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一种光电化学沉积装置的制作方法

2021-10-09 17:21:00 来源:中国专利 TAG:沉积 化学 光电 装置

技术特征:
1.一种光电化学沉积装置,其特征在于:包括光源和沉积槽体(11),光源设置在沉积槽体(11)的壁上,阳极板(3)和阴极板(5)分层交替设置在沉积槽体(11)的内侧壁,阳极板(3)和阴极板(5)均与沉积槽体(11)的内侧壁垂直,阳极板(3)和阴极板(5)均通过导电棒(13)外接电源。2.根据权利要求1所述光电化学沉积装置,其特征在于:沉积槽体(11)包括底壁、侧壁i(6)、侧壁ii、侧壁iii和侧壁iv,侧壁i(6)、侧壁ii、侧壁iii和侧壁iv依次无缝固定设置在底壁的上边缘,侧壁i(6)、侧壁ii、侧壁iii和侧壁iv的边缘依次固定无缝连接,侧壁ii和侧壁iv的内侧竖直方向均开设有若干层电极板滑槽(4),侧壁i(6)的竖直方向开设有若干层与电极板滑槽(4)对应的电极插入槽,侧壁iii的内侧壁上开设有若干层与电极板滑槽(4)对应的电极板固定槽,阳极板(3)和阴极板(5)分层交替插设穿过电极插入槽并滑设在电极板滑槽(4)内,阳极板(3)和阴极板(5)通过电极板固定槽分层交替设置在侧壁iii的内侧壁上。3.根据权利要求2所述光电化学沉积装置,其特征在于:电极插入槽的外侧设置有电极密封件(12),导电棒(13)穿过电极密封件(12)外接电源。4.根据权利要求2所述光电化学沉积装置,其特征在于:阳极板(3)的底端固定设置有阳极泥收集袋(2)。5.根据权利要求1所述光电化学沉积装置,其特征在于:光电化学沉积装置的光源设置在沉积槽体(11)顶壁、侧壁、槽底壁的一处或多处。6.根据权利要求1所述光电化学沉积装置,其特征在于:沉积槽体(11)的顶部设置有电解液入口(1),沉积槽体(11)的底部设置有电解液出口(7),电解液入口(1)与电解液出口(7)分别位于沉积槽体(11)的两个相对侧壁上,电解液出口(7)内设置有排液管,排液管的一端与沉积槽体(11)的内部连通,沉积槽体(11)的底端开设有排污孔(10)。7.根据权利要求6所述光电化学沉积装置,其特征在于:排液管上设置有截止阀(8)。8.根据权利要求1所述光电化学沉积装置,其特征在于:阳极板(3)和阴极板(5)的工作区边缘均设置有绝缘边条(14),阳极板(3)和阴极板(5)的两端头均设置有挂耳(15),导电棒(13)与挂耳(15)电连接。9.根据权利要求1所述光电化学沉积装置,其特征在于:还包括支撑底座(9),沉积槽体(11)设置在支撑底座(9)上。

技术总结
本实用新型涉及一种光电化学沉积装置,属于光电化学沉积技术领域。该光电化学沉积装置包括光源和沉积槽体,光源设置在沉积槽体的壁上,阳极板和阴极板分层交替设置在沉积槽体的内侧壁,阳极板和阴极板均与沉积槽体的内侧壁垂直,阳极板和阴极板均通过导电棒外接电源。本实用新型可实现光效应与电效应的协同作用,提高目标元素的收得率、沉积效率、沉积物质量及能量利用效率,从而有效降低生产成本。从而有效降低生产成本。从而有效降低生产成本。


技术研发人员:杨佳 曹成松 张君 王薇 杨海艳 侯堪文 刘国豪 徐宝强 李绍元 杨斌 马文会 熊恒 蒋文龙 李一夫 田阳 刘大春 郁青春 戴永年
受保护的技术使用者:昆明理工大学
技术研发日:2021.02.07
技术公布日:2021/10/8
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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