节能型双转轮热侧旁通过温控制系统的制作方法

1.本实用新型涉及一种节能型双转轮热侧旁通过温控制系统，尤其是一种当挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。


背景技术：

2.目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(voc)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(voc) 的处理设备，以避免挥发性有机气体(voc)直接排入空气中而造成空气污染。
3.因此，发明人有鉴于上述缺失，期能提出一种具有提升有机废气处理效率的节能型双转轮热侧旁通过温控制系统，令用户可轻易操作组装，于是潜心研思、设计组制，以提供使用者便利性，为本发明人所欲研发的动机。


技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的，在于提供一种节能型双转轮热侧旁通过温控制系统，主要用于有机废气处理系统，且设有一直燃式焚烧炉(to)，一第一热交换器、一第二热交换器、一第三热交换器、一第一冷侧输送管路、一第一吸附转轮、一第二吸附转轮及一烟囱，并通过在该直燃式焚烧炉(to) 的炉膛设有一热侧强排管路，且该热侧强排管路的另一端与该第三热交换器的第三热侧管路与该第二热交换器的第二热侧管路之间相连处、或与该第二热交换器的第二热侧管路与该第一热交换器的第一热侧管路之间相连处、或与该第一热交换器的第一热侧管路与该第三热交换器的第三热侧管路之间相连处、或与该直燃式焚烧炉(to)的出口的其中任一处连接，因此，当挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能通过该热侧强排管路来调节该直燃式焚烧炉(to)的炉膛的风量，以具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生，进而增加整体的实用性。
5.本实用新型的另一目的，在于提供一种节能型双转轮热侧旁通过温控制系统，通过在该热侧强排管路设有至少一调节风门，而该热侧强排管路的另一端与该第三热交换器的第三热侧管路与该第二热交换器的第二热侧管路之间相连处、或与该第二热交换器的第二热侧管路与该第一热交换器的第一热侧管路之间相连处、或与该第一热交换器的第一热侧管路与该第三热交换器的第三热侧管路之间相连处、或与该直燃式焚烧炉(to)的出口的其中任一处连接，以当挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能通过该热侧强排管路来调节该直燃式焚烧炉(to)的炉膛的风量，并将部份焚烧的高温气体输送到不同的热交换器的热侧管路的相连接处，让该热侧强排管路具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生，进而增加整体的使用性。
附图说明
6.为了能够更进一步了解本实用新型的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，惟所附附图仅提供参考与说明用，非用以限制本实用新型。
7.第1图为本实用新型第一热交换器设于第二热交换器旁边的第一种实施例具有热侧强排管路的系统架构示意图。
8.第2图为本实用新型第一热交换器设于第二热交换器旁边的第二种实施例具有热侧强排管路的系统架构示意图。
9.第3图为本实用新型第一热交换器设于第二热交换器旁边的第三种实施例具有热侧强排管路的系统架构示意图。
10.第4图为本实用新型第一热交换器设于第三热交换器旁边的第四种实施例具有热侧强排管路的系统架构示意图。
11.第5图为本实用新型第一热交换器设于第三热交换器旁边的第一种实施例具有热侧强排管路的系统架构示意图。
12.第6图为本实用新型第一热交换器设于第三热交换器旁边的第三种实施例具有热侧强排管路的系统架构示意图。
13.10、直燃式焚烧炉(to)
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101、炉头
14.102、炉膛
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11、入口
15.12、出口
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20、第一热交换器
16.21、第一冷侧管路
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22、第一热侧管路
17.23、第一冷侧输送管路
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30、第二热交换器
