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LED用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置的制作方法

2021-10-24 17:38:00 来源:中国专利 TAG:晶片 衬底 蓝宝石 清洗 装置

技术特征:
1.led用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置,其特征在于:包括机体(1)、清洗入口(2)、除尘仓(3)、清洗仓(4)、烘干仓(5)、仓板(6)、玻璃罩(7)、传送带(8)、挂钩座(9)、拉杆(10)、晶片固定栏(11)、除尘出风口(12)、超声波清洗池(13)、烘干出风口(14)、热风进风管(15)、除尘过滤网a(16)、电阻加热丝(17)、风机a(18)、进风口(19)、清洗出口(20);机体(1)右端设置有清洗入口(2);机体(1)内由右至左依次设置有除尘仓(3)、清洗仓(4)和烘干仓(5);仓室间设置有仓板(6)隔开;仓板(6)上部设置有开口;除尘仓(3)内上部两侧仓壁上对向设置有除尘出风口(12);清洗仓(4)内设置有超声波清洗池(13);烘干仓(5)顶部设置有烘干出风口(14);烘干出风口(14)连接热风进风管(15);热风进风管(15)上设置有风机a(18);风机a(18)另一端连接进风口(19);机体(1)顶部设置有传送带(8);传送带(8)上设置有挂钩座(9);挂钩座(9)底部设置有拉杆(10);拉杆(10)连接晶片固定栏(11);拉杆(10)为伸缩结构设置;机体(1)右端设置有清洗出口(20)。2.根据权利要求1所述的led用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置,其特征在于:所述热风进风管(15)内设置有除尘过滤网a(16);热风进风管(15)横向设置在烘干仓(5)底部;热风进风管(15)正上方设置有烘干出风口(14)。3.根据权利要求1所述的led用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置,其特征在于:所述烘干出风口(14)内设置有导流片(26);导流片(26)设置在电动转轴(27)上。4.根据权利要求1所述的led用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置,其特征在于:所述除尘出风口(12)底部设置有集风管(21);集风管(21)下部连接排风管(23);排风管(23)内设置有风机b(24);排风管(23)另一端连接排风口(25)。5.根据权利要求4所述的led用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置,其特征在于:所述集风管(21)与排风管(23)间设置有除尘过滤网b(22)。6.根据权利要求1所述的led用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置,其特征在于:所述机体(1)顶部设置有玻璃罩(7)。

技术总结
本实用新型涉及晶片加工技术领域,具体涉及LED用节能型蓝宝石晶片衬底清洗装置,机体右端设置有清洗入口;机体内由右至左依次设置有除尘仓、清洗仓和烘干仓;仓室间设置有仓板隔开;仓板上部设置有开口;除尘仓内上部两侧仓壁上对向设置有除尘出风口;清洗仓内设置有超声波清洗池;烘干仓顶部设置有烘干出风口;烘干出风口连接热风进风管;热风进风管上设置有风机A;风机A另一端连接进风口;机体顶部设置有传送带;传送带上设置有挂钩座;挂钩座底部设置有拉杆;拉杆连接晶片固定栏;拉杆为伸缩结构设置;机体右端设置有清洗出口,解决的晶片衬底清洗效率低的问题。晶片衬底清洗效率低的问题。晶片衬底清洗效率低的问题。


技术研发人员:易晶晶 张艳红 林德肖
受保护的技术使用者:云南蓝晶科技有限公司
技术研发日:2020.12.07
技术公布日:2021/10/23
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