一种液氙冷却、氙气再液化撬装装置的制作方法

技术特征：

1.一种液氙冷却、氙气再液化撬装装置，该装置将液氙使用场合蒸发氙气和剩余液氙作为原料，生产循环液氙,其特征在于所述液氙使用场合（1）剩余液氙出口连接剩余液氙截止阀（2）进口，剩余液氙截止阀（2）出口分别连接回真空贮槽截止阀（4）进口、压缩泵进口截止阀（3）进口，回真空贮槽截止阀（4）出口连接真空贮槽（35）进液口，压缩泵进口截止阀（3）出口连接压缩泵（5）进口，剩余液氙截止阀（2）出口与回真空贮槽截止阀（4）进口之间设置温度计g（27）和压力表l（28），所述压缩泵（5）出口分别连接截止阀b（9）进口、换热器n（8）热端进口，所述压缩泵（5）出口与截止阀b（9）进口之间设置温度计h（30）和压力表m（29），截止阀b（9）出口分别连接出真空储槽液氙截止阀（12）出口和换热器p（14）冷端进口（37），出真空储槽液氙截止阀（12）进口连接真空储槽出液口。

2.根据权利要求1所述的液氙冷却、氙气再液化撬装装置，其特征在于所述换热器n（8）热端出口分别连接过滤器（11）进口、截止阀c（10）进口，换热器n（8）冷端进口连接截止阀a（7）出口，截止阀a（7）进口连接斯特林制冷机（6）冷头出口，换热器n（8）冷端出口连接斯特林制冷机（6）冷端进口，所述过滤器（11）和截止阀c（10）共同出口连接出真空储槽液氙截止阀（12）出口、换热器p（14）冷端进口（37），过滤器（11）出口和截止阀c（10）共同出口设置温度计k（34），换热器p（14）热端出口（36）分别连接换热器p（14）冷端出口（38）、真空贮槽进液截止阀（13）进口、液氙使用场合（1）进液口，换热器p（14）热端进口（39）分别连接液氙使用场合（1）蒸发氙气出口、氙气截止阀（17）出口，真空贮槽进液截止阀（13）出口连接真空贮槽（35）进液口。

3.根据权利要求2所述的液氙冷却、氙气再液化撬装装置，其特征在于所述换热器p（14）冷端进口（37）分别连接出真空储槽液氙截止阀（12）出口、过滤器（11）出口、截止阀c（10）出口，出真空储槽液氙截止阀（12）出口设置压力表（33），换热器p（14）冷端出口（38）设置温度计i（31），液氙使用场合（1）蒸发氙气出口设置温度计j（32），所述换热器p（14）冷端进口连接截止阀d（16）出口，截止阀d（16）进口连接gm制冷机（15）冷头出口，gm制冷机（15）冷头进口连接换热器p（14）冷端出口。

4.根据权利要求2所述的液氙冷却、氙气再液化撬装装置，其特征在于所述真空贮槽（35）气体出口分别连接着氙气截止阀（17）进口和截止阀e（18）出口，所述截止阀e（18）进口连接低温吸附器（21）出口，低温吸附器（21）进口连接截止阀f（20）出口，截止阀f（20）进口连接原料氙气（19）出口。

5.根据权利要求4所述的液氙冷却、氙气再液化撬装装置，其特征在于所述低温吸附器（21）放置于液氮杜瓦（26）内，液氮罐（22）出口连接液氮截止阀（23）进口，液氮截止阀（23）出口连接液氮杜瓦（26）液氮进口，液氮杜瓦（26）氮气出口分别连接氮气安全阀（25）进口、氮气排空阀（24）进口，氮气安全阀（25）出口连接大气，氮气排空阀（24）出口连接大气。

技术总结
一种液氙冷却、氙气再液化撬装装置，该装置将液氙使用场合蒸发氙气和剩余液氙作为原料，生产循环液氙，所述液氙使用场合剩余液氙出口连接剩余液氙截止阀进口，剩余液氙截止阀出口分别连接回真空贮槽截止阀进口、压缩泵进口截止阀进口，回真空贮槽截止阀出口连接真空贮槽进液口，压缩泵进口截止阀出口连接压缩泵进口，本发明装置可实现液氙的循环使用，减少了贵重稀有气体氙的损失。

技术研发人员：袁士豪;朱程浩;何晖;李冬锋;李剑锋;康玉茹;包汉波;韩小磊;汪晗;孙潇;吴秀杰;蒋澎;孔芬霞
受保护的技术使用者：杭州制氧机集团股份有限公司
技术研发日：2020.09.27
技术公布日：2021.08.27