一种单晶碳化硅晶片加工装置的制作方法

1.本实用新型是一种单晶碳化硅晶片加工装置，属于晶片加工领域。


背景技术：

2.碳化硅晶体生成炉，是一种配合通过对粉状原材料施加高温高压，来模拟自然环境下碳化硅晶体产生所需的条件来生成碳化硅晶体的一种机台，在现有机台使用的时候，机台在使用中抗压门会由于高温的影响发生形变，从而在多次使用后会使得抗压门不易的打开和关闭，并影响其密封效果。


技术实现要素：

3.针对现有技术存在的不足，本实用提供一种单晶碳化硅晶片加工装置。
4.为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种单晶碳化硅晶片加工装置，其结构包括：底座、加热炉体、加压器，还包括炉体抗压密封装置，所述加热炉体底面安装有底座，所述加压器安装于加热炉体顶部，所述炉体抗压密封装置贯穿并扣合于加热炉体正面中间。
5.作为优选的，所述炉体抗压密封装置由抗压门、推动机构、扣合长块、扣合短块、棘轮结构、密封部件组成，所述抗压门贯穿并间隙配合于加热炉体正面中间，所述推动机构贯穿并间隙配合于抗压门正面中间，所述棘轮结构嵌套于推动机构外侧后端，且所述棘轮结构背面焊接焊接于抗压门正面中间，所述扣合长块设有两块，对称焊接于推动机构左右两侧并与加热炉体内壁相互扣合，所述扣合短块设有两块，对称焊接于推动机构上下两侧并与加热炉体内壁相互扣合，所述密封部件设有八个，分别两个为一组均匀焊接于加热炉体内壁四个角，并与加热炉体滑动配合，所述炉体抗压密封装置可以在抗压门发生微小形变的情况下快速开启和闭合抗压门。
6.作为优选的，所述推动机构由主动块、连接杆、推动短杆、推动长杆、转动握把组成，所述主动块贯穿并间隙配合于抗压门正面中间，所述连接杆设有四个，以环形矩阵均匀通过轴活动连接于主动块侧面中间，所述推动短杆设有两个，分别通过轴活动连接于左右两个所述连接杆远离主动块的一侧，所述推动长杆设有两个，分别通过轴活动连接于上下两个所述连接杆远离主动块的一侧，所述转动握把焊接于主动块正面中间，所述推动机构控制扣合长块和扣合短块的移动。
7.作为优选的，所述棘轮结构由棘轮环、棘齿、弹簧杆、控制绳组成，所述棘轮环嵌套于主动块外侧后端，且所述棘轮环背面焊接于抗压门正面中间，所述棘齿贯穿并间隙配合于主动块外侧后端，所述弹簧杆焊接于棘齿朝向主动块的一侧中间，且所述弹簧杆贯穿并间隙配合于主动块内壁并在其外侧嵌套有第一弹簧，所述控制绳一端焊接于弹簧杆远离棘齿的一端中间，另一端贯穿并间隙配合于转动握把正面中间，所述棘轮结构固定推动机构位置。
8.作为优选的，所述密封部件由定位块、转动杆、密封块组成，所述定位块设有八个，
分别两个为一组均匀焊接于加热炉体内壁四个角，所述转动杆贯通并通过轴活动连接于定位块朝向扣合长块与扣合短块的一侧中间并在靠近扣合长块与扣合短块的一侧设有第二弹簧，所述密封块通过轴活动连接于转动杆远离扣合长块与扣合短块的一端，并与加热炉体内壁滑动配合，所述密封部件提高抗压门发生微小形变时的密封性。
9.作为优选的，所述密封块为长方体其朝向加热炉体的一侧设有与转动杆相互配合的槽，且远离扣合长块与扣合短块的一侧设有45
°
角的斜面，所述密封块通过相互配合来进一步提高抗压门发生微小形变时的密封性。
10.有益效果
11.本实用新型一种单晶碳化硅晶片加工装置，具有以下效果：
12.1、本实用新型通过设有炉体抗压密封装置，通过其中推动机构和棘轮结构的相互配合，实现了当需要解除对加热炉体的闭合时，首先需要拉紧控制绳使得弹簧杆克服第一弹簧的力移动棘齿使其不在扣合棘轮环，之后转动主动块使得连接杆回缩并带动推动短杆和推动长杆移动，使得扣合长块和扣合短块解除扣合，该炉体抗压密封装置可以在抗压门发生微小形变时依旧保持良好的开关闭合效果。
13.2、本实用新型通过设有密封部件，通过其中转动杆和密封块的相互配合，实现了当扣合长块与扣合短块扣合加热炉体的时候，会使得转动杆克服第二弹簧的力绕轴在定位块空隙中转动，并推动两个密封块向抗压门位置移动，将抗压门空隙完全密封，该密封部件能让抗压门在发生微小形变的情况下依旧保持密封性。
附图说明
14.通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
15.图1为本实用新型一种单晶碳化硅晶片加工装置的结构示意图；
16.图2为本实用新型炉体抗压密封装置的正视解剖结构示意图；
17.图3为本实用新型炉体抗压密封装置沿图2中a
‑
a方向解剖的结构示意图；
18.图4为本实用新型图2中b处的放大结构示意图；
19.图5为本实用新型图3中c处的放大结构示意图。
20.图中：底座
‑
1、加热炉体
‑
2、加压器
‑
3、炉体抗压密封装置
‑
4、抗压门
‑
41、推动机构
‑
42、扣合长块
‑
43、扣合短块
‑
44、棘轮结构
‑
45、密封部件
‑
46、主动块
‑
421、连接杆
‑
422、推动短杆
‑
423、推动长杆
‑
424、转动握把
‑
425、棘轮环
‑
451、棘齿
‑
452、弹簧杆
‑
453、控制绳
‑
454、定位块
‑
461、转动杆
‑
462、密封块
