一种用于检测晶元的扫描电子显微镜的制作方法

1.本实用新型涉及扫面电子显微镜技术领域，具体为一种用于检测晶元的扫描电子显微镜。


背景技术：

2.晶元一般是指晶圆，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料为硅。为了解晶圆内部的结构，一般都是采用扫描电子显微镜对晶圆的内部进行观察，但是现有的扫描电子显微镜大多数是暴露在空气中检测，空气中的灰尘会影响晶圆的检测，实用性差，且现有扫描电子显微镜的防尘大多数是采用布料覆盖，防尘效果差，为此，我们提出一种用于检测晶元的扫描电子显微镜。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，以解决上述背景技术中提出的扫描电子显微镜的防尘效果差的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，包括扫描电子显微镜本体，所述扫描电子显微镜本体的底端设有底座，所述底座呈矩形，且底座的下表面设有支撑垫块，所述底座的上表面侧边设有固定连接的安装槽，所述底座的上方设有两组第一防尘板和两组第二防尘板，且第一防尘板和第二防尘板的底端固定连接有与安装槽相匹配的安装条，所述第一防尘板和第二防尘板的顶端固定连接有观察板。
5.优选的，所述第一防尘板和第二防尘板的端面两侧设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述滑块的一侧固定连接滚动轴，所述滚动轴的端面设有若干组毛刷，且毛刷贴合第一防尘板和第二防尘板的一侧。
6.优选的，所述观察板的一侧开设有观察口，且观察口呈圆形，所述观察口的顶端面设有密封圈，所述观察口与扫描电子显微镜本体的目镜相匹配。
7.优选的，所述第一防尘板的一侧开设有与扫描电子显微镜本体线路插头相匹配的线路插口。
8.优选的，所述线路插口的一侧设有密封垫圈。
9.优选的，所述支撑垫块呈梯形，且支撑垫块的底端设有阻尼垫。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
11.本实用新型通过活动连接的第一防尘板和第二防尘板给扫描电子显微镜本体防尘，且第一防尘板和第二防尘板均为透明状玻璃板，不影响观察检测晶元的同时，还可起到防尘作用；第一防尘板和第二防尘板通过安装槽与安装条活动连接，在拆卸时简单方便；第一防尘板和第二防尘板一侧滑动连接的滚动轴上的毛刷可以清理上面的灰尘，方便后续的使用，结构简单且操作方便，实用性好。
附图说明
12.图1为本实用新型结构示意图；
13.图2为本实用新型正视图；
14.图3为本实用新型图1中a处放大示意图；
15.图4为本实用新型第一防尘板结构示意图。
16.图中：1、扫描电子显微镜本体；2、观察板；3、第一防尘板；4、底座；5、支撑垫块；6、第二防尘板；7、观察口；8、密封圈；9、密封垫圈；10、线路插口；11、安装条；12、安装槽；13、滑槽；14、滑块；15、滚动轴；16、毛刷。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.实施例1：
19.请参阅图1
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4，本实用新型提供一种技术方案：
20.请参照图1和图3，一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，包括扫描电子显微镜本体1，扫描电子显微镜本体1的底端设有底座4，底座4呈矩形，且底座4的下表面设有支撑垫块5，底座4的上表面侧边设有固定连接的安装槽12，底座4为木板，底座4上的安装槽12为条形状的，且安装槽12设置在底座4的四边。
21.请参照图2和图3，底座4的上方设有两组第一防尘板3和两组第二防尘板6，且第一防尘板3和第二防尘板6的底端固定连接有与安装槽12相匹配的安装条11，第一防尘板3和第二防尘板6的顶端固定连接有观察板2，第一防尘板3和第二防尘板6均为透明状的防尘板，不影响透光，既不影响观察晶元，安装槽12内紧密安装有安装条11，既第一防尘板3和第二防尘板6包裹在扫描电子显微镜本体1的四周，起到防尘作用，防止灰尘影响晶元的检测。
22.请参照图2和图4，第一防尘板3和第二防尘板6的端面两侧设有滑槽13，滑槽13内滑动连接有滑块14，滑块14的一侧固定连接滚动轴15，滚动轴15的端面设有若干组毛刷16，且毛刷16贴合第一防尘板3和第二防尘板6的一侧，当灰尘积累过多时，将滚动轴15在第一防尘板3和第二防尘板6上滑动，毛刷16实现对第一防尘板3和第二防尘板6的清理，保证第一防尘板3和第二防尘板6的清洁，方便后续的使用。
