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一种残膜回收机防缠绕挑膜装置的制作
一种秧草收获机用电力驱动行走机构的
电子显微镜
扫描电子显微镜装置、半导体制造装置及其控制方法与流程
扫描电子显微镜装置、半导体制造装置及其控制方法相关申请的交叉引用2.本技术要求于2021年9月8日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请no.10-2021-0119819的优先权的权益,该申请的公开内容以引用方式全部并入本文中。技术领域3.本公开涉及扫描电子显微镜装置、半导体制造装置和控制该半导体制造装置的方法。
标签:
装置
电子显微镜
半导体
韩国
方法
2023-04-05
扫描电子显微镜装置、半导体制造装置及其控制方法与流程
扫描电子显微镜装置、半导体制造装置及其控制方法相关申请的交叉引用2.本技术要求于2021年9月8日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请no.10-2021-0119819的优先权的权益,该申请的公开内容以引用方式全部并入本文中。技术领域3.本公开涉及扫描电子显微镜装置、半导体制造装置和控制该半导体制造装置的方法。
标签:
装置
电子显微镜
半导体
韩国
方法
2023-03-29
一种适用于电子显微镜的多功能样品仓系统及仿真方法与流程
本发明涉及光学检测设备技术领域,尤其涉及是一种适用于电子显微镜的多功能样品仓系统及仿真方法。
标签:
电子显微镜
适用于
多功能
样品
检测设备
2023-03-20
扫描电子显微镜装置、半导体制造装置及其控制方法与流程
扫描电子显微镜装置、半导体制造装置及其控制方法相关申请的交叉引用2.本技术要求于2021年9月8日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请no.10-2021-0119819的优先权的权益,该申请的公开内容以引用方式全部并入本文中。技术领域3.本公开涉及扫描电子显微镜装置、半导体制造装置和控制该半导体制造装置的方法。
标签:
装置
电子显微镜
半导体
韩国
方法
2023-03-20
一种电镜样品制备设备和制备方法与流程
本发明涉及材料分析领域,特别是涉及电子显微镜样品制备领域,具体涉及电子显微镜样品的制备设备和制备方法。
标签:
电子显微镜
样品
特别是
制备方法
材料
2023-02-06
启用扫描电子显微镜成像,同时防止半导体制造工艺中使用的敏感层受到样本损坏的制作方法
启用扫描电子显微镜成像,同时防止半导体制造工艺中使用的敏感层受到样本损坏相关申请案的交叉参考2.本技术案要求2020年6月26日申请的第202041027103号印度专利申请案及2020年8月11日申请的第63/063975号美国专利申请案的优先权,所述申请案的公开内容特此以引用的方式并入。技术领域3.本公开涉及半导体成像。
标签:
专利申请
半导体
电子显微镜
优先权
印度
2023-02-02
高电压供应电压的噪声降低的制作方法
本公开要求于2020年5月28日提交的美国申请第16/885,740号的优先权,其公开通过引用以其整体并且用于所有目的并入本文。2.扫描电子显微镜(sem)为通过以聚焦的电子束(e束)照明晶片并且检测来自晶片的二次电子来产生例如晶片的样品的影像的晶片半导体代工厂工具。二次电子给予关于晶片拓朴、缺陷和关键尺寸的信息。
标签:
晶片
拓朴
电子束
电子显微镜
优先权
2023-02-02
基于深度学习的单壁碳纳米管三维结构重建方法及系统
本发明属于透射电镜图像处理技术领域,更具体地深度学习在电子显微镜图像处理方面的应用,尤其涉及一种基于人工智能算法从电镜像重构碳纳米管三维原子结构的方法及系统。
标签:
图像处理
电子显微镜
电镜
原子结构
人工智能
2023-02-01
一种移动式电子显微镜的制作方法
本实用新型涉及电子显微镜技术领域,尤其涉及一种移动式电子显微镜。
标签:
电子显微镜
移动式
2022-12-24
扫描电子显微镜样品的处理方法与流程
本发明涉及一种扫描电子显微镜样品的处理方法。
标签:
电子显微镜
样品
方法
2022-12-09
使用电子束系统的图案高度计量
本公开涉及通过极紫外(euv)光刻在抗蚀剂膜中产生的图案的图案高度的确定。图案高度的确定——在本公开中也称为图案高度计量——是通过使用电子束(e-beam)系统,尤其是,通过使用扫描电子显微镜(sem),来执行的。在这方面,本公开提供了一种用于确定图案高度的设备和方法以及用于执行该方法的计算机程序。
