一种便于拆装的FFU系统安装结构的制作方法

一种便于拆装的ffu系统安装结构
技术领域
1.本实用新型涉及ffu安装技术领域，更具体的说是涉及一种便于拆装的ffu系统安装结构。


背景技术：

2.半导体设备包括外壳，外壳内包括气流空间、机器手臂区域、工艺槽体区域和抽气区域，工艺槽体区域位于机器手臂区域和抽气区域之间，抽气区域外侧设置有抽气设备，气流空间位于机械手臂区域和工艺槽体区域上方，外壳顶面上设置有ffu系统，ffu系统包括ffu壳体，工艺槽体区域中会进行化学反应，化学反应会产生酸气，使用抽气设备将酸气从工艺槽体区域抽出至设备外部，同时通过ffu系统向外壳内部注入新鲜的气流。
3.大部分酸气可以直接通过抽气设备抽出至外壳外部，但仍有小部分酸气从工艺槽体区域往上挥发至气流空间，这部分向上挥发的这酸气难以回到工艺槽体区域进行抽除。


技术实现要素：

4.针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种便于拆装的ffu系统安装结构，用于使向上挥发的酸气可以回到工艺槽体区域进行抽除。
5.为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种便于拆装的ffu系统安装结构，包括外壳，所述外壳内设置有分隔部和导流部，所述分隔部包括分隔板，所述分隔板将气流空间分隔成第一空间和第二空间，所述导流部包括第一导流板和第二导流板，所述第一导流板和所述第二导流板的一端均与外壳顶壁固定连接，所述第一导流板和所述第二导流板均倾斜设置，且所述第一导流板和所述第二导流板靠近外壳顶面的一端之间的距离大于所述第一导流板和所述第二导流板远离所述外壳顶面的一端之间的距离；
6.所述外壳顶面设置有隐蔽组件，所述隐蔽组件包括走线壳体，所述走线壳体上开设有走线槽，所述走线槽用以收纳ffu壳体的电线，所述走线壳体侧面开设有第一通孔，所述第一通孔与所述走线槽相互贯通；
7.ffu壳体与所述走线壳体之间设置有嵌合组件，所述嵌合组件包括连接件，所述连接件与所述走线壳体之间设置有嵌合部，所述嵌合部包括弹压键，所述弹压键与所述第一通孔相适配，以使所述弹压键的一部分位于所述走线槽内，电线穿过所述连接件和所述弹压键进入所述走线槽内。
8.作为本实用新型的进一步改进，所述第一导流板位于所述第一空间内，所述第二导流板位于所述第二空间内，所述第一导流板和所述第二导流板均为弧形板，且所述第一导流板和所述第二导流板正对的一侧均形成有凹部，所述凹部上设置有缓冲垫。
9.作为本实用新型的进一步改进，所述第一导流板与所述分隔板之间的距离小于所述第二导流板与所述分隔板之间的距离，使得所述第一空间内的气体流速大于所述第二空间内的气体流速。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述分隔板固定连接在外壳相对的两侧内壁之
间，所述分隔板的横截面形状为梯形，且所述分隔板沿外壳顶部至外壳底部的横截面积逐渐增大，所述分隔板靠近所述第一导流板的侧面与外壳顶面之间的夹角角度为87度，分隔板用以将所述第一空间和所述第二空间相互分隔。
11.作为本实用新型的进一步改进，外壳上设置有气氛部，气氛部包括第一气氛导流孔和第二气氛导流孔，所述第一气氛导流孔和所述第二气氛导流孔均开设于外壳顶面，所述第一气氛导流孔与所述第一空间相互贯通，所述第二气氛导流孔与所述第二空间相互贯通，所述第一气氛导流孔和所述第二气氛导流孔之间形成有连接段，所述分隔板与所述连接段固定连接，ffu系统通过所述第一气氛导流孔和所述第二气氛导流孔向所述外壳内部注入气流，使得气流可以进入第一空间和第二空间。
12.作为本实用新型的进一步改进，所述外壳顶面上开设有两个第一固定孔，所述外壳上设置有固定板，所述固定板上开设有两个第二固定孔，所述第二固定孔与所述第一固定孔一一对应，且所述第二固定孔位于所述第一固定孔上方，所述走线壳体的两端均形成有折边，所述折边上开设有第三固定孔，所述第三固定孔与所述第二固定孔一一对应，且所述第三固定孔位于所述第二固定孔上方，使得螺栓可以穿过所述第一固定孔、所述第二固定孔和所述第三固定孔，使得所述走线壳体、所述固定板和所述外壳可以相互固定。
