用于制造包括多孔表面的微米和/或纳米机械结构的方法与流程

2021-10-26 12:34:48 来源：中国专利 TAG：结构机械纳米用于制造

技术总结
本发明提供了一种用于制造包括多孔表面的微米和/或纳米机械结构的方法。该方法包括由包含支撑基板和牺牲层的元件开始的以下步骤：a）形成第一层，所述第一层的至少一部分是多孔的，b）在所述第一层上形成提供结构的机械特性的由一种（或多种）材料制成的层，称为中间层，c）在所述中间层上形成第二层，所述第二层的至少一部分是多孔的，d）在由所述第一层、中间层和第二层构成的堆叠中形成所述结构，e）通过至少部分地去除所述牺牲层来剥离所述结构。

技术研发人员：埃里克·奥利耶
受保护的技术使用者：法国原子能及替代能源委员会
文档号码：201410056864
技术研发日：2014.02.19
技术公布日：2017.06.06

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