用于模型校准的改进量规选择的制作方法

技术特征：
1.一种用于在对与图案化过程相关联的过程模型进行校准时进行量规选择的方法，所述方法包括：获得具有与所述图案化过程相关联的一个或更多个性质的输入量规的集合；从输入量规的集合选择初始量规的子集，选择初始量规的子集包括：基于所述一个或更多个性质的第一性质参数，从所述输入量规的集合确定量规的第一子集，量规的所述第一子集被配置成校准过程模型。2.根据权利要求1所述的方法，还包括：通过使用用户限定的量规来过滤所述输入量规的集合，以确定量规的所述第一子集。3.根据权利要求1所述的方法，其中所述一个或更多个性质包括晶片的临界尺寸的值。4.根据权利要求1所述的方法，其中所述一个或更多个性质包括与所述图案相关联的曲率。5.根据权利要求1所述的方法，其中所述一个或更多个性质包括在所述图案化过程中所使用的强度。6.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一性质参数包括模型误差，所述模型误差是参考轮廓与从所述图案化过程的过程模型的模拟所产生的模拟轮廓之间的差。7.根据权利要求6所述的方法，其中所述参考轮廓是来自扫描电子显微镜的测量轮廓。8.根据权利要求1所述的方法，选择初始量规的子集还包括：基于所述一个或更多个性质的第二性质参数，从所述输入量规的集合确定量规的第二子集；将量规的所述第一子集与量规的所述第二子集合并为量规的合并子集；确定量规的所述合并子集是否包括重复的量规；和从量规的所述合并子集选择量规的第三子集，使得所述第三子集不包括所述重复量规，量规的所述第三子集被配置成校准所述过程模型。9.根据权利要求8所述的方法，还包括：响应于确定不存在重复的量规，选择量规的所述合并子集来校准所述过程模型。10.一种计算机程序产品，包括非暂时性计算机可读介质，所述非暂时性计算机可读介质上记录有在由计算机执行时实施如下方法的指令：获得具有与所述图案化过程相关联的一个或更多个性质的输入量规的集合；从输入量规的集合选择初始量规的子集，选择初始量规的子集包括：基于所述一个或更多个性质的第一性质参数，从所述输入量规的集合确定量规的第一子集，量规的所述第一子集被配置成校准过程模型。11.根据权利要求10所述的计算机程序产品，其中所述方法还包括：通过使用用户限定的量规来过滤所述输入量规的集合，以确定量规的所述第一子集。12.根据权利要求10所述的计算机程序产品，其中所述一个或更多个性质包括以下中的至少一个：晶片的临界尺寸的值；与所述图案相关联的曲率；和在所述图案化过程中所使用的强度。13.根据权利要求10所述的计算机程序产品，其中所述第一性质参数包括模型误差，所
述模型误差是参考轮廓与从所述图案化过程的过程模型的模拟所产生的模拟轮廓之间的差。14.根据权利要求10所述的计算机程序产品，选择初始量规的子集还包括：基于所述一个或更多个性质的第二性质参数，从输入量规的集合确定量规的第二子集；将量规的所述第一子集与量规的所述第二子集合并为量规的合并子集；确定量规的所述合并子集是否包括重复的量规；和从量规的所述合并子集选择量规的第三子集，使得所述第三子集不包括所述重复量规，量规的所述第三子集被配置成校准所述过程模型。15.根据权利要求10所述的计算机程序产品，其中所述方法还包括：响应于确定不存在重复的量规，选择量规的所述合并子集来校准所述过程模型。

技术总结
本文中描述了用于量规选择的方法(900)。可以在校准与图案化过程相关联的过程模型时使用进行量规选择的方法。所述方法(900)涉及，在(P902)处，获得输入量规(902)的集合，所述输入量规的集合具有与所述图案化过程相关联的一个或更多个形状(例如，量规名称、权重、剂量、焦距、模型误差等)；在(P904)处，从初始量规的集合(902)选择初始量规的子集(904)，选择初始量规的子集包括：基于所述一个或更多个形状的第一性质参数，从初始量规的集合确定量规的第一子集，量规的所述第一子集被配置成校准过程模型(例如，光学模型、抗蚀剂模式，等等)。等等)。等等)。


技术研发人员：王磊 冯牧 赵谦
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司
技术研发日：2020.02.07
技术公布日：2021/10/14