一种蒸镀设备及其挡板组件的制作方法

1.本实用新型属于蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备及其挡板组件。


背景技术：

2.目前市面上绝大多数e-beam蒸镀设备都设置有挡板，通过挡板对熔源、预熔时所蒸发的金属分子进行收集，避免熔源、预熔时所蒸发的金属分子提前对晶片覆盖，影响晶片的质量。
3.但目前大多仅配置了单个挡板，在晶片需要蒸镀多种金属镀层的情况下，多种金属熔源、预熔时所蒸发的金属分子均被挡板收集，金属分子被挡板收集形成金属废屑，且挡板上收集的金属废屑为多种金属混合废屑，不便于回收利用；当挡板上收集的金属较多时，混合状态的金属废屑相对于纯金属废屑，混合状态的金属废屑容易从挡板上掉落，导致下方的金属源被污染。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种蒸镀设备及其挡板组件，解决现有技术中多种金属废屑均被单个挡板收集，不便于回收利用；且混合的金属废屑容易掉落到金属源内，导致金属源被污染的问题。
5.本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：
6.一种蒸镀设备及其挡板组件，包括底座、坩埚、挡板组件和电子束发生装置，所述底座上开设有阶梯槽，所述底座于阶梯槽内一体成型有柱体，所述坩埚的中部开设有通孔，所述柱体插设于通孔内，所述坩埚转动安装于阶梯槽内，所述坩埚上开设有多个第一容纳槽，多个所述第一容纳槽内均固定安装有衬埚，所述挡板组件安装于坩埚上方，所述挡板组件包括安装架，所述安装架上设有多个支架，所述支架的数量与衬埚的数量相同，所述支架上安装有挡板座，所述挡板座的下方固定安装有挡板，所述安装架的下方设有第一电机，所述第一电机的输出轴与安装架固定连接，所述柱体的顶部开设有安装槽，所述第一电机固定安装于安装槽内，所述电子束发生装置固定安装于底座顶面，且所述电子束发生装置位于坩埚一侧，所述电子束发生装置与坩埚之间设有磁极。
7.进一步，所述挡板座于支架的一端设有连接盘，所述连接盘通过扭簧与支架转动连接，所述柱体顶部固定连接有调节盘，所述调节盘位于电子束发生装置的一侧，所述调节盘上一体成型有第一弧块和第二弧块，所述连接盘的底部一体成型有限位块，所述第一弧块位于限位块的内端，所述第二弧块位于限位块的外端。
8.进一步，所述底座的一侧开设有驱动槽，所述驱动槽内开设有槽口，所述安装槽通过槽口与阶梯槽连通，所述驱动槽内安装有第二电机，所述坩埚的底部固定连接有齿环，所述齿环位于阶梯槽内，所述第二电机的输出轴上固定连接有驱动齿，所述驱动齿与齿环啮合。
9.进一步，所述挡板座上开设有固定孔，所述挡板上一体成型有固定螺栓，所述固定
螺栓穿设于固定孔内，所述固定螺栓的末端螺纹连接有固定螺母。
10.进一步，所述底座的底部开设有第二容纳槽，所述第二容纳槽内安装有冷却水箱。
11.进一步，所述底座与驱动槽处设有检修盖。
12.本实用新型的有益效果：
13.1、本实用新型的一种蒸镀设备及其挡板组件，通过第一电机、安装架、挡板座和挡板，多块挡板与衬埚一一对应，当进行熔源、预熔时，每个挡板收集一种金属废屑，便于回收金属废屑，而且每个挡板上的金属废屑纯度高、量少，无需担心掉落在下发的金属源内，出现金属源被污染的情况。
14.2、通过连接盘上的限位块，以及调节盘上的第一弧块和第二弧块，当第一电机控制挡板旋离衬埚时，使得挡板座以连接盘的轴心线为旋转轴旋转30
°
，且将要旋转至衬埚上方的挡板，将会被第二弧块阻挡，使挡板座以连接盘的轴心线为旋转轴旋转-30
°
，使旋离衬埚正上方和旋入衬埚正上方的挡板均向两侧展开，便于衬埚内蒸发的金属分子通过。
附图说明