23.请参照图2，观察板2的一侧开设有观察口7，且观察口7呈圆形，观察口7的顶端面设有密封圈8，观察口7与扫描电子显微镜本体1的目镜相匹配，观察板2也为透明状的防尘板，观察口7方便目镜的伸出进行观察，密封圈8为塑料材质，可避免灰尘进到扫描电子显微镜本体1内。
24.请参照图3，请参照图3，第一防尘板3的一侧开设有与扫描电子显微镜本体1线路插头相匹配的线路插口10。
25.实施例2：
26.如图3所示，与实施例1不同的是，线路插口10的一侧设有密封垫圈9，密封垫圈9可防止灰尘从线路插口10进到扫描电子显微镜本体1内。
27.请参照图1，支撑垫块5呈梯形，且支撑垫块5的底端设有阻尼垫，梯形状的支撑垫块5和阻尼垫的设置，可增大与地面的摩擦力，在检测晶元时更稳定。
28.工作原理：在使用本实用新型时，将扫描电子显微镜本体1放在底座4上，晶元放在扫描电子显微镜本体1的观察台上，将第一防尘板3和第二防尘板6通过安装槽12和安装条11安装在扫描电子显微镜本体1的四周，将目镜穿过观察板2的观察口7，四周的防尘板可有效阻止灰尘进到观察台上，且滑动连接滚动轴15的毛刷16可清理第一防尘板3和第二防尘板6上的灰尘，清洁效果好，方便后续的使用。
29.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，包括扫描电子显微镜本体(1)，其特征在于：所述扫描电子显微镜本体(1)的底端设有底座(4)，所述底座(4)呈矩形，且底座(4)的下表面设有支撑垫块(5)，所述底座(4)的上表面侧边设有固定连接的安装槽(12)，所述底座(4)的上方设有两组第一防尘板(3)和两组第二防尘板(6)，且第一防尘板(3)和第二防尘板(6)的底端固定连接有与安装槽(12)相匹配的安装条(11)，所述第一防尘板(3)和第二防尘板(6)的顶端固定连接有观察板(2)。2.根据权利要求1所述的一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，其特征在于：所述第一防尘板(3)和第二防尘板(6)的端面两侧设有滑槽(13)，所述滑槽(13)内滑动连接有滑块(14)，所述滑块(14)的一侧固定连接滚动轴(15)，所述滚动轴(15)的端面设有若干组毛刷(16)，且毛刷(16)贴合第一防尘板(3)和第二防尘板(6)的一侧。3.根据权利要求1所述的一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，其特征在于：所述观察板(2)的一侧开设有观察口(7)，且观察口(7)呈圆形，所述观察口(7)的顶端面设有密封圈(8)，所述观察口(7)与扫描电子显微镜本体(1)的目镜相匹配。4.根据权利要求1所述的一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，其特征在于：所述第一防尘板(3)的一侧开设有与扫描电子显微镜本体(1)线路插头相匹配的线路插口(10)。5.根据权利要求4所述的一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，其特征在于：所述线路插口(10)的一侧设有密封垫圈(9)。6.根据权利要求1所述的一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，其特征在于：所述支撑垫块(5)呈梯形，且支撑垫块(5)的底端设有阻尼垫。

技术总结
本实用新型公开了扫描电子显微镜技术领域的一种用于检测晶元的扫描电子显微镜，包括扫描电子显微镜本体，所述扫描电子显微镜本体的底端设有底座，所述底座呈矩形，且底座的下表面设有支撑垫块，所述底座的上表面侧边设有固定连接的安装槽，所述底座的上方设有两组第一防尘板和两组第二防尘板，且第一防尘板和第二防尘板的底端固定连接有与安装槽相匹配的安装条，所述第一防尘板和第二防尘板的顶端固定连接有观察板，活动连接的第一防尘板和第二防尘板给扫描电子显微镜本体防尘，且在拆卸时简单方便，第一防尘板和第二防尘板一侧滑动连接的滚动轴上的毛刷可以清理上面的灰尘，方便后续的使用，结构简单且操作方便，实用性好。实用性好。实用性好。


技术研发人员：何威威
受保护的技术使用者：苏州欣威晟电子科技有限公司
技术研发日：2020.12.22
技术公布日：2021/10/23