重锤装置和用于晶棒生长的提拉机构的制作方法

技术特征：
1.一种重锤装置，其特征在于，包括重锤本体和位于所述重锤本体相对的两端的软轴连接结构和籽晶连接结构，所述软轴连接结构包括第一连接部、连接套、连接钼销和钼销挡套；所述第一连接部设置于所述重锤本体的轴向方向上的第一端，并沿所述重锤本体的轴向方向延伸设置，所述第一连接部的外周面上设置有沿第一方向延伸并贯穿所述第一连接部的第一销孔，所述第一方向为与所述重锤本体的轴向方向相垂直的方向；沿所述重锤本体的轴向方向，所述连接套包括用于容纳软轴的第一部分和供所述第一连接部插入的第二部分，所述第二部分设置有与所述第一销孔相配合以供所述连接钼销穿过的第二销孔；所述钼销挡套在所述连接钼销将所述第一连接部和所述连接套连接后，套设于所述连接钼销的外部。2.根据权利要求1所述的重锤装置，其特征在于，所述软轴连接结构还包括衬套，所述衬套设置于所述连接套的内壁，所述衬套的内腔的形状与软轴的形状相符，所述衬套包括对称设置于所述重锤本体的轴向中心线的两侧的第三部分和第四部分。3.根据权利要求2所述的重锤装置，其特征在于，软轴的一端为球状结构，所述衬套的内腔与靠近所述重锤本体的一端为与所述球状结构相符的球形凹槽，所述球形凹槽的底部开口并向远离所述球形凹槽的方向延伸形成与软轴的柱形本体相配合的柱形通孔。4.根据权利要求2所述的重锤装置，其特征在于，软轴的一端为球状结构，所述衬套的内腔与靠近所述重锤本体的一端为与部分所述球状结构相符的第一半球形凹槽，所述第一连接部远离所述重锤本体的一端的端面内凹形成第二半球形凹槽，所述第一半球形凹槽和所述第二半球形凹槽相配合以共同容纳软轴的球状结构。5.根据权利要求2所述的重锤装置，其特征在于，所述第一连接部的轴向中心线与所述重锤本体的轴向中心线重合。6.根据权利要求2所述的重锤装置，其特征在于，所述第一部分的内腔的径向截面积小于所述第二部分的内腔的径向截面积，使得所述第一部分的内腔和所述第二部分的内腔形成第一台阶结构，所述衬套沿其延伸方向包括第五部分和第六部分，所述第五部分的外周面和所述第六部分的外周面为与所述第一台阶结构配合的第二台阶结构。7.根据权利要求2所述的重锤装置，其特征在于，沿着远离所述重锤本体的方向，所述第一连接部包括第一区域、第二区域和第三区域，在垂直于所述重锤本体的轴向方向的方向上，所述第一区域的截面积、所述第二区域的截面积和所述第三区域的截面积依次减小，使得所述第一区域和所述第二区域形成第三台阶结构，所述第二区域和所述第三区域形成第四台阶结构，所述第一销孔位于所述第三区域；所述连接套的所述第二部分内腔包括与所述第一部分的内腔相连通的台阶孔，所述连接套的端部与所述第三台阶结构相配合，所述台阶孔与所述第四台阶结构相配合以将所述连接套和所述第一连接部连接。8.根据权利要求1所述的重锤装置，其特征在于，籽晶包括柱形结构和位于所述柱形结构一端的长方体结构，所述籽晶连接结构包括第二连接部和籽晶夹头；所述第二连接部设置于所述重锤本体的轴向方向上的第二端，并沿所述重锤本体的轴向方向延伸设置，所述第二连接部的外周面设置有外螺纹；
所述籽晶夹头内部设置有方形台阶通孔，所述方形台阶通孔包括向远离所述重锤本体的方向依次设置的第一通孔、第二通孔和第三通孔，在垂直于所述重锤本体的轴向方向上，所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔的截面均为长方形，所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔的截面的尺寸沿着远离所述重锤本体的方向依次减小，所述第一通孔用于与所述第二连接部相配合，所述第一通孔的内壁设置有与所述外螺纹相配合的内螺纹，所述第二通孔用于容纳所述长方体结构，所述第三通孔用于容纳部分所述柱形结构。9.根据权利要求8所述的重锤装置，其特征在于，所述籽晶夹头沿远离所述重锤本体的方向包括第一圆柱形结构、第一锥台结构、第二圆柱形结构和第二锥台结构，在垂直于所述重锤本体的轴向方向的方向上，所述第一圆柱形结构的截面积大于所述第二圆柱形结构的截面积。10.根据权利要求1所述的重锤装置，其特征在于，沿所述重锤本体的轴向方向，所述重锤本体包括中间部分和位于所述中间部分的相对的两端的连接部分，所述中间部分为圆柱形结构，所述连接部分为锥台结构。11.根据权利要求10所述的重锤装置，其特征在于，所述中间部分的外周面上均匀设置有多个凹槽。12.根据权利要求1所述的重锤装置，其特征在于，所述重锤本体、所述籽晶连接结构和所述软轴连接结构均为轴对称结构。13.一种用于晶棒生长的提拉机构，其特征在于，包括籽晶、软轴和权利要求1
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12任一项所述的重锤装置，所述籽晶与所述籽晶连接结构连接，所述软轴与所述软轴连接结构连接。14.根据权利要求13所述的用于晶棒生长的提拉机构，其特征在于，所述籽晶包括柱形结构，和设置于所述柱形结构的一端的长方体结构，所述柱形结构部分外露于所述籽晶连接结构。15.根据权利要求13所述的用于晶棒生长的提拉机构，其特征在于，所述软轴包括柱形本体和设置于所述柱形本体的一端的球状结构。

技术总结
本实用新型涉及一种重锤装置，包括重锤本体和位于重锤本体相对的两端的软轴连接结构和籽晶连接结构，软轴连接结构包括第一连接部、连接套、连接钼销和钼销挡套；第一连接部设置于重锤本体的轴向方向上的第一端，并沿重锤本体的轴向方向延伸设置，第一连接部的外周面上设置有沿第一方向延伸并贯穿第一连接部的第一销孔，第一方向为与重锤本体的轴向方向相垂直的方向；沿重锤本体的轴向方向，连接套包括用于容纳软轴的第一部分和供第一连接部插入的第二部分，第二部分设置有与第一销孔相配合以供连接钼销穿过的第二销孔；钼销挡套在连接钼销将第一连接部和连接套连接后，套设于连接钼销的外部。本实用新型还涉及用于晶棒生长的提拉机构。的提拉机构。的提拉机构。


技术研发人员：吴世海
受保护的技术使用者：西安奕斯伟设备技术有限公司
技术研发日：2021.01.12
技术公布日：2021/9/14