衍射光学元件、投射模组及电子设备的制作方法

技术特征：
1.一种衍射光学元件，其特征在于，用于将单束光分束为5
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5的多束光，所述衍射光学元件包括：基底；以及在所述基底上呈阵列排布的多个微结构，所述微结构在所述基底上的投影轮廓包括相互间隔的第一子结构和第二子结构，所述第一子结构关于对称轴呈轴对称图形，所述第一子结构包括本体与从所述本体朝向所述第二子结构延伸的第一支部和第二支部，所述第一支部和所述第二支部与所述对称轴相间隔设置，并关于所述对称轴呈轴对称图形；且所述微结构满足以下条件式：0.75＜ab/jk＜1.25；1.5＜cd/ab＜3；1.5＜ef/jk＜2.5；0.8＜hi/jk＜1.2；0.5＜gf/jk＜1.9；其中，所述对称轴与所述第二子结构交于a和b，c、d分别为所述第二子结构在垂直于ab的方向上距离最远的两个点，所述对称轴与所述第一子结构交于e和f，且在a指向f的方向上，a、b、e和f依次排列，所述第一子结构以ef为分界线划分为第一子部和第二子部，在e指向f的方向上，所述第一子部远离ef的一侧的轮廓依次包括第一凹陷和第二凹陷，所述第一凹陷位于所述第一支部上，所述第二凹陷位于所述本体上，j为所述第一凹陷轮廓上的点，h为所述第二凹陷轮廓上的点，jk为所述第一支部在垂直于ef的方向上于所述第一凹陷范围内的最短距离，hi为所述第一子部在垂直于ef的方向上于所述第二凹陷范围内的最短距离，i位于ef上，g为ef过点f的垂线与所述第一子部的交点，多个所述微结构在x轴方向与y轴方向上呈矩形阵列排布，所述x轴方向与所述y轴方向为平行于所述基底的平面上两个相互垂直的方向，所述x轴方向与所述y轴方向构成一平面直角坐标系。2.根据权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，jk所在直线与所述第一子结构的轮廓交于四个点，hi所在直线与所述第一子结构的轮廓交于两个点，gf所在直线与所述第一子结构交于三个点。3.根据权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，所述第二子结构关于ab成轴对称图形，所述第二子结构关于cd成轴对称图形。4.根据权利要求1
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3任一项所述的衍射光学元件，其特征在于，满足以下条件式：150nm≤ab≤2200nm；150nm≤jk≤2200nm。5.根据权利要求1
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3任一项所述的衍射光学元件，其特征在于，满足以下条件式：800nm≤ab≤1600nm；800nm≤jk≤1600nm；0.88≤ab/jk≤1.13；1.8≤cd/ab≤2.6。6.根据权利要求5所述的衍射光学元件，其特征在于，满足以下条件式：1550nm≤cd≤3450nm；1600nm≤ef≤3600nm；750nm≤gf≤1900nm；750nm≤hi≤1600nm；1.80≤ef/jk≤2.30；0.85≤hi/jk≤1.10；0.80≤gf/jk≤1.6。7.根据权利要求1
‑
3任一项所述的衍射光学元件，其特征在于，ef与所述x轴方向的夹角在30
°
至60
°
之间。8.根据权利要求7所述的衍射光学元件，其特征在于，所述衍射光学元件在所述x轴方向上具有第一衍射角度及第二衍射角度，所述第二衍射角度为所述第一衍射角度的两倍，所述衍射光学元件在所述y轴方向上具有第三衍射角度和第四衍射角度，所述第四衍射角
度为所述第三衍射角度的两倍；所述第一衍射角度在7.5
°
至17.5
°
之间；所述第三衍射角度在7.5
°
至17.5
°
之间。9.一种投射模组，其特征在于，包括光源以及如权利要求1
‑
8任一项所述的衍射光学元件，所述衍射光学元件用于对所述光源发射的光线进行分束。10.一种电子设备，其特征在于，包括接收模组以及如权利要求9所述的投射模组，所述投射模组用于向被测物体投射光线，所述接收模组用于接收被待测物体反射的光线。

技术总结
本发明涉及衍射光学元件、投射模组及电子设备。衍射光学元件包括呈阵列排布的微结构。微结构包括第一子结构和第二子结构。满足0.75＜AB/JK＜1.25；1.5＜CD/AB＜3；1.5＜EF/JK＜2.5；0.8＜HI/JK＜1.2；0.5＜GF/JK＜1.9。第一子结构的对称轴与第二子结构交于AB，C、D为第二子结构垂直于AB距离最远的两点，对称轴与第一子结构交于E和F。第一子结构以EF划分第一子部和第二子部。JK为第一子部垂直于EF且于第一子部的第一凹陷的最短距离，HI为第一子部垂直于EF且于第一子部的第二凹陷的最短距离，GF为第一子部垂直于EF的最短距离。衍射光学元件能满足高精度检测的需求。满足高精度检测的需求。满足高精度检测的需求。


技术研发人员：成纯森 冯坤亮 李宗政 鞠晓山
受保护的技术使用者：江西欧迈斯微电子有限公司
技术研发日：2021.07.01
技术公布日：2021/10/8