13.作为本实用新型的进一步改进，所述弹压键上开设有第二通孔，所述连接件内开设有第三通孔，所述第一通孔和所述第三通孔通过所述第二通孔相互贯通，所述第一通孔的孔径大于所述第二通孔和所述第三通孔的孔径，使得电线可以穿过所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔。
14.作为本实用新型的进一步改进，所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔内均设置有海绵，使得电线不会被磨损。
15.作为本实用新型的进一步改进，所述第一通孔内壁开设有两个卡槽，两个所述卡槽相对设置，所述弹压键相对的两侧面均形成有凸部，所述凸部与所述卡槽一一对应且相适配，所述凸部用以与所述卡槽相互卡合，使得所述弹压键与所述第一通孔相互卡合。
16.作为本实用新型的进一步改进，所述走线壳体上设置有盖体，走线槽内设置有若干导向件，所述导向件用以引导电线走向。
17.本实用新型的有益效果：本实用新型通过在外壳内设置分隔部和导流部，通过分隔部将气流空间分隔成第一空间和第二空间，导流部包括倾斜设置的第一导流板和第二导流板，气体在经过第一导流板和第二导流板之后，由于气体的流通空间减小，使得气体的流速加快，气流空间内气体的流速快于酸气的流速，使得小部分从工艺槽体区域挥发至气流空间的酸气在新鲜气体的带动下，重新流回至工艺槽体区域，然后使用抽气设备将酸气从工艺槽体区域抽出至设备外部，通过在外壳上设置隐蔽组件，以收纳ffu壳体的电线，通过在ffu壳体与走线壳体之间设置嵌合部，使得ffu壳体与走线壳体相互贯通。
附图说明
18.图1是本实用新型的主视结构示意图；
19.图2是本实用新型图1中a处的放大结构示意图。
20.附图标记：1、外壳；2、分隔部；21、分隔板；3、导流部；31、第一导流板；32、第二导流板；4、隐蔽组件；41、走线壳体；5、嵌合组件；51、连接件；52、嵌合部；521、弹压键；6、气氛部；
61、第一气氛导流孔；62、第二气氛导流孔；63、连接段；7、固定板。
具体实施方式
21.下面结合附图和实施例，对本实用新型进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
22.参照图1、图2所示，本实施例的一种便于拆装的ffu系统安装结构，包括外壳1，外壳1内设置有分隔部2和导流部3，分隔部2包括分隔板21，分隔板21将气流空间分隔成第一空间和第二空间，气流空间位于机械手臂区域和工艺槽体区域上方，第一空间位于机器手臂区域上方，第二空间位于工艺槽体区域上方，工艺槽体区域中会进行化学反应，化学反应会产生酸气，酸气一般会往上挥发，工艺槽体一侧设置有抽气区域，可以将部分酸气抽至外壳1外部进行排放处理，但仍有少部分酸气会继续往上挥发，进入第二空间，这部分向上挥发的酸气难以回到工艺槽体区域进行抽除，通过分隔部2和导流部3使得这部分酸气回到工艺槽体区域，然后通过抽气设备进行抽除，外壳1上设置有气氛部6，外壳1顶面设置有ffu系统，ffu系统包括ffu壳体，ffu系统通过第一气氛导流孔61和第二气氛导流孔62向外壳1内部注入新鲜的气流，在新鲜气体的流动作用下将酸气带回至工艺槽体区域，通过抽气设备进行排出，气氛部6包括第一气氛导流孔61和第二气氛导流孔62，第一气氛导流孔61和第二气氛导流孔62均开设于外壳1顶面，第一气氛导流孔61与第一空间相互贯通，第二气氛导流孔62与第二空间相互贯通，ffu系统位于外壳1上方，ffu系统通过第一气氛导流孔61和第二气氛导流孔62与外壳1内部相互贯通，ffu系统通过第一气氛导流孔61向第一空间内通气，通过第二气氛导流孔62向第二空间内通气，以使酸气无法在第一空间和第二空间停留，保护器械不受损伤，第一气氛导流孔61和第二气氛导流孔62之间形成有连接段63，分隔板21与连接段63固定连接。