技术特征：
技术总结
一种微机电系统装置包含一第一可动元件以及一第二可动元件，其中第二可动元件与一感测压力的可动薄膜连接，使第二可动元件能够与可动薄膜连动以感测外部环境的压力变化，且形成可动薄膜的基板的其它区域可形成一盖体以保护感测其它物理量的第一可动元件，因此，上述微机电系统装置可借由单一制程整合压力传感器以及感测其它物理量的微机电系统结构于单一微机电系统装置中。
技术研发人员：曾立天;钱元晧
受保护的技术使用者：苏州明皜传感科技有限公司
技术研发日：2016.05.19
技术公布日：2017.11.28
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