集成电路印刷装置用清洁设备以及集成电路印刷装置的制作方法

技术特征：
1.一种集成电路印刷装置用清洁设备，用于清洁集成电路印刷钢网，其特征在于，包括：制动装置，所述制动装置包括可替换擦拭组件，其中当所述制动装置制动时，将所述可替换擦拭组件的第一擦拭单元替换为第二擦拭单元；清洁液供应装置，邻近于所述制动装置设置，用于提供清洁液给所述可替换擦拭组件以擦拭所述集成电路印刷钢网；以及抽气装置，邻近于所述制动装置设置，用于提供吸力以吸取所述集成电路印刷钢网上的所述清洁液。2.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，所述制动装置包含卷筒，用于收纳所述可替换擦拭组件的两端。3.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，所述制动装置包含承载盘，用于承载堆叠的所述可替换擦拭组件。4.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，所述清洁液供应装置包括泵，所述泵用于抽取所述清洁液。5.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，所述清洁液供应装置还包括：清洁头，包括多个清洁孔，所述多个清洁孔排列延伸的长度对应所述集成电路印刷钢网的开孔宽度，所述清洁液通过所述多个清洁孔提供给所述可替换擦拭组件。6.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，所述抽气装置的所述吸力的大小在50千帕至99千帕的范围。7.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，所述抽气装置与所述制动装置平行设置。8.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，所述抽气装置环绕所述制动装置设置。9.如权利要求1所述的集成电路印刷装置用清洁设备，其特征在于，还包括：位移装置，用于支撑所述制动装置、所述清洁液供应装置以及所述抽气装置朝所述集成电路印刷钢网的方向运动。10.一种集成电路印刷装置，其特征在于，包括如权利要求1
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9中任一项所述的清洁设备，并进一步包括：相机模组，用于捕捉所述集成电路印刷钢网的影像以确认半导体基板的作业位置；治具模组，用于接收所述半导体基板；轨道模组，用于运送所述治具模组至所述集成电路印刷钢网；以及印刷模组，用于当所述治具模组将所述半导体基板合模所述集成电路印刷钢网时，对所述半导体基板进行印刷作业。

技术总结
一种集成电路印刷装置用清洁设备。所述集成电路印刷装置用清洁设备包括：制动装置、清洁液供应装置以及抽气装置。所述制动装置包括可替换擦拭组件，其中当所述制动装置制动时，将所述可替换擦拭组件的第一擦拭单元替换为第二擦拭单元。所述清洁液供应装置紧邻于所述制动装置设置，用于提供清洁液给所述可替换擦拭组件以擦拭所述集成电路印刷钢网。所述抽气装置紧邻于所述制动装置设置，用于提供吸力以吸取所述集成电路印刷钢网上的所述清洁液。吸取所述集成电路印刷钢网上的所述清洁液。吸取所述集成电路印刷钢网上的所述清洁液。


技术研发人员：王柏谕
受保护的技术使用者：日月光半导体（昆山）有限公司
技术研发日：2020.11.23
技术公布日：2021/10/15