通过设置分隔板21，使得第一空间和第二空间内的气体难以相互流通，阻挡了酸气通过第二空间进入第一空间，防止酸气对机器手臂区域的器械造成腐蚀，分隔板21固定连接在外壳1相对的两侧内壁之间，分隔板21的横截面形状为梯形，且分隔板21沿外壳1顶部至外壳1底部的横截面积逐渐增大，当ffu系统的气体从上往下经过分隔板21时，气流流通的空间越来越小，因此气流的流速会变快，第一空间处的气体流速快，而第一空间与第二空间之间的间隙处的酸气的流速缓慢，因此酸气无法通过第一空间与第二空间之间的间隙进入第一空间，无法腐蚀机器手臂区域内的器械，当分隔板21靠近第一导流板31的侧面与外壳1顶面之间的夹角角度为87度。导流部3包括第一导流板31和第二导流板32，通过设置导流部3，可以加快ffu系统向第一空间和第二空间内注入的气流的流速，使得第二空间内的酸气在流速较快的气体的作用下，流回工艺槽体区域上方，进而通过抽气区域进行抽离，第一导流板31和第二导流板32的一端均与外壳1顶壁固定连接，第一导流板31和第二导流板32均倾斜设置，且第一导流板31和第二导流板32靠近外壳1顶面的一端之间的距离大于第一导流板31和第二导流板32远离外壳1顶面的一端之间的距离，第一导流板31位于第一空间内，第一导流板31倾斜设置，第一导流板31与分隔板21之间的距离沿外壳1顶部至外壳1底部越来越小，当ffu系统的气体从上往下经过第一导流板31时，气流流通的空间越来越小，因此气流的流速会变快，第一空间处的气体流速快，而第一空间与第二空间
之间的间隙处的酸气的流速缓慢，因此酸气无法通过第一空间与第二空间之间的间隙进入第一空间，无法腐蚀机器手臂区域内的器械，第二导流板32位于第二空间内，由于第二导流板32倾斜设置，第二导流板32与分隔板21之间的距离沿外壳1顶部至外壳1底部越来越小，当ffu系统的气体从上往下经过第二导流板32时，气流流通的空间越来越小，因此气流的流速会变快，第二空间处的气体流速较快，而第二空间内的酸气的流速较为缓慢，因此第二空间内的酸气可以在第二空间的气体的流动下一起远离第二空间，并进行抽除，第一导流板31和第二导流板32均为弧形板，且第一导流板31和第二导流板32正对的一侧均形成有凹部，凹部上设置有缓冲垫。ffu系统的气体长期向第一导流板31和第二导流板32流通，导致第一导流板31和第二导流板32容易受损，通过设置缓冲垫以保护第一导流板31和第二导流板32，并且将第一导流板31和第二导流板32设置为弧形，使得气体有缓冲的空间，防止第一导流板31和第二导流板32受损，第一导流板31与分隔板21之间的距离小于第二导流板32与分隔板21之间的距离，第一空间内的气流速度大于第二空间内的气流速度，使得第二空间内的酸气无法进入第一空间。
23.外壳1顶面设置有隐蔽组件4，隐蔽组件4包括走线壳体41，ffu系统需要布线，电线长时间裸露在空气中会使得电线上堆积大量的灰尘，从而加快电线老化的速度，增加安全隐患，通过设置走线壳体41使得ffu系统的电线可以被收纳在走线槽内，以防止电线老化，走线壳体41上开设有走线槽，走线槽用以收纳ffu壳体的电线，防止电线沾灰，走线壳体41侧面开设有第一通孔，第一通孔与走线槽相互贯通，第一通孔用以连接弹压键521，弹压键521与第一通孔相互卡合，使得通过弹压键521进入第一通孔的电线不会因为弹压键521与第一通孔相互脱离而遭到损坏，外壳1顶面上开设有两个第一固定孔，固定板7位于外壳1上方，走线壳体41位于外壳1上方，通过第一固定孔、第二固定孔和第三固定孔将外壳1、固定板7和走线壳体41相互固定，防止走线壳体41移动损坏电线，外壳1上设置有固定板7，固定板7上开设有两个第二固定孔，第二固定孔与第一固定孔一一对应，且第二固定孔位于第一固定孔上方，走线壳体41的两端均形成有折边，折边上开设有第三固定孔，第三固定孔与第二固定孔一一对应，且第三固定孔位于第二固定孔上方，当需要将外壳1、固定板7和走线壳体41相互固定时，操作人员使用螺栓依次穿过相对应的第一固定孔、第二固定孔和第三固定孔，使得外壳1、固定板7和走线壳体41相互固定，防止走线壳体41移动损坏电线，走线壳体41上设置有盖体(图中未示出)，走线槽内设置有若干导向件(图中未示出)，导向件用以引导电线走向，导向件为弧形导向板，弧形导向板与走线槽底壁固定连接，电线可以缠绕在弧形导向板上，电线直接放入走线槽内会导致走线槽内的电线凌乱，需要整理电线时，操作人员打开盖体，通过走线槽内的弧形导向板对电线进行整理，以保持整洁。