15.图1是本实用新型一种蒸镀设备及其挡板组件的结构示意图；
16.图2是本实用新型一种蒸镀设备及其挡板组件坩埚剖面结构示意图；
17.图3是本实用新型一种蒸镀设备及其挡板组件中底座的结构示意图；
18.图4是本实用新型一种蒸镀设备及其挡板组件中底座的剖面结构示意图；
19.图5是本实用新型一种蒸镀设备及其挡板组件中挡板组件的结构示意图；
20.图6是本实用新型一种蒸镀设备及其挡板组件蒸镀时衬埚正上方挡板的结构示意图。
21.其中，底座1，阶梯槽11，柱体12，安装槽121，调节盘122，第一弧块123，第二弧块124，驱动槽13，槽口131，检修盖132，第二电机14，驱动齿141，第二容纳槽15，冷却水箱151，坩埚2，通孔21，第一容纳槽22，齿环23，挡板组件3，安装架31，支架311，第一电机32，电子束发生装置4，磁极41，衬埚5，挡板座6，连接盘61，限位块611，挡板7，固定螺栓71，固定螺母72。
具体实施方式
22.以下将结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明：
23.如图1-图6所示，本实用新型的一种蒸镀设备及其挡板组件3，包括底座1、坩埚2、挡板组件3和电子束发生装置4，底座1上开设有阶梯槽11，底座1于阶梯槽11内一体成型有柱体12，坩埚2的中部开设有通孔21，柱体12插设于通孔21内，坩埚2转动安装于阶梯槽11内，坩埚2上开设有多个第一容纳槽22，多个第一容纳槽22内均固定安装有衬埚5，衬埚5用于装填待蒸镀的金属源，不同衬埚5内放入不同的带蒸镀金属。电子束发生装置4固定安装于底座1顶面，且电子束发生装置4位于坩埚2一侧，电子束发生装置4与坩埚2之间设有磁极41。工作时，电子束发生装置4发出电子束，电子束通过磁极41偏转后打在衬埚5内，对衬埚5内的金属源进行熔源、预熔。转动坩埚2，使电子束发生装置4对不同衬埚5内的金属源进行蒸镀。挡板组件3安装于坩埚2上方，用于对熔源、预熔时所蒸发的金属分子进行收集。
24.挡板组件3包括安装架31，安装架31上设有多个支架311，支架311的数量与衬埚5
的数量相同，支架311上安装有挡板座6，挡板座6的下方固定安装有挡板7，本实施例中，安装架31、支架311和挡板座6均采用钨钢、钛钢等，具备良好的硬度和耐高温能力；本实施例中，挡板7为铝板，因为铝相对于其他金属来说，熔点更低，易于与其他金属分离，可以保证铝板上金属废屑的回收效果。
25.当进行预熔时，衬埚5内蒸发的金属分子被挡板7收集，并形成金属废屑。通过设置多个挡板7，每个挡板7对应一个衬埚5，使每个挡板7收集一种金属废屑。便于回收金属废屑，而且每个挡板7上的金属废屑纯度高、量少，无需担心掉落在下发的金属源内，出现金属源被污染的情况。
26.安装架31的下方设有第一电机32，第一电机32的输出轴与安装架31固定连接，柱体12的顶部开设有安装槽121，第一电机32固定安装于安装槽121内。第一电机32转动时，带动安装架31转动，从而对安装架31上挡板7的位置进行控制。对衬埚5进行预熔之前，将对应的挡板7旋转至衬埚5上方，以便对熔源、预熔时所蒸发的金属分子进行收集。当熔源、预熔完成后，再将挡板7旋转开，避免挡板7阻挡后续蒸发的金属分子。
27.挡板座6于支架311的一端设有连接盘61，连接盘61通过扭簧与支架311转动连接，柱体12顶部固定连接有调节盘122，调节盘122上一体成型有第一弧块123和第二弧块124，连接盘61的底部一体成型有限位块611，第一弧块123位于限位块611的内端，第二弧块124位于限位块611的外端，调节盘122位于电子束发生装置4的一侧。第一电机32控制挡板7从衬埚5上方旋转开时，第一弧块123与连接盘61底部的限位块611相抵，在支架311强行带动挡板座6转动的情况下，挡板座6以连接盘61的轴心线为旋转轴旋转30