18.31、第二冷侧管路
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32、第二热侧管路
19.40、第三热交换器
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41、第三冷侧管路
20.42、第三热侧管路
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60、第一吸附转轮
21.601、吸附区
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602、冷却区
22.603、脱附区
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61、废气进气管路
23.611、废气连通管路
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6111、废气连通控制阀门
24.62、第一净气排放管路
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621、第一净气连通管路
25.6211、第一净气连通控制阀门 63、第一冷却气进气管路
26.64、第一冷却气输送管路
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65、第一热气输送管路
27.66、第一脱附浓缩气体管路
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661、风机
28.70、第二吸附转轮
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701、吸附区
29.702、冷却区
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703、脱附区
30.71、第二净气排放管路
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711、风机
31.72、第二冷却气进气管路
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73、第二冷却气输送管路
32.74、第二热气输送管路
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75、第二脱附浓缩气体管路
33.751、风机
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80、烟囱
34.90、热侧强排管路
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901、调节风门
具体实施方式
35.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型作进一步的详细说明。
36.请参阅第1图至第6图，为本实用新型实施例的示意图。而本实用新型的节能型双转轮热侧旁通过温控制系统的最佳实施方式运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的挥发有机废气处理系统或类似设备，主要是挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生。
37.而本实用新型的实施架构的节能型双转轮热侧旁通过温控制系统，主要包括有一直燃式焚烧炉(to)10、一第一热交换器20、一第二热交换器30、一第三热交换器40、一第一冷侧输送管路23、一第一吸附转轮60、一第二吸附转轮70及一烟囱80的组合设计(如第1图至第6 图所示)，其中该第一热交换器20设有第一冷侧管路21及第一热侧管路22，该第二热交换器30设有第二冷侧管路31及第二热侧管路32，该第三热交换器40设有第三冷侧管路41及第三热侧管路42。另该直燃式焚烧炉(to)10设有一炉头101及一炉膛102，该炉头101与该炉膛102相通，且该第一热交换器20、第二热交换器30及第三热交换器40分别设于该直燃式焚烧炉(to)10内，而该直燃式焚烧炉(to) 10设有入口11及出口12(如第1图至第4图所示)，且该入口11 设于该炉头101处，并该入口11与该第一热交换器20的第一冷侧管路21的另一端连接，再者，该出口12则设于该炉膛102处，而该出口12连接至该烟囱80，因此，使该有机废气能由该入口11来进入该炉头101内进行燃烧，再让经过燃烧后的气体能穿过该炉膛102并由该出口12来排出至烟囱80处进行排放，以具有节省能源的效能。