‑
463。
具体实施方式
21.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，图1～图5示意性的显示了本实用新型实施方式的结构，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
22.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“侧向”、“长度”、“宽度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图中所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型
和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
23.实施例
24.如图1
‑
图5所示，本实用新型提供的一种单晶碳化硅晶片加工装置：其结构包括：底座1、加热炉体2、加压器3，还包括炉体抗压密封装置4，所述加热炉体2底面安装有底座1，所述加压器3安装于加热炉体2顶部，所述炉体抗压密封装置4贯穿并扣合于加热炉体2正面中间。
25.所述炉体抗压密封装置4由抗压门41、推动机构42、扣合长块43、扣合短块44、棘轮结构45、密封部件46组成，所述抗压门41贯穿并间隙配合于加热炉体2正面中间，所述推动机构42贯穿并间隙配合于抗压门41 正面中间，所述棘轮结构45嵌套于推动机构42外侧后端，且所述棘轮结构45背面焊接于抗压门41正面中间，所述扣合长块43设有两块，对称焊接于推动机构42左右两侧并与加热炉体2内壁相互扣合，所述扣合短块44 设有两块，对称焊接于推动机构42上下两侧并与加热炉体2内壁相互扣合，所述密封部件46设有八个，分别两个为一组均匀焊接于加热炉体2内壁四个角，并与加热炉体2滑动配合，所述炉体抗压密封装置4可以在抗压门 41发生微小形变的情况下快速开启和闭合抗压门41。
26.所述推动机构42由主动块421、连接杆422、推动短杆423、推动长杆 424、转动握把425组成，所述主动块421贯穿并间隙配合于抗压门41正面中间，所述连接杆422设有四个，以环形矩阵均匀通过轴活动连接于主动块421侧面中间，所述推动短杆423设有两个，分别通过轴活动连接于左右两个所述连接杆422远离主动块421的一侧，所述推动长杆424设有两个，分别通过轴活动连接于上下两个所述连接杆422远离主动块421的一侧，所述转动握把425焊接于主动块421正面中间，所述推动机构42控制扣合长块43和扣合短块44的移动。
27.所述棘轮结构45由棘轮环451、棘齿452、弹簧杆453、控制绳454 组成，所述棘轮环451嵌套于主动块421外侧后端，且所述棘轮环451背面焊接于抗压门41正面中间，所述棘齿452贯穿并间隙配合于主动块421 外侧后端，所述弹簧杆453焊接于棘齿452朝向主动块421的一侧中间，且所述弹簧杆453贯穿并间隙配合于主动块421内壁并在其外侧嵌套有第一弹簧，所述控制绳454一端焊接于弹簧杆453远离棘齿452的一端中间，另一端贯穿并间隙配合于转动握把425正面中间，所述棘轮结构45固定推动机构42位置。
28.所述密封部件46由定位块461、转动杆462、密封块463组成，所述定位块461设有八个，分别两个为一组均匀焊接于加热炉体2内壁四个角，所述转动杆462贯通并通过轴活动连接于定位块461朝向扣合长块43与扣合短块44的一侧中间并在靠近扣合长块43与扣合短块44的一侧设有第二弹簧，所述密封块463通过轴活动连接于转动杆462远离扣合长块43与扣合短块44的一端，并与加热炉体2内壁滑动配合，所述密封部件46提高抗压门41发生微小形变时的密封性。
29.所述密封块463为长方体其朝向加热炉体2的一侧设有与转动杆462 相互配合的槽，且远离扣合长块43与扣合短块44的一侧设有45
°
角的斜面，所述密封块463通过相互配合来进一步提高抗压门41发生微小形变时的密封性。
30.下面对上述技术方案中的本实用新型提出的一种单晶碳化硅晶片加工装置的工作原理作如下说明：
31.当需要解除对加热炉体2的闭合时，首先需要拉紧控制绳454使得弹簧杆453克服
第一弹簧的力移动棘齿452并不再对棘轮环452的扣合固定，之后逆时针转动主动块421使得连接杆422回缩并带动推动短杆 423和推动长杆424向主动块421方向移动，使得扣合长块43和扣合短块44解除与抗压门41的扣合，并向抗压门41的四个边移动，并使得转动杆462在第二弹簧的力绕定位块46上的轴1将密封块463向加热炉体2的方向推动，以完全解除密封固定，以此来实现抗压门41的快速开启和闭合，通过以上的结构配合来使得抗压门41在高温情况下发生形变后依旧保持较高的密封性且可以快速的开关。
32.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
33.因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。