面贴合在销轴本体231前部的周壁上，所销轴本体231的周壁上开设环形凹槽，v形金属薄卡片232固定连接在下耳板212的下侧，v形金属薄卡片232的拐弯位置处开设镂空部，镂空部与环形凹槽卡接。

请参照图6，v形金属薄卡片232包括一体结构的前段232-1、折弯段232-2和后段232-3，镂空部包括前半圆孔2321、后半圆孔2322、条形孔一2323和条形孔二2324，前半圆孔2321位于前段232-1，后半圆孔2322位于折弯段232-2，后半圆孔2322的直径小于前半圆孔2321的直径，后半圆孔2322与环形凹槽卡接的后部，条形孔一2323和条形孔二2324分别位于后半圆孔2322的左边和右边，条形孔一2323和条形孔二2324的前端均与前半圆孔2321连通。

请参照图5和图6，左阴极挡板组件2和右阴极挡板组件3的拆卸过程相同，拆卸时，首先通过人手带动v形金属薄卡片232的后段232-3以折弯段232-2为支点沿逆时针方向旋转，使前段232-1和后段232-3的夹角a缩小以达到后半圆孔2322与环形凹槽脱离且后期后半圆孔2322向前运动过程中不会被销轴本体231阻挡的程度为止，通过设置条形孔一2323和条形孔二2324实现减小人手带动后段232-3的力；然后通过人手带动挡板模块21向上运动以将球体222掉出；最后通过人手带动挡板模块21向前运动，即实现完成左阴极挡板组件2或右阴极挡板组件3的拆卸工作。

维护完的左阴极挡板组件2或右阴极挡板组件3组装回箱体的最后一步是通过人手带动人手带动v形金属薄卡片232的后段232-3以折弯段232-2为支点沿顺时针方向旋转使后半圆孔2322卡回环形凹槽。

以上并非对本实用新型的技术范围作任何限制，凡依据本实用新型技术实质对以上的实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型的技术方案的范围内。

技术特征：

1.一种阴极挡板机构，其特征在于：包括箱体、左阴极挡板组件和右阴极挡板组件，所述左阴极挡板组件和右阴极挡板组件均可活动连接在箱体上，所述左阴极挡板组件包括挡板模块、球面副模块和销轴卡扣模块，所述挡板模块的长度方向两端下分别设有上耳板和下耳板，所述上耳板通过球面副模块与箱体的上侧壁连接，所述下耳板通过销轴卡扣模块与箱体的下侧壁连接。

2.根据权利要求1所述的一种阴极挡板机构，其特征在于：所述球面副模块包括球座和球体，所述球座与上耳板固定连接，所述球座的一端开设有容纳槽，所述容纳槽的开口朝向箱体的上侧壁，所述箱体的上侧壁对应容纳槽的位置处开设有通孔，所述球体卡于容纳槽和通孔之间。

3.根据权利要求1所述的一种阴极挡板机构，其特征在于：所述销轴卡扣模块包括销轴本体和v形金属薄卡片，所述销轴本体的一端与箱体的下侧壁固定连接，所述下耳板的后方开设倒u形缺口，所述倒u形缺口的凹弧面贴合在销轴本体的周壁上，所销轴本体的周壁上开设环形凹槽，所述v形金属薄卡片固定连接在下耳板下，所述v形金属薄卡片的拐弯位置处开设镂空部，所述镂空部与环形凹槽卡接。

4.根据权利要求3所述的一种阴极挡板机构，其特征在于：所述v形金属薄卡片包括一体结构的前段、折弯段和后段，所述镂空部包括前半圆孔、后半圆孔、条形孔一和条形孔二，所述前半圆孔位于前段，所述后半圆孔位于折弯段，所述后半圆孔与环形凹槽卡接，所述条形孔一和条形孔二分别位于后半圆孔的左边和右边，所述条形孔一和条形孔二的前端均与前半圆孔连通。

技术总结
本实用新型提供了一种阴极挡板机构，包括箱体、左阴极挡板组件和右阴极挡板组件，左阴极挡板组件和右阴极挡板组件均可活动连接在箱体上，左阴极挡板组件包括挡板模块、球面副模块和销轴卡扣模块，挡板模块的长度方向两端下分别设有上耳板和下耳板，上耳板通过球面副模块与箱体的上侧壁连接，下耳板通过销轴卡扣模块与箱体的下侧壁连接。本实用新型的优点在于：1、无需通过内六角扳手即可完成左阴极挡板组件和右阴极挡板组件的拆卸工作；2、拆卸步骤简便，拆卸时间相对较短，拆卸效率高。

技术研发人员：林海天;胡致富;李立升
受保护的技术使用者：东莞市华升真空镀膜科技有限公司
技术研发日：2020.11.18
技术公布日：2021.07.30