38.且该上述第一热交换器20具有两种实施方式，其中第一种实施方式乃是将第一热交换器20设于该第二热交换器30旁边(如第1图、第2 图及第3图所示)，使该直燃式焚烧炉(to)10的炉头101能将经过焚烧的高温气体先输送到该第三热交换器40的第三热侧管路42的一侧以进行热交换，再由该第三热交换器40的第三热侧管路42的另一侧来将经过焚烧的高温气体再输送到该第二热交换器30的第二热侧管路3 2的一侧以进行热交换，的后再由该第二热交换器30的第二热侧管路3 2的另一侧来将经过焚烧的高温气体再输送到该第一热交换器20的第一热侧管路22的一侧以进行热交换，最后由该第一热交换器20的第一热侧管路22的另一侧来输送到该炉膛102的出口12(如第1图、第 2图及第3图所示)，再由该炉膛102的出口12来输送到烟囱80，以通过该烟囱80来进行排放。
39.再者，另第二种实施方式乃是将第一热交换器20设于该第三热交换器40旁边(如第4图、第5图及第6图所示)，使该直燃式焚烧炉(to) 10的炉头101能将经过焚烧的高温气体先输送到该第一热交换器2 0的第一热侧管路22的一侧以进行热交换，且由该第一热交换器20的第一热侧管路22的另一侧来将经过焚烧的高温气体再输送到该第三热交换器40的第三热侧管路42的一侧以进行热交换，再由该第三热交换器40的第三热侧管路42的另一侧来将经过焚烧的高温气体再输送到该第二热交换器30的第二热侧管路32的一侧以进行热交换，的后再由该第二热交换器30的第二热侧管路32的另一侧来将经过焚烧的高温气体再输送到该炉膛102的出口12(如第4图、第5图及第6图所示)，再由该炉膛102的出口12来输送到烟囱80，以通过该烟囱80来进行排放。
40.另本实用新型的第一吸附转轮60设有吸附区601、冷却区602 及脱附区603，该第
一吸附转轮60连接有一废气进气管路61、一第一净气排放管路62、一第一冷却气进气管路63、一第一冷却气输送管路64、一第一热气输送管路65及一第一脱附浓缩气体管路66，(如第1图至第6图所示)而该第二吸附转轮70设有吸附区701、冷却区 702及脱附区703，该第二吸附转轮70连接有一第二净气排放管路71、一第二冷却气进气管路72、一第二冷却气输送管路73、一第二热气输送管路74及一第二脱附浓缩气体管路75。其中该第一吸附转轮 60与该第二吸附转轮70分别为沸石浓缩转轮或是其他材质的浓缩转轮。
41.其中该废气进气管路61的一端连接至该第一吸附转轮60的吸附区601的一侧，使该废气进气管路61能将有机废气输送到该第一吸附转轮60的吸附区601的一侧，而该第一净气排放管路62的一端与该第一吸附转轮60的吸附区601的另一侧连接，且该第一净气排放管路 62的一端连接至该第二吸附转轮70的吸附区701的一侧，以让该有机废气能经该第一吸附转轮60的吸附区601进行吸附有机物后再由该第一净气排放管路62来输送到该第二吸附转轮70的吸附区701 内(如第1图至第6图所示)。另该第二吸附转轮70的吸附区701的另一侧连接该设第二净气排放管路71，以通过该第二净气排放管路71 的另一端来与该烟囱80连接，且该第二净气排放管路71设有一风机7 11(如第2图及第3图所示)，使能通过该风机711来将该第二净气排管路71内的经过吸附后的气体推拉到该烟囱80内以进行排放。
42.另该第一吸附转轮60的冷却区602的一侧连接该第一冷却气进气管路63，以供气体进入该第一吸附转轮60的冷却区602来进行冷却使用(如第1图至第6图所示)，而该第一吸附转轮60的冷却区60 2的另一侧连接该第一冷却气输送管路64的一端，该第一冷却气输送管路64的另一端则与该第三热交换器40的第三冷侧管路41的一端连接，以将进入该第一吸附转轮60的冷却区602后的气体输送到该第三热交换器40内进行热交换(如第1图至第6图所示)，再者，该第一热气输送管路65的一端与该第一吸附转轮60的脱附区603的另一侧连接，且该第一热气输送管路65的另一端与该第三热交换器40的第三冷侧管路41的另一端连接，以能将经由该第三热交换器40进行热交换的高温热气通过该第一热气输送管路65来输送到该第一吸附转轮60 的脱附区603来进行脱附使用。
43.而上述该第一吸附转轮60的冷却区602设有两种实施方式，其中第一种实施方式为该第一吸附转轮60的冷却区602的一侧所连接的第一冷却气进气管路63乃是供新鲜空气或外气进入(如第1图所示)，通过该新鲜空气或外气来提供该第一吸附转轮60的冷却区602降温用。另第二种实施方式该废气进气管路61设有一废气连通管路611，而该废气连通管路611的另一端与该第一冷却气进气管路63连接(如第2图及第6图所示)，以能通过该废气连通管路611来将该废气进气管路61内的废气输送到该第一吸附转轮60的冷却区602以进行降温使用，另该废气连通管路611设有一废气连通控制阀门6111，以控制该废气连通管路611的风量。
