半导体圆晶清洗机的自动翻盖机构的制作方法

1.本实用新型属于半导体制造技术领域，特别是涉及一种半导体圆晶清洗机的自动翻盖机构。


背景技术：

2.现在的圆晶制造过程中，圆晶表面会附着各种有机化合物、金属杂质和微粒等，而圆晶表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素之一，如果不对其清洗会大大降低半导体器件的性能和合格率，所以在半导体器件制造过程中，有20％的步骤为对圆晶的清洗，去除依附于圆晶表面上的有机化合物、金属杂质和微粒等污染物，提高半导体器件的性能和合格率。


技术实现要素：

3.本实用新型主要解决的技术问题是提供一种半导体圆晶清洗机的自动翻盖机构，通过水流实现清洗槽上方的盖板的自动开合，避免清洗完成后清洗剂损伤工作人员的手部，经济实用且安全可靠。
4.为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：一种半导体圆晶清洗机的自动翻盖机构，包括清洗槽、位于所述清洗槽上方的盖板以及驱动所述盖板开合的驱动结构；
5.所述驱动结构包括注水壳体、活塞杆、传动轴和连杆，所述注水壳体的一端与所述清洗槽固定连接，所述活塞杆的一端从所述注水壳体的另一端穿设于所述注水壳体的内部，所述活塞杆的另一端与所述传动轴的一端转动连接，所述传动轴的另一端与所述连杆固定连接，所述连杆与所述盖板固定连接；
6.所述注水壳体开设有第一注水口和第二注水口；
7.所述活塞杆的下端连接有安装座，所述安装座的外周开设有用于安装强磁片的安装槽。
8.本实用新型为解决其技术问题所采用的进一步技术方案是：
9.进一步地说，所述第一注水口和所述第二注水口位于所述注水壳体的同一侧。
10.进一步地说，所述注水壳体的上端安装有密封盖，所述密封盖具有供所述活塞杆穿过的通孔。
11.进一步地说，所述安装槽设有两个，两个所述安装槽沿所述安装座的轴向分布。
12.进一步地说，所述第一注水口位于所述安装座的下端。
13.进一步地说，所述第二注水口位于所述密封盖的下端。
14.本实用新型的有益效果至少具有以下几点：
15.1、本实用新型驱动盖板翻转的结构包括注水壳体、活塞杆、传动轴和连杆，通过在注水壳体内注入水驱动活塞杆上下移动，进而控制盖板的开合，水可反复利用，利于节约设备运行成本；
16.2、本实用新型活塞杆的下端连接有用于安装强磁片的安装座，通过强磁片的位移能够远控监控清洗槽盖板的开合，利于提高设备的运行安全性。
附图说明
17.图1是本实用新型的整体结构示意图；
18.图2是本实用新型盖板打开时的结构示意图；
19.图3是本实用新型盖板闭合时的结构示意图；
20.图4是图3的a部放大图；
21.图5是本实用新型注水壳体的结构示意图；
22.附图中各部分标记如下：
23.清洗槽1、盖板2、驱动结构3、注水壳体31、第一注水口311、第二注水口312、活塞杆32、传动轴33、连杆34、安装座35、安装槽351和密封盖36。
具体实施方式
24.下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
25.实施例：一种半导体圆晶清洗机的自动翻盖机构，如图1
‑
图5所示，包括清洗槽1、位于所述清洗槽上方的盖板2以及驱动所述盖板开合的驱动结构3；
26.所述驱动结构包括注水壳体31、活塞杆32、传动轴33和连杆34，所述注水壳体的一端与所述清洗槽固定连接，所述活塞杆的一端从所述注水壳体的另一端穿设于所述注水壳体的内部，所述活塞杆的另一端与所述传动轴的一端转动连接，所述传动轴的另一端与所述连杆固定连接，所述连杆与所述盖板固定连接；
27.所述注水壳体开设有第一注水口311和第二注水口312；
28.所述活塞杆的下端连接有安装座35，所述安装座的外周开设有用于安装强磁片的安装槽351。
29.所述第一注水口和所述第二注水口位于所述注水壳体的同一侧。
30.所述注水壳体的上端安装有密封盖36，所述密封盖具有供所述活塞杆穿过的通孔。
31.所述安装槽设有两个，两个所述安装槽沿所述安装座的轴向分布。
32.所述第一注水口位于所述安装座的下端。
33.所述第二注水口位于所述密封盖的下端。
34.本实用新型的工作原理如下：
35.本实用新型通过从第一注水口注入大量水，以推动活塞杆向上移动，进而带动传动轴向上转动，进而使盖板相对清洗槽打开(同时，原本在注水壳体内的水从第二注水口流出)；通过从第二注水口注入大量水，以推动活塞杆向下移动，进而带动传动轴向下转动，进而使盖板相对清洗槽关闭(同时，原本在注水壳体内的水从第一注水口流出)。
36.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接或间接运用在其他相关的
技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。


技术特征：
1.一种半导体圆晶清洗机的自动翻盖机构，其特征在于：包括清洗槽(1)、位于所述清洗槽上方的盖板(2)以及驱动所述盖板开合的驱动结构(3)；所述驱动结构包括注水壳体(31)、活塞杆(32)、传动轴(33)和连杆(34)，所述注水壳体的一端与所述清洗槽固定连接，所述活塞杆的一端从所述注水壳体的另一端穿设于所述注水壳体的内部，所述活塞杆的另一端与所述传动轴的一端转动连接，所述传动轴的另一端与所述连杆固定连接，所述连杆与所述盖板固定连接；所述注水壳体开设有第一注水口(311)和第二注水口(312)；所述活塞杆的下端连接有安装座(35)，所述安装座的外周开设有用于安装强磁片的安装槽(351)。2.根据权利要求1所述的半导体圆晶清洗机的自动翻盖机构，其特征在于：所述第一注水口和所述第二注水口位于所述注水壳体的同一侧。3.根据权利要求1所述的半导体圆晶清洗机的自动翻盖机构，其特征在于：所述注水壳体的上端安装有密封盖(36)，所述密封盖具有供所述活塞杆穿过的通孔。4.根据权利要求1所述的半导体圆晶清洗机的自动翻盖机构，其特征在于：所述安装槽设有两个，两个所述安装槽沿所述安装座的轴向分布。5.根据权利要求1所述的半导体圆晶清洗机的自动翻盖机构，其特征在于：所述第一注水口位于所述安装座的下端。6.根据权利要求3所述的半导体圆晶清洗机的自动翻盖机构，其特征在于：所述第二注水口位于所述密封盖的下端。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体圆晶清洗机的自动翻盖机构，包括清洗槽、盖板以及驱动所述盖板开合的驱动结构；所述驱动结构包括注水壳体、活塞杆、传动轴和连杆，所述注水壳体的一端与所述清洗槽固定连接，所述活塞杆的一端从所述注水壳体的另一端穿设于所述注水壳体的内部，所述活塞杆的另一端与所述传动轴的一端转动连接，所述传动轴的另一端与所述连杆固定连接，所述连杆与所述盖板固定连接；所述注水壳体开设有第一注水口和第二注水口；所述活塞杆的下端连接有安装座，所述安装座的外周开设有用于安装强磁片的安装槽。本实用新型通过水流实现清洗槽上方的盖板的自动开合，避免清洗完成后清洗剂损伤工作人员的手部，经济实用且安全可靠。安全可靠。安全可靠。


技术研发人员：陈铁龙 林智颖 陈坤 张振 孙东初
受保护的技术使用者：苏州睿智源自动化科技有限公司
技术研发日：2020.12.22
技术公布日：2021/10/23