一种氦、氢、氖气体提纯控制系统的制作方法

技术特征：
1.一种氦、氢、氖气体提纯控制系统，其特征是：包括可编程逻辑控制器plc、回收压缩泵(m1)、再生真空泵(m2)、自控阀门、压力变送器(p)、气体含量检测仪(c)以及质量流量控制器(mfc)；所述的自控阀门包括第一阀门(v1)、第二阀门(v2)、第三阀门(v3)、第四阀门(v4)、第五阀门(v5)和第六阀门(v6)；压力变送器(p)包括第一压力变送器(p1)、第二压力变送器(p2)和第三压力变送器(p3)；气体含量检测仪(c)包括第一气体含量检测仪(c1)和第二气体含量检测仪(c2)；质量流量控制器(mfc)包括第一质量流量控制器(mfc1)和第二质量流量控制器(mfc2)；所述的可编程逻辑控制器plc通过物理接线方式与回收压缩泵(m1)、再生真空泵(m2)、自控阀门、压力变送器(p)、第一气体含量检测仪(c1)、质量流量控制器(mfc)进行电气连接，用于数据的采集运算处理及逻辑动作控制；回收压缩泵(m1)的入口与气体回收场所连接，二者之间依次安装第一质量流量控制器(mfc1)、第一压力变送器(p1)和第一气体含量检测仪(c1)；所述提纯控制系统应用于的提纯系统包括气体膜分离器(ms)和两级气体提纯塔，组成两级气体提纯塔的1号气体提纯塔(1
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1#)和2号气体提纯塔(1
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2#)之间并联；气体膜分离器(ms)的入口连接回收压缩泵(m1)的出口；气体膜分离器(ms)的渗透气出口分别通过第一阀门(v1)、第二阀门(v2)连接1号气体提纯塔(1
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1#)和2号气体提纯塔(1
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2#)的入口；1号气体提纯塔(1
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1#)和2号气体提纯塔(1
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2#)的出口还分别安装有第五阀门(v5)和第六阀门(v6)；第二压力变送器(p2)安装在1号气体提纯塔(1
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1#)与第五阀门(v5)之间，第三压力变送器(p3)安装在2号气体提纯塔(1
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2#)和第六阀门(v6)之间；两级气体提纯塔的共同出口连接至气体使用环境，其之间依次安装第二气体含量检测仪(c2)和第二质量流量控制器(mfc2)；1号气体提纯塔(1
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1#)和2号气体提纯塔(1
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2#)的入口还分别通过第三阀门(v3)、第四阀门(v4)与再生真空泵(m2)连接。2.根据权利要求1所述的一种氦、氢、氖气体提纯控制系统，其特征是：所述的第二压力变送器(p2)和第三压力变送器(p3)均通过可编程控制器plc与第二质量流量控制器(mfc2)之间实现互锁。3.根据权利要求1或2所述的一种氦、氢、氖气体提纯控制系统，其特征是：所述的提纯控制系统还包括与可编程逻辑控制器(plc)电气连接的温度传感器(t)，该温度传感器(t)同时安装在质量流量控制器(mfc)与气体使用环境的中间。4.根据权利要求3所述的一种氦、氢、氖气体提纯控制系统，其特征是：所述的可编程逻辑控制器plc包括模拟量输入输出模块和开关量输入输出模块，可编程逻辑控制器plc通过模拟量输入输出模块与压力变送器(p)、温度传感器(t)、气体含量检测仪(c)、质量流量控制器(mfc)进行数据传输连接，编程逻辑控制器通过开关量输入输出模块与自控阀门、回收压缩泵(m1)、再生真空泵(m2)实现控制连接。5.根据权利要求3所述的一种氦、氢、氖气体提纯控制系统，其特征是：所述的可编程逻辑控制器plc通过物理接线方式与回收压缩泵(m1)、再生真空泵(m2)、自控阀门、压力变送器(p)、温度传感器(t)、气体含量检测仪(c)、质量流量控制器(mfc)进行电气连接。6.根据权利要求3所述的一种氦、氢、氖气体提纯控制系统，其特征是：所述的提纯控制系统还包括人机界面，人机界面与可编程逻辑控制器plc通讯连接，用于显示系统数据、系
统状态以及系统参数设定。7.根据权利要求1或2所述的一种氦、氢、氖气体提纯控制系统，其特征是：所述的自控阀门为电控阀门或者气控阀门。

技术总结
一种氦、氢、氖气体提纯控制系统，包括可编程逻辑控制器PLC、回收压缩泵M1、再生真空泵M2、自控阀门、压力变送器、气体含量检测仪以及质量流量控制器；所述的可编程逻辑控制器PLC通过物理接线方式与回收压缩泵M1、再生真空泵M2、自控阀门、压力变送器、气体含量检测仪C1、质量流量控制器进行电气连接，用于数据的采集运算处理及逻辑动作控制；回收压缩泵M1的入口与气体回收场所连接，二者之间依次安装质量流量控制器MFC1、压力变送器P1和气体含量检测仪C1。本实用新型可以将低纯度的氦、氢、氖气等尾气提纯到99.9％及以上，具有控制精准、逻辑运算可靠、提纯效率高等特点。提纯效率高等特点。提纯效率高等特点。


技术研发人员：徐军军 郭会军 陈伟 杨俊鹏
受保护的技术使用者：安徽中科皖能科技有限公司
技术研发日：2020.12.28
技术公布日：2021/10/23