44.另该第二吸附转轮70的冷却区702的一侧连接该第二冷却气进气管路72，以供气体进入该第二吸附转轮70的冷却区702来进行冷却使用(如第1图至第6图所示)，而该第二吸附转轮70的冷却区70 2的另一侧连接该第二冷却气输送管路73的一端，该第二冷却气输送管路73的另一端则与该第二热交换器30的第二冷侧管路31的一端连接，以将进入该第二吸附转轮70的冷却区702后的气体输送到该第二热交换器30内进行热交换(如第1图至第6图所示)，再者，该第二热气输送管路74的一端与该第二吸附转轮70的脱附区703的另一侧连接，且该第二热气输送管路74的另一端与该第二热交换器30的第二冷侧管路31的另一端
连接，以能将经由该第二热交换器30进行热交换的高温热气通过该第二热气输送管路74来输送到该第二吸附转轮70 的脱附区703来进行脱附使用。
45.而上述该第二吸附转轮70的冷却区702设有两种实施方式，其中第一种实施方式为该第二吸附转轮70的冷却区702的一侧所连接的第二冷却气进气管路72乃是供新鲜空气或外气进入(如第1图所示)，通过该新鲜空气或外气来提供该第二吸附转轮70的冷却区702降温用。另第二种实施方式该第一净气排放管路62设有一第一净气连通管路 621，而该第一净气连通管路621的另一端与该第二冷却气进气管路 72连接(如第2图、第5图及第6图所示)，以能通过该第一净气连通管路621来将该第一净气排放管路62内的气体输送到该第二吸附转轮70的冷却区702以进行降温使用，另该第一净气连通管路621设有一第一净气连通控制阀门6211，以控制该第一净气连通管路621 的风量。
46.另该第一脱附浓缩气体管路66的一端与该第一吸附转轮60的脱附区603的一侧连接，而该第一脱附浓缩气体管路66的另一端与该第一热交换器20的第一冷侧管路21的一端连接，其中该第一热交换器2 0的第一冷侧管路21的另一端与该第一冷侧输送管路23的一端连接，而该第一冷侧输送管路23的另一端则与该直燃式焚烧炉(to)10的入口11连接(如第1图至第6图所示)，以能将经过高温所脱附下来的脱附浓缩气体能通过该第一脱附浓缩气体管路66来输送到该第一热交换器20的第一冷侧管路21的一端内，且由该第一热交换器20的第一冷侧管路21的另一端来输送到该第一冷侧输送管路23的一端内，并由该第一冷侧输送管路23的另一端来输送到该直燃式焚烧炉(to)10的入口11内(如第1图至第6图所示)，使能让该直燃式焚烧炉(to)10的炉头101来进行高温裂解，以能减少挥发性有机化合物。另该第一脱附浓缩气体管路66设有一风机661，以能将脱附浓缩气体来推拉进入该第一热交换器20的第一冷侧管路21的一端内。
47.另该第二脱附浓缩气体管路75的一端与该第二吸附转轮70的脱附区703的一侧连接，其中该第二脱附浓缩气体管路75的另一端有两种实施方式，而第一种实施方式乃是该第二脱附浓缩气体管路75的另一端与该废气进气管路61相连接(如第1图、第2图及第6图所示)，使该浓缩气体能再经由该废气进气管路61来进入该第一吸附转轮60的吸附区601内，以进行再次吸附。另第二种实施方式乃是该第二脱附浓缩气体管路75的另一端与该第一冷却气进气管路63相连接(如第3图、第4图及第5图所示)，使该浓缩气体能再经由该第一冷却气进气管路6 3来进入该第一吸附转轮60的冷却区602内，以供进行冷却使用。再者，该第二脱附浓缩气体管路75设有一风机751(如第3图及第5图所示)，以能将脱附浓缩气体来推拉进入该废气进气管路61或该第一冷却气进气管路63内。使经由第二吸附转轮70的脱附区703所产生的脱附气体能进入该第一吸附转轮60的吸附区601或是该第一吸附转轮60的冷却区602来进行循环利用，以使有机废气的处理效率能提升。
48.再者，本实用新型的节能型双转轮热侧旁通过温控制系统，主要是有四种的实施例，而该四种的实施例中的直燃式焚烧炉(to)10、第一热交换器20、第二热交换器30、第三热交换器40、第一冷侧输送管路2 3、第一吸附转轮60、第二吸附转轮70及烟囱80是采相同的设计，因此，上述的直燃式焚烧炉(to)10、第一热交换器20、第二热交换器 30、第三热交换器40、第一冷侧输送管路23、第一吸附转轮60、第二吸附转轮70及烟囱80内容不在重复，请参考上述的说明内容。
49.其中第一种实施例(如第1图及第5图所示)的差异乃为在该直燃式焚烧炉(to)10
