一种NXN光开关的制作方法

技术特征：
1.一种nxn光开关，包括n通道扇出波导阵列(1)、功能波导阵列(2)、透镜(3)和mems转镜(4)，其特征在于，所述n通道扇出波导阵列(1)和功能波导阵列(2)通过多层叠加形成n 1层波导阵列(7)；所述n通道扇出波导阵列(1)设置有n层，所述功能波导阵列(2)设置有1层，所述透镜(3)和mems转镜(4)的数量均为2n个，其中，n为整数。2.根据权利要求1所述的一种nxn光开关，其特征在于，所述n通道扇出波导阵列(1)的每一层均设置有n个进光口和n个出光口，其中，进光口的间距<30um，且进光口和出光口为间距逐渐变大的扇出波导。3.根据权利要求1所述的一种nxn光开关，其特征在于，所述功能波导阵列(2)包含n个输入波导和n个输出波导。4.根据权利要求1所述的一种nxn光开关，其特征在于，所述透镜(3)和mems转镜(4)为n孔的透镜阵列，所述透镜(3)和mems转镜(4)形成有第一透镜阵列(5)和第二透镜阵列(6)。5.根据权利要求1所述的一种nxn光开关，其特征在于，所述透镜(3)和mems转镜(4)为具有n个转镜的mems转镜阵列。6.根据权利要求1所述的一种nxn光开关，其特征在于，所述n通道扇出波导阵列(1)的每层进光口岔开，所述n通道扇出波导阵列(1)的每一层n通道进光口与功能波导阵列(2)输入波导一一对应并形成单个1xn光开关tn(8)。7.根据权利要求6所述的一种nxn光开关，其特征在于，所述n通道扇出波导阵列(1)的第一层n通道编号为q11.q12
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q1n，且第n层n通道编号为qn1.qn2
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qnn，所述功能波导阵列(2)输入波导表示为i1,i2
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in，所述1xn光开关tn(8)表示为qn1.qn2
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qnn,in。8.根据权利要求1所述的一种nxn光开关，其特征在于，所述功能波导阵列(2)的输出波导表示为o1.o2
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ok
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on，所述n通道扇出波导阵列(1)的第n层n通道和功能波导阵列的输出波导在纵向完全重叠并形成阵列sk，且每个纵向阵列sk形成为一个光开关sk(9)；其中，所述纵向阵列sk表示为q1k,q2k
…
qnk.ok。9.根据权利要求1所述的一种nxn光开关，其特征在于，所述透镜(3)为自聚焦透镜；所述透镜(3)为球面透镜或非球面透镜。10.根据权利要求1所述的一种nxn光开关，其特征在于，所述n通道扇出波导阵列(1)和功能波导阵列(2)为玻璃波导，所述n通道扇出波导阵列(1)和功能波导阵列(2)为硅波导或高分子材料波导。

技术总结
本实用新型公开了一种NXN光开关，包括N通道扇出波导阵列、功能波导阵列、透镜和MEMS转镜，所述N通道扇出波导阵列和功能波导阵列通过多层叠加形成N 1层波导阵列；所述N通道扇出波导阵列设置有N层，所述功能波导阵列设置有1层，所述透镜和MEMS转镜的数量均为N个，其中，N为整数。通过光波导集成，可以实现NXN光开关尺寸下降、集成度提高、不熔接光纤以及盘纤简单的效果，同时易于实现大通道NXN光开关，极大地提升了光开关的可扩展性和场合适应性，从而解决现有技术中由于全部使用分离器件，所带来的尺寸偏大、盘纤不便，以及成本偏高问题；通过把N层N通道扇出波导阵列和层功能波导阵列中的多层集成为一层，可以更好的提高集成度。可以更好的提高集成度。可以更好的提高集成度。


技术研发人员：高阳 王森 许兴旺 陈土建
受保护的技术使用者：深圳市欧亿光电技术有限公司
技术研发日：2021.02.26
技术公布日：2021/10/8