一种角度可调的高精度载物台装置的制作方法

技术特征：
1.一种角度可调的高精度载物台装置，其特征是，包括底座和载物台，所述底座上设有固定支承柱，固定支承柱的顶部设有一个滚珠，所述滚珠顶在载物台底部；所述底座上还设有平行于固定支承柱的两个导向孔，所述两个导向孔中各设有一个顶珠，载物台的底部还设有两个活动支承柱，两个活动支承柱分别支承在两个顶珠上，所述固定支承柱以及两个活动支承柱的中心连线构成三角形；所述底座中还设两个导向通道，两个导向通道中各滑动连接有一根滑动杆，两根滑动杆分别由一个驱动机构驱动而能够沿导向通道滑动；所述滑动杆的首端设有斜坡面，两个滑动杆的首端分别伸入到两个导向孔中并使斜坡面抵在顶珠上。2.根据权利要求1所述的角度可调的高精度载物台装置，其特征在于：所述载物台与底座之间通过多根拉簧拉紧。3.根据权利要求2所述的角度可调的高精度载物台装置，其特征在于：所述固定支承柱的两侧各设有一根拉簧，两根活动支承柱的附近各设有一根拉簧。4.根据权利要求1所述的角度可调的高精度载物台装置，其特征在于：所述载物台与底座之间设有一弹性簧片，弹性簧片的一端连接在底座上，另一端连接在载物台上。5.根据权利要求1所述的角度可调的高精度载物台装置，其特征在于：所述底座上设有用于检测载物台相对底座倾斜角度的检测传感器，所述检测传感器与控制装置连接，控制装置根据检测传感器的检测信号控制驱动机构运动。6.根据权利要求1所述的角度可调的高精度载物台装置，其特征在于：所述固定支承柱以及两个活动支承柱的中心连线构成等腰直角三角形，所述固定支承柱位于直角顶点位置。7.根据权利要求1所述的角度可调的高精度载物台装置，其特征在于：所述载物台的底部设有与滚珠配合的球面凹槽。8.根据权利要求1所述的角度可调的高精度载物台装置，其特征在于：所述驱动机构包括步进电机，步进电机的输出轴上连接有螺旋杆，螺旋杆上螺纹连接有螺旋套筒，所述螺旋杆驱动螺旋套筒轴向移动，所述螺旋套筒的前端设有一个顶紧球，所述顶紧球顶紧在滑动杆尾端。9.根据权利要求8所述的角度可调的高精度载物台装置，其特征在于：所述螺旋套筒设置在连接座中，连接座连接在底座上，连接座中设有滑动通道，所述螺旋套筒的外圆柱面与滑动通道滑动连接。

技术总结
本实用新型涉及的一种角度可调的高精度载物台装置，在本实用新型的一种角度可调的高精度载物台装置中，底座与载物台之间通过固定支承柱及两个活动支承柱三点支承，通过两个驱动机构分别驱动两个滑动杆使得滑动杆前端的斜坡面将两个顶珠顶起不同高度，从而使得载物台的位姿得以调节，由于滚珠及顶珠均与运动零件滚动摩擦，所以摩擦力小，不会发生窜动，使得载物台的位姿调整顺畅平稳。由此可见，本实用新型的一种角度可调的高精度载物台装置能够方便地调整载物台的位姿，结构简单，运动平稳顺畅。顺畅。顺畅。


技术研发人员：周勇 吴俊杰 魏佳斯 蔡潇雨 李源 孙恺欣 刘娜
受保护的技术使用者：上海市计量测试技术研究院
技术研发日：2021.02.23
技术公布日：2021/10/8