的炉膛102设有一热侧强排管路90，该热侧强排管路 90的一端与该直燃式焚烧炉(to)10的炉膛102连接，而不管该第一热交换器20设于该第二热交换器30旁边(如第1图所示)或是该第一热交换器20设于该第三热交换器40旁边(如第5图所示)时，该热侧强排管路90的另一端与该第三热交换器40的第三热侧管路42与该第二热交换器30的第二热侧管路32之间相连处连接，其中该热侧强排管路90设有至少一调节风门901，也可以配合该管路来设有两个调节风门(图未示)，以通过该调节风门901来调控该热侧强排管路90的风量，因此，当挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能通过该热侧强排管路90来调节该直燃式焚烧炉(to)10的炉膛102的风量，并将部份焚烧的高温气体输送到该第三热交换器40的第三热侧管路42与该第二热交换器30的第二热侧管路32之间相连处，让该热侧强排管路90 具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)10不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生。
50.另，第二种实施例(如第2图所示)的差异乃为在该直燃式焚烧炉(to) 10的炉膛102设有一热侧强排管路90，该热侧强排管路90的一端与该直燃式焚烧炉(to)10的炉膛102连接，而该第一热交换器20设于该第二热交换器30旁边(如第2图所示)时，该热侧强排管路90的另一端与该第二热交换器30的第二热侧管路32与该第一热交换器2 0的第一热侧管路22之间相连处连接，其中该热侧强排管路90设有至少一调节风门901，也可以配合该管路来设有两个调节风门(图未示)，以通过该调节风门901来调控该热侧强排管路90的风量，因此，当挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能通过该热侧强排管路90来调节该直燃式焚烧炉(to)10的炉膛102的风量，并将部份焚烧的高温气体输送到该第二热交换器30的第二热侧管路32与该第一热交换器20的第一热侧管路22之间相连处，让该热侧强排管路90具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)10不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生。
51.另，第三种实施例(如第3图及第6图所示)的差异乃是于该直燃式焚烧炉(to)10的炉膛102设有一热侧强排管路90，该热侧强排管路 90的一端与该直燃式焚烧炉(to)10的炉膛102连接，而不管该第一热交换器20设于该第二热交换器30旁边(如第3图所示)或是该第一热交换器20设于该第三热交换器40旁边(如第6图所示)时，该热侧强排管路90的另一端与该直燃式焚烧炉(to)10的出口12连接，其中该热侧强排管路90设有至少一调节风门901，也可以配合该管路来设有两个调节风门(图未示)，以通过该调节风门901来调控该热侧强排管路90的风量，因此，当挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能通过该热侧强排管路90来调节该直燃式焚烧炉(to)10的炉膛102的风量，并将部份焚烧的高温气体输送到该直燃式焚烧炉(to)10的出口12 处，让该热侧强排管路90具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)10不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生。
52.另，第四种实施例(如第4图所示)的差异乃为在该直燃式焚烧炉(to) 10的炉膛102设有一热侧强排管路90，该热侧强排管路90的一端与该直燃式焚烧炉(to)10的炉膛102连接，而当该第一热交换器20 设于该第三热交换器40旁边(如第4图所示)时，该热侧强排管路90 的另一端与该第一热交换器20的第一热侧管路22与该第三热交换器 40的第三热侧管路42之间相连处连接，其中该热侧强排管路90设有至少一调节风门901，也可以配合该管路来设有两个调节风门(图未示)，以通过该调节风门901来调控该热侧强排管路90的风
量，因此，当挥发性有机化合物(vocs)浓度变高时，能通过该热侧强排管路90来调节该直燃式焚烧炉(to)10的炉膛102的风量，并将部份焚烧的高温气体输送到该第一热交换器20的第一热侧管路22与该第三热交换器40的第三热侧管路42之间相连处，让该热侧强排管路90具有调节热回收量或浓度的效能，使有机废气在处理时，能防止直燃式焚烧炉(to)10不会因炉温太高而发生过温的现象，甚至导致停机的情形发生。
53.通过以上详细说明，可使本领域工作人员明白本实用新型的确可达成前述目的，实已符合专利法的规定，提出专利申请。
54.以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。