°
，以便让出衬埚5上方的空间，并挤压扭簧，直至限位块611错开第一弧块123；此时，挡板座6带着挡板7跟随支架311一起转动，转动过程中，扭簧一直处于压缩状态，限位块611的内端面与第一弧块123相接，并保持挡板座6与支架311之间为30
°
的状态。当挡板7旋转出衬埚5上方的空间后，第一电机32停止工作，使挡板7的位置固定。待衬埚5内的金属源蒸发完毕后，第一电机32再次工作，带动挡板座6和挡板7转动，直至限位块611脱离第一弧块123的限位；限位块611脱离第一弧块123限位后，扭簧恢复形变，使挡板座6和挡板7回转，并与支架311位于同一直线上。
28.上述过程进行的同时，将要旋转至衬埚5上方的挡板7，将会被第二弧块124阻挡，使挡板座6以连接盘61的轴心线为旋转轴旋转-30
°
，并保持挡板座6与支架311之间为-30
°
的状态。并与旋离衬埚5的挡板7形成通道，便于衬埚5内蒸发的金属分子通过。
29.底座1的一侧开设有驱动槽13，驱动槽13内开设有槽口131，安装槽121通过槽口131与阶梯槽11连通，驱动槽13内安装有第二电机14，坩埚2的底部固定连接有齿环23，齿环23位于阶梯槽11内，第二电机14的输出轴上固定连接有驱动齿141，驱动齿141与齿环23啮合。通过第二电机14控制坩埚2转动，以便对不同衬埚5内的金属源进行加热蒸发。
30.挡板座6上开设有固定孔，挡板7上一体成型有固定螺栓71，固定螺栓71穿设于固定孔内，固定螺栓71的末端螺纹连接有固定螺母72。通过固定螺栓71和固定螺母72将挡板7固定于挡板座6底部，便于将挡板7拆下，利于回收处理。
31.底座1的底部开设有第二容纳槽15，第二容纳槽15内安装有冷却水箱151，起到冷却作用。底座1与驱动槽13处设有检修盖132，便于对驱动槽13内的组件进行检修。
32.本实用新型的一种蒸镀设备及其挡板组件3使用时，第二电机14工作，通过驱动齿
141和齿环23带动坩埚2转动，使坩埚2上的衬埚5旋转至电子束发生装置4处；第一电机32工作，使安装架31转动，并带动挡板7旋转至衬埚5正上方；随后，电子束发生装置4发出电子束，电子束通过磁极41偏转后打在衬埚5内，对衬埚5内的金属源进行熔源、预熔，挡板7对熔源、预熔时产生的金属分子进行收集，熔源、预熔完成后，第一电机32再次工作。
33.第一电机32控制挡板7从衬埚5上方旋转开时，第一弧块123与连接盘61底部的限位块611相抵，挡板座6以连接盘61的轴心线为旋转轴旋转30
°
，以便让出衬埚5上方的空间，并挤压扭簧，直至限位块611错开第一弧块123；此时，挡板座6带着挡板7跟随支架311一起转动，转动过程中，扭簧一直处于压缩状态，限位块611的内端面与第一弧块123相接，并保持挡板座6与支架311之间为30
°
的状态。当挡板7旋转出衬埚5上方的空间后，第一电机32停止工作，使挡板7的位置固定。待衬埚5内的金属源蒸发完毕后，第一电机32再次工作，带动挡板座6和挡板7转动，直至限位块611脱离第一弧块123的限位；限位块611脱离第一弧块123限位后，扭簧恢复形变，使挡板座6和挡板7回转，并与支架311位于同一直线上。
34.上述过程进行的同时，将要旋转至衬埚5上方的挡板7，将会被第二弧块124阻挡，使挡板座6以连接盘61的轴心线为旋转轴旋转-30
°
，并保持挡板座6与支架311之间为-30
°
的状态。并与旋离衬埚5的挡板7形成通道，便于衬埚5内蒸发的金属分子通过。
35.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。