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电子级六氯二硅烷的生产系统的制作方法

2021-09-25 11:11:00 来源:中国专利 TAG:硅烷 生产 特别 系统 电子

技术特征:
1.电子级六氯二硅烷的生产系统,其特征在于:包括预处理系统和提纯系统,所述预处理系统对原料进行粗提,所述提纯系统将经所述预处理系统粗提后的粗料提纯为电子级六氯二硅烷;所述提纯系统包括脱重组分塔(1)、脱轻组分塔(2)、脱铝塔(3)和高纯塔(4);所述脱重组分塔(1)设有第一物料入口(11)、第一物料出口(12)、第一残渣入口(13)和塔釜料出口(14);所述脱轻组分塔(2)设有第二物料入口(21)、第二物料出口(22)、分离媒介入口(23)和轻组分采出口(24);所述脱铝塔(3)设有第三物料入口(31)、第三物料出口(32)、第二残渣入口(33)和第一残渣出口(34);所述高纯塔(4)设有第四物料入口(41)、第四物料出口(42)和第二残渣出口(43);所述脱重组分塔(1)的第一物料出口(12)和所述脱轻组分塔(2)的第二物料入口(21)连通,所述脱轻组分塔(2)的第二物料出口(22)和所述脱铝塔(3)的第三物料入口(31)连通,所述脱铝塔(3)的第三物料出口(32)与所述高纯塔(4)的第四物料入口(41)连通,所述高纯塔(4)的第二残渣出口(43)与所述脱铝塔(3)的第二残渣入口(33)连通,所述脱铝塔(3)的第一残渣出口(34)与所述脱重组分塔(1)的第一残渣入口(13)连通。2.根据权利要求1所述电子级六氯二硅烷的生产系统,其特征在于:所述脱铝塔(3)还设有抽真空装置(35)。3.根据权利要求1所述电子级六氯二硅烷的生产系统,其特征在于:所述脱重组分塔(1)、脱轻组分塔(2)、脱铝塔(3)和高纯塔(4)塔顶设有尾气出口,所述尾气出口连接淋洗塔。4.根据权利要求1所述电子级六氯二硅烷的生产系统,其特征在于:所述脱重组分塔(1)塔高16米,所述脱重组分塔(1)的第一物料入口(11)位于所述脱重组分塔(1)1米位置。5.根据权利要求1所述电子级六氯二硅烷的生产系统,其特征在于:所述脱轻组分塔(2)塔高16米,所述脱轻组分塔(2)的第二物料入口(21)位于所述脱轻组分塔(2)中部,所述脱轻组分塔(2)的分离媒介入口(23)位于距离所述脱轻组分塔(2)塔顶1米位置。6.根据权利要求1所述电子级六氯二硅烷的生产系统,其特征在于:所述脱铝塔(3)塔高16米,所述脱铝塔(3)的第三物料入口(31)位于所述脱铝塔(3)1米位置。7.根据权利要求1所述电子级六氯二硅烷的生产系统,其特征在于:所述高纯塔(4)塔高16米,所述脱铝塔(3)的第四物料入口(41)位于所述高纯塔(4)5米位置,所述高纯塔(4)的第四物料出口(42)位于所述高纯塔(4)塔顶位置。8.根据权利要求1所述电子级六氯二硅烷的生产系统,其特征在于:所述预处理系统包括第一蒸馏塔(5)、第二蒸馏塔(6)和第三蒸馏塔(7);所述第一蒸馏塔(5)设有原材料入口(51)、轻组分出口(52)、第五物料入口(53)和第五物料出口(54);所述第二蒸馏塔(6)设有第六物料入口(61)、副产物出口(62)和第六物料出口(63);所述第三蒸馏塔(7)设有第七物料入口(71)、第七物料出口(72)和塔釜残渣出口(73);所述第一蒸馏塔(5)的轻组分出口(52)与所述第二蒸馏塔(6)的第六物料入口(61)连通,所述第二蒸馏塔(6)的第六物料出口(63)与所述第一蒸馏塔(5)的第五物料入口(53)连
通,所述第一蒸馏塔(5)的第五物料出口(54)与所述第三蒸馏塔(7)的第七物料入口(71)连通。9.根据权利要求1所述电子级六氯二硅烷的生产系统,其特征在于:所述脱重组分塔(1)、脱轻组分塔(2)、脱铝塔(3)和高纯塔(4)均设有温度控制单元和压力控制单元。10.根据权利要求8所述电子级六氯二硅烷的生产系统,其特征在于:所述第一蒸馏塔(5)、第二蒸馏塔(6)和第三蒸馏塔(7)均设有温度控制单元和压力控制单元。

技术总结
本实用新型公开了一种电子级六氯二硅烷的生产系统,包括预处理系统和提纯系统,预处理系统对原料进行粗提,提纯系统将经预处理系统粗提后的粗料提纯为电子级六氯二硅烷。预处理系统包括第一蒸馏塔、第二蒸馏塔和第三蒸馏塔,提纯系统包括脱重组分塔、脱轻组分塔、脱铝塔和高纯塔。使用本实用新型生产系统生产电子级六氯二硅烷,能生产出纯度99.95%以上,以金属元素含量计算纯度达到99.999


技术研发人员:何寿林 罗全安
受保护的技术使用者:武汉新硅科技潜江有限公司
技术研发日:2020.12.18
技术公布日:2021/9/24
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