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一种修复基体的碳氮化钛/氧化铝复合涂层的制备方法与流程

2021-10-19 21:39:00 来源:中国专利 TAG:涂层 制备 刀具 复合 铣削

技术特征:
1.一种修复基体的碳氮化钛/氧化铝复合涂层,其特征在于,所述复合涂层沿待处理基体表面向外依次为:tin,mt

ticn,细颗粒α

al2o3表层。2.如权利要求1所述一种修复基体的碳氮化钛/氧化铝复合涂层,其特征在于,所述tin涂层厚度为0.05

0.1μm。3.如权利要求1所述一种修复基体的碳氮化钛/氧化铝复合涂层,其特征在于,所述mt

ticn涂层厚度为2

4μm。4.如权利要求1所述一种修复基体的碳氮化钛/氧化铝复合涂层,其特征在于,所述细颗粒α

al2o3涂层厚度为2

4μm,颗粒尺寸为0.2

1.0μm。5.一种修复基体的碳氮化钛/氧化铝复合涂层的制备方法,其特征在于,所述复合涂层的制备方法包括以下步骤:s1:先将待处理基体的表面进行抛光处理;s2:将s1中得到的基体热水浴清洗;s3:将s2中得到的基体烘干后装入涂层炉中;s4:依次沉积涂层为tin,mt

ticn,细颗粒α

al2o3;s5:通过后处理降低涂层粗糙度即得复合涂层。6.如权利要求5所述一种修复基体的碳氮化钛/氧化铝复合涂层的制备方法,其特征在于,所述步骤s1中的待处理基体为wc基硬质合金基体、zro2基体、赛隆基体、si3n4基体、ticn基体、al2o3基体,所述步骤s1中使用1500#金刚石磨盘进行抛光处理,使得表面的光洁度ra=0.2μm,所述步骤s2中的清洗方式为超声波清洗30min。7.如权利要求5所述一种修复基体的碳氮化钛/氧化铝复合涂层的制备方法,其特征在于,所述s4中tin涂层的沉积条件为沉积温度880

900℃,沉积压力15

35kpa,使用气体为ticl4、h2、n2、ar,其中ticl4用h2载带入反应炉中,ticl4水温45

48℃,保温时间为0.5

2h。8.如权利要求5所述一种修复基体的碳氮化钛/氧化铝复合涂层的制备方法,其特征在于,所述s4中mt

ticn涂层的沉积条件为沉积温度880

900℃,沉积压力6kpa

50kpa,使用气体为ticl4、h2、n2、ch4、ar,其中ticl4用h2载带入反应炉中,ticl4水温45

48℃,保温时间为4

8h。9.如权利要求5所述一种修复基体的碳氮化钛/氧化铝复合涂层的制备方法,其特征在于,所述s4中细颗粒α

al2o3的沉积条件为沉积温度1000

1010℃,沉积压力6kpa

20kpa,使用气体为alcl3、h2、co2、ar,其中alcl3用h2载带入反应炉中,alcl3水温45

55℃,保温时间为5

8h。10.如权利要求5所述一种修复基体的碳氮化钛/氧化铝复合涂层的制备方法,其特征在于,所述s5中后处理方法为毛刷或喷砂处理,其中,毛刷法选取由sic、猪鬃构成的毛刷,根据涂层厚度进行短时间的处理,处理时间为5

10秒,喷砂法是选用金刚砂、硅砂、树脂砂中的一种或者多种,在2

4bar的压力下,对涂层表面进行短时间喷砂处理,处理时间5

10秒,所述处理后涂层表面粗糙度小于0.5um。

技术总结
本发明公开了一种修复基体的碳氮化钛/氧化铝复合涂层及其制备方法,复合涂层沿基体表面向外依次为:TiN,MT


技术研发人员:游钱炳 熊计 郭智兴 杨天恩 霍云亮
受保护的技术使用者:四川大学
技术研发日:2021.03.26
技术公布日:2021/10/18
再多了解一些

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