微观装置的制造及其处理技术

本技术属于量子信息领域，尤其是量子计算技术领域，特别地，本技术涉及一种空气桥的制备方法及一种超导量子器件。

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本发明涉及传感器技术领域，特指一种抗腐蚀高稳定性的流量传感器及其制作方法。

一种mems传感器阶梯深孔封装结构及方法技术领域本发明涉及mems传感器封装技术领域，具体涉及一种mems传感器阶梯深孔封装结构及方法。

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用于纳米颗粒的有效分散的材料和方法相关申请的交叉引用2.本技术要求2020年3月20日提交的美国临时专利申请62/992,420的优先权，其全文以引用方式并入本文。

一种抗高过载mems惯性微模组及制备方法技术领域本发明涉及一种抗高过载mems惯性微模组及制备方法，属于惯性微系统技术领域。

本发明属于陀螺仪设计技术领域，具体涉及一种工作状态可调的硅纳米线陀螺仪及其制备方法。

本说明书一个或多个实施例涉及半导体工艺技术领域，尤其涉及具有可控视场的超声波芯片封装结构及制备工艺。

本发明属于加速度计技术领域，具体涉及基于栅极调控的硅纳米线阵列式加速度计及其加工工艺。

mems器件的形成方法及mems器件技术领域本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种mems器件的形成方法及mems器件。

本发明属于微结构阵列加工领域，具体涉及一种湿法刻蚀辅助飞秒激光沿单晶硅晶向加工微结构阵列的方法。

本发明属于微结构阵列加工领域，具体涉及一种湿法刻蚀辅助飞秒激光沿单晶硅晶向加工微结构阵列的方法。

本发明属于微结构阵列加工领域，具体涉及一种湿法刻蚀辅助飞秒激光沿单晶硅晶向加工微结构阵列的方法。

本发明属于微结构阵列加工领域，具体涉及一种湿法刻蚀辅助飞秒激光沿单晶硅晶向加工微结构阵列的方法。

本发明涉及一种传感器技术领域，更为具体的说涉及电容式压力传感器及其制作方法。