一种单晶生长用半导体石墨热场的制作方法

1.本实用新型涉及石墨热场的技术领域，特别是涉及一种单晶生长用半导体石墨热场。


背景技术：

2.单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质，单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。在单晶硅生长炉中主要设备为石墨热场，石墨热场主要是由坩埚组成。石墨热场在使用完成后要清理内部的残留物，然而现有的石墨热场清理时很不便捷，比较耗费人力和时间，导致清理效率较低。


技术实现要素：

3.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种提高清理的便利性，节省人力和时间，提高效率的单晶生长用半导体石墨热场。
4.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，包括底座、四组支腿、石墨热场下部、石墨热场上部、保温加热箱、坩埚、籽晶、两组固定架、两组丝杠和两组直角转向器，底座底端和四组支腿顶端固定连接，石墨热场下部固定安装在底座顶端，石墨热场上部底端和石墨热场下部顶端可卡装，保温加热箱固定安装在石墨热场下部内，坩埚底端设有坩埚座，坩埚座固定安装在保温加热箱内，坩埚顶端设有单晶棒，石墨热场上部顶端设有连接腔，籽晶位于连接腔内，单晶棒顶端活动穿过石墨热场上部顶端并与籽晶底端固定连接，两组固定架分别固定安装在石墨热场上部的左右两侧，石墨热场上部的左右两端分别设有一组螺套，丝杠转动安装在固定架内，螺套螺装在丝杠上，直角转向器的输出端和丝杠底端连接，直角转向器的输入端转动设有连接轴，连接轴上设有手摇组件。
5.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，所述手摇组件包括两组万向节和两组折叠摇把，折叠摇把通过万向节安装在连接轴上。
6.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，还包括两组摇把套，连接轴的圆周外壁上设有部分螺纹，摇把套螺装在连接轴上。
7.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，还包括四组脚轮，四组脚轮分别固定安装在四组支腿底端。
8.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，还包括手推杆，手推杆固定安装在底座前端。
9.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，还包括防滑把套，防滑把套固定套设在手推杆上。
10.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，还包括四组加强筋，四组加强筋分别固定安装在两组固定架和底座之间。
11.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，还包括四组横梁，四组横梁分别固定安装在相邻两组支腿之间。
12.与现有技术相比本实用新型的有益效果为：首先当石墨热场使用后，需要对其内部清理时，同步转动两组手摇组件，带动两组连接轴转动，带动丝杠转动，从而带动螺套和石墨热场上部上下移动，使石墨热场上部与石墨热场下部分离，单晶棒和籽晶分离，使保温加热箱露出，之后再由工作人员对保温加热箱和坩埚进行清理即可，通过以上设置，提高清理的便利性，节省人力和时间，提高效率。
附图说明
13.图1是本实用新型的结构示意图；
14.图2是图1的剖面结构示意图；
15.图3是直角转向器的俯视剖面结构示意图；
16.图4是石墨热场上部和螺套连接的俯视剖面结构示意图；
17.图5是万向节和折叠摇把连接的结构示意图；
18.附图中标记：1、底座；2、支腿；3、石墨热场下部；4、石墨热场上部；5、保温加热箱；6、坩埚；7、坩埚座；8、单晶棒；9、连接腔；10、籽晶；11、固定架；12、螺套；13、丝杠；14、直角转向器；15、连接轴；16、万向节；17、折叠摇把；18、摇把套；19、脚轮；20、手推杆；21、防滑把套；22、加强筋；23、横梁。
具体实施方式
19.下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
20.如图1至图5所示，本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，包括底座1、四组支腿2、石墨热场下部3、石墨热场上部4、保温加热箱5、坩埚6、籽晶10、两组固定架11、两组丝杠13和两组直角转向器14，底座1底端和四组支腿2顶端固定连接，石墨热场下部3固定安装在底座1顶端，石墨热场上部4底端和石墨热场下部3顶端可卡装，保温加热箱5固定安装在石墨热场下部3内，坩埚6底端设有坩埚座7，坩埚座7固定安装在保温加热箱5内，坩埚6顶端设有单晶棒8，石墨热场上部4顶端设有连接腔9，籽晶10位于连接腔9内，单晶棒8顶端活动穿过石墨热场上部4顶端并与籽晶10底端固定连接，两组固定架11分别固定安装在石墨热场上部4的左右两侧，石墨热场上部4的左右两端分别设有一组螺套12，丝杠13转动安装在固定架11内，螺套12螺装在丝杠13上，直角转向器14的输出端和丝杠13底端连接，直角转向器14的输入端转动设有连接轴15，连接轴15上设有手摇组件；首先当石墨热场使用后，需要对其内部清理时，同步转动两组手摇组件，带动两组连接轴15转动，带动丝杠13转动，从而带动螺套12和石墨热场上部4上下移动，使石墨热场上部4与石墨热场下部3分离，单晶棒8和籽晶10分离，使保温加热箱5露出，之后再由工作人员对保温加热箱5和坩埚6进行清理即可，通过以上设置，提高清理的便利性，节省人力和时间，提高效率。
21.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，所述手摇组件包括两组万向节16和两组折叠摇把17，折叠摇把17通过万向节16安装在连接轴15上；转动折叠摇把17，带动万向节16转动，并带动连接轴15转动，便于带动支腿2和石墨热场上部4上下移动。
22.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，还包括两组摇把套18，连接轴15的圆周外壁上设有部分螺纹，摇把套18螺装在连接轴15上；旋紧摇把套18，可固定住连接轴15不再转动，从而固定住石墨热场下部3不再转动，可提高石墨热场下部3的稳定性。
23.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，还包括四组脚轮19，四组脚轮19分别固定安装在四组支腿2底端；便于工作人员推动整体装置移动，提高便利性。
24.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，还包括手推杆20，手推杆20固定安装在底座1前端；通过设置手推杆20，便于工作人员推动整体装置移动，提高便利性。
25.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，还包括防滑把套21，防滑把套21固定套设在手推杆20上；通过设置防滑把套21，可增大手推杆20的摩擦，防止工作人员推动手推杆20时手滑，提高稳定性。
26.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，还包括四组加强筋22，四组加强筋22分别固定安装在两组固定架11和底座1之间；通过设置加强筋22，可加强固定架11和底座1的连接，提高固定架11的稳定性。
27.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，还包括四组横梁23，四组横梁23分别固定安装在相邻两组支腿2之间；通过设置横梁23，可加强四组支腿2之间的连接，提高支腿2的稳定性。
28.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，其在工作时，首先工作人员推动整体装置，将其移动到合适的环境中，在石墨热场使用以后，需要对其内部清理时，同步转动两组折叠摇把17，带动两组连接轴15转动，并带动丝杠13转动，从而带动螺套12和石墨热场上部4上下移动，使石墨热场上部4与石墨热场下部3分离，单晶棒8和籽晶10分离，令保温加热箱5露出，之后旋紧摇把套18，固定住连接轴15，然后再由工作人员对保温加热箱5和坩埚6进行清理即可。
29.本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施；本实用新型的一种单晶生长用半导体石墨热场的单晶棒8和籽晶10为市面上采购，本行业内技术人员只需按照其附带的使用说明书进行安装和操作即可。
30.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。