一种光刻机投影物镜镜头的装调装置的制作方法

技术特征：
1.一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，其特征在于，包括工作台(1)，所述工作台(1)的顶端面上对称固定连接有两个固定柱(2)，两个所述固定柱(2)的内部均设有螺纹杆(3)，两个所述固定柱(2)的顶端面上固定连接有固定板(5)，所述固定板(5)的顶部设有第一电机(9)，所述第一电机(9)的输出端贯穿固定板(5)，所述固定板(5)的内部设有活动机构(35)，所述固定板(5)的下方设有升降板(15)，所述升降板(15)的内部设有第二固定壳(14)，所述第二固定壳(14)的内部设有旋转机构(37)，所述第二固定壳(14)的上方设有滑齿条(16)，所述滑齿条(16)固定连接在升降板(15)的顶端面上，所述升降板(15)的底部设有第一固定壳(13)，所述第一固定壳(13)的内部对称设有两个移动板(27)，两个所述移动板(27)的底部对称设有两个滑槽(30)，两个所述滑槽(30)均固定连接在第一固定壳(13)的底端面上，两个所述滑槽(30)的内部均设有移动机构(34)，两个所述移动板(27)的顶部设有限位机构(36)，所述第一固定壳(13)的底部设有物镜镜头，且物镜镜头的顶端固定连接有固定头(28)，所述固定头(28)的两侧壁上均开凿设有限位槽。2.根据权利要求1所述的一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，其特征在于，所述旋转机构(37)包括两个第二从动齿轮(18)，两个所述第二从动齿轮(18)的两端均固定连接有转动杆，两个所述第二从动齿轮(18)的一端均转动连接有固定件(19)，两个所述固定件(19)之间设有第二电机(21)，所述第二电机(21)的输出端上固定连接有连接杆(20)，所述固定件(19)固定连接在第二固定壳(14)的内壁上，两个所述第二从动齿轮(18)远离固定件(19)的一端通过转动杆转动连接在第二固定壳(14)的内壁上，两个所述第二从动齿轮(18)的一侧贯穿第二固定壳(14)与滑齿条(16)啮合连接，两个所述第二从动齿轮(18)之间设有第一主动齿轮(17)，所述第一主动齿轮(17)与两个第二从动齿轮(18)之间啮合连接，所述第一主动齿轮(17)的一端通过转动件转动连接在第二固定壳(14)的内壁上，所述第一主动齿轮(17)的另一端与第二电机(21)的输出端上的连接杆(20)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，其特征在于，所述活动机构(35)包括两个第二转动齿轮(12)，两个所述第二转动齿轮(12)之间设有第一转动齿轮(8)，所述第一转动齿轮(8)和两个第二转动齿轮(12)之间通过链条(11)啮合连接，两个所述第二转动齿轮(12)和第一转动齿轮(8)的顶端和底端均通过连接件转动连接在固定板(5)的内壁上，所述第一转动齿轮(8)顶端的连接件与第一电机(9)的输出端固定连接，两个所述第二转动齿轮(12)底端的连接件贯穿固定板(5)并固定连接有转动块(6)，所述转动块(6)的另一端贯穿固定柱(2)并与螺纹杆(3)固定连接。4.根据权利要求1所述的一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，其特征在于，所述限位机构(36)包括第三固定壳(23)，所述第三固定壳(23)固定连接在第一固定壳(13)的顶端面上，所述第三固定壳(23)的内部设有双向螺纹杆(22)，所述双向螺纹杆(22)的两端均贯穿第三固定壳(23)，所述双向螺纹杆(22)的一端转动连接在第三固定壳(23)的内壁上，所述双向螺纹杆(22)的另一端贯穿第三固定壳(23)固定连接有转动盘(38)，所述第三固定壳(23)的两侧均设有第二滑块(26)，两个所述第二滑块(26)均螺纹连接在双向螺纹杆(22)上，两个所述第二滑块(26)的底端均与移动板(27)固定连接，两个所述移动板(27)相对的一端面上均固定焊接有插块(29)。5.根据权利要求1所述的一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，其特征在于，所述移动机构(34)包括滑杆(32)，所述滑杆(32)的两端均固定连接在滑槽(30)的内壁上，所述滑杆
(32)上滑动连接有滑动块(33)，所述滑动块(33)的顶端面上固定连接有连接块(31)，所述连接块(31)远离滑动块(33)的一端贯穿滑槽(30)并与移动板(27)固定连接。6.根据权利要求2所述的一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，其特征在于，所述螺纹杆(3)的底端转动连接在固定柱(2)的内壁上，所述螺纹杆(3)上设有第一滑块(4)，所述第一滑块(4)螺纹连接在螺纹杆(3)上，所述第一滑块(4)的一端与升降板(15)固定连接。7.根据权利要求1所述的一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，其特征在于，所述固定板(5)的底部设有第一缓冲板(10)，所述第一缓冲板(10)的顶部对称设有两个第一弹簧(7)，两个所述第一弹簧(7)的一端与第一缓冲板(10)固定连接，两个所述第一弹簧(7)远离第一缓冲板(10)的一端固定连接在固定板(5)的底端面上。8.根据权利要求4所述的一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，其特征在于，所述第一固定壳(13)的底端面上开凿设有凹槽，所述第三固定壳(23)的底部设有第二缓冲板(25)，所述第二缓冲板(25)和第三固定壳(23)之间设有多个第二弹簧(24)，每个所述第二弹簧(24)的一端均与第二缓冲板(25)固定连接，每个所述第二弹簧(24)的另一端均与第三固定壳(23)固定连接。9.根据权利要求4所述的一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，其特征在于，所述第二固定壳(14)的底部通过连接件与第一固定壳(13)的顶部固定连接，所述升降板(15)的底部开设有第二固定壳(14)底部的连接件相适配的条形槽口。

技术总结
本发明一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，包括工作台，工作台的顶端面上对称固定连接有两个固定柱，两个固定柱的内部均设有螺纹杆，两个固定柱的顶端面上固定连接有固定板，固定板的顶部设有第一电机，第一电机的输出端贯穿固定板，固定板的内部设有活动机构，固定板的下方设有升降板，本发明所达到的有益效果是：活动机构可以实现调节物镜镜头上下移动的效果，升降稳定不易出现晃动的现象，旋转机构可以实现调节物镜镜头水平移动的效果，可以起到将物镜镜头进行快速对物镜镜头进行拆装更换，移动机构可以避免出现在移动插块对物镜镜头进行固定安装时，出现插块晃动的现象，进而影响物镜镜头的安装固定效果。影响物镜镜头的安装固定效果。影响物镜镜头的安装固定效果。


技术研发人员：叶心阳
受保护的技术使用者：叶心阳
技术研发日：2021.06.17
技术公布日：2021/10/8