标签:
图案
高度
电子束
光刻
电子显微镜
2022-12-06
一种具有近场光学扫描功能的透射电子显微镜的制作方法
本实用新型属于透射电子显微镜技术领域,具体为一种具有近场光学扫描功能的透射电子显微镜。
标签:
电子显微镜
光学
功能
2022-11-22
一种透射电镜中原位测量一维纳米材料疲劳性能与微观结构相关性的装置及方法
本发明涉及一种在透射电子显微镜中,原位原子尺度研究一维纳米材料在高周期循环疲劳加载过程中的疲劳性能和微观结构的装置及方法。本发明属于纳米材料显微结构原位测试及表征技术领域。
标签:
原位
疲劳
结构
电子显微镜
表征
2022-11-19
一种物镜及其结构设计方法、透射电子显微镜与流程
本发明涉及电子显微技术领域,尤其涉及一种物镜及其结构设计方法、透射电子显微镜。
标签:
物镜
电子显微镜
结构设计
方法
电子
2022-11-14
用于信号电子探测的系统和方法与流程
用于信号电子探测的系统和方法相关申请的交叉引用2.本技术要求于2020年3月11日提交的美国申请62/988,282的优先权,该申请整体通过引用并入本文。技术领域3.本文提供的实施例公开了一种带电粒子束装置,更具体地,公开了用于增强电子显微镜中的信号电子收集效率的系统和方法。
标签:
粒子束
信号
本文
电子显微镜
方法
2022-11-14
一种物镜及其结构设计方法、透射电子显微镜与流程
本发明涉及电子显微技术领域,尤其涉及一种物镜及其结构设计方法、透射电子显微镜。
标签:
物镜
电子显微镜
结构设计
方法
电子
2022-11-14
用于信号电子探测的系统和方法与流程
用于信号电子探测的系统和方法相关申请的交叉引用2.本技术要求于2020年3月11日提交的美国申请62/988,282的优先权,该申请整体通过引用并入本文。技术领域3.本文提供的实施例公开了一种带电粒子束装置,更具体地,公开了用于增强电子显微镜中的信号电子收集效率的系统和方法。
标签:
粒子束
信号
本文
电子显微镜
方法
2022-11-14
一种物镜及其结构设计方法、透射电子显微镜与流程
本发明涉及电子显微技术领域,尤其涉及一种物镜及其结构设计方法、透射电子显微镜。
标签:
物镜
电子显微镜
结构设计
方法
电子
2022-11-13
用于信号电子探测的系统和方法与流程
用于信号电子探测的系统和方法相关申请的交叉引用2.本技术要求于2020年3月11日提交的美国申请62/988,282的优先权,该申请整体通过引用并入本文。技术领域3.本文提供的实施例公开了一种带电粒子束装置,更具体地,公开了用于增强电子显微镜中的信号电子收集效率的系统和方法。
标签:
粒子束
信号
本文
电子显微镜
方法
2022-11-13
一种物镜及其结构设计方法、透射电子显微镜与流程
本发明涉及电子显微技术领域,尤其涉及一种物镜及其结构设计方法、透射电子显微镜。
标签:
物镜
电子显微镜
结构设计
方法
电子
2022-11-12
用于信号电子探测的系统和方法与流程
用于信号电子探测的系统和方法相关申请的交叉引用2.本技术要求于2020年3月11日提交的美国申请62/988,282的优先权,该申请整体通过引用并入本文。技术领域3.本文提供的实施例公开了一种带电粒子束装置,更具体地,公开了用于增强电子显微镜中的信号电子收集效率的系统和方法。
标签:
粒子束
信号
本文
电子显微镜
方法
2022-11-12
探测器栅网的制造工装的制作方法
本技术涉及扫描电子显微镜技术领域,尤其涉及一种探测器栅网的制造工装。
标签:
电子显微镜
工装
探测器
2022-10-29
一种具有自清洁的电子显微镜用显示器的制作方法
本实用新型涉及电子显微镜技术领域,具体为一种具有自清洁的电子显微镜用显示器。
标签:
电子显微镜
显示器
清洁
2022-08-31
光阑组件及具有其的扫描电子显微镜的制作方法
本技术属于扫描电子显微镜技术领域,具体涉及一种光阑组件及具有其扫描电子显微镜。
标签:
电子显微镜
组件
2022-08-30
图案边缘检测方法、图案边缘检测装置、记录有用于让计算机执行图案边缘检测的程序的记录介质与流程
本发明涉及从由扫描电子显微镜生成的图像中检测与半导体制造有关的在晶圆或掩膜等工件上形成的图案的边缘(轮廓线)的方法及装置。此外,本发明涉及用于让计算机执行这样的图案边缘检测的程序。此外,本发明涉及通过机器学习来制作边缘检测模型的方法及装置。
标签:
边缘
图案
装置
电子显微镜
方法
2022-08-28
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