24.ffu壳体与走线壳体41之间设置有嵌合组件5，通过设置嵌合组件5，使得ffu壳体与走线壳体41之间的电线可以相互贯通，使得电线可以被收纳，嵌合组件5包括连接件51，连接件51与走线壳体41之间设置有嵌合部52，嵌合部52使得连接件51与走线壳体41相互连接，不会脱离，防止通过连接件51进入走线壳体41的电线因为连接件51与走线壳体41相互脱离而遭到损坏，嵌合部52包括弹压键521，弹压键521与第一通孔相适配，以使弹压键521的一部分位于走线槽内，电线穿过连接件51和弹压键521进入走线槽内，第一通孔内壁开设有两个卡槽，两个卡槽相对设置，弹压键521相对的两侧面均形成有凸部，凸部与卡槽一一对应且相适配。当需要将弹压键521与第一通孔连接时，操作人员将弹压键521塞入第一通
孔内，弹压键521上的凸部为橡胶，当弹压键521塞入第一通孔内时，凸部发生形变，直到凸部到达相对应的卡槽处时，凸部恢复形变，使得弹压键521上的凸部与相对应的第一通孔上的卡槽相互卡合，进而使得弹压键521与第一通孔相互卡合，弹压键521无法从第一通孔脱离，防止因为弹压键521与第一通孔相互脱离造成电线损坏，弹压键521上开设有第二通孔，连接件51内开设有第三通孔，第一通孔和第三通孔通过第二通孔相互贯通，连接件51与走线壳体41通过弹压键521相互连接，使得ffu系统的电线可以依次进入连接件51内的第三通孔、弹压键521上的第二通孔和走线壳体41上的第一通孔，最终进入走线槽内，防止电线沾灰，第一通孔的孔径大于第二通孔和第三通孔的孔径，第一通孔的孔径足以容纳弹压键521，第二通孔和第三通孔的孔径足以通过ffu系统的电线，第一通孔、第二通孔和第三通孔内均设置有海绵，设置海绵使得电线在穿过第一通孔、第二通孔和第三通孔内时不会被磨损。
25.工作原理：ffu系统通过第一气氛导流孔61向第一空间内通气，通过第二气氛导流孔62向第二空间内通气，第一空间内的气流通过第一空间后向机器手臂区域流通，第二空间内的气流通过第二空间后向工艺槽体区域流通，工艺槽体区域内进行化学反应之后，酸气向上挥发至第二空间，通过分隔板21使得酸气难以进入第一空间，使得机器手臂区域的器械不受腐蚀，第一导流板31倾斜设置，气流从上往下流经第一导流板31后，气流的速度变快，从而防止第二空间中的酸气进入第一空间，腐蚀机器手臂区域内的器械，第二导流板32倾斜设置，气流从上往下流经第二导流板32后，气流的速度变快，第二空间处的气体流速较快，而第二空间内的酸气的流速较为缓慢，因此第二空间内的酸气可以在第二空间的气体的带动下一起远离第二空间，并进行抽除。
26.通过设置走线壳体41使得ffu系统的电线可以被收纳在走线槽内，以防止电线老化，当需要将外壳1、固定板7和走线壳体41相互固定时，操作人员使用螺栓依次穿过相对应的第一固定孔、第二固定孔和第三固定孔，使得外壳1、固定板7和走线壳体41相互固定，防止走线壳体41移动损坏电线。
27.当需要将ffu壳体与走线壳体41连接时，操作人员将弹压键521塞入第一通孔内，弹压键521上的凸部为橡胶，当弹压键521塞入第一通孔内时，凸部发生形变，直到凸部到达相对应的卡槽处时，凸部恢复形变，使得弹压键521上的凸部与相对应的第一通孔上的卡槽相互卡合，进而使得弹压键521与第一通孔相互卡合，弹压键521无法从第一通孔脱离，防止因为弹压键521与第一通孔相互脱离造成电线损坏，连接件51与走线壳体41通过弹压键521相互连接，使得ffu系统的电线可以依次进入连接件51内的第三通孔、弹压键521上的第二通孔和走线壳体41上的第一通孔，最终收纳在走线槽内。
28.以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。