一种蒸镀设备及其挡板组件的制作方法

技术特征：
1.一种蒸镀设备及其挡板组件，其特征在于：包括底座、坩埚、挡板组件和电子束发生装置，所述底座上开设有阶梯槽，所述底座于阶梯槽内一体成型有柱体，所述坩埚的中部开设有通孔，所述柱体插设于通孔内，所述坩埚转动安装于阶梯槽内，所述坩埚上开设有多个第一容纳槽，多个所述第一容纳槽内均固定安装有衬埚，所述挡板组件安装于坩埚上方，所述挡板组件包括安装架，所述安装架上设有多个支架，所述支架的数量与衬埚的数量相同，所述支架上安装有挡板座，所述挡板座的下方固定安装有挡板，所述安装架的下方设有第一电机，所述第一电机的输出轴与安装架固定连接，所述柱体的顶部开设有安装槽，所述第一电机固定安装于安装槽内，所述电子束发生装置固定安装于底座顶面，且所述电子束发生装置位于坩埚一侧，所述电子束发生装置与坩埚之间设有磁极。2.根据权利要求1所述的一种蒸镀设备及其挡板组件，其特征在于：所述挡板座于支架的一端设有连接盘，所述连接盘通过扭簧与支架转动连接，所述柱体顶部固定连接有调节盘，所述调节盘位于电子束发生装置的一侧，所述调节盘上一体成型有第一弧块和第二弧块，所述连接盘的底部一体成型有限位块，所述第一弧块位于限位块的内端，所述第二弧块位于限位块的外端。3.根据权利要求2所述的一种蒸镀设备及其挡板组件，其特征在于：所述底座的一侧开设有驱动槽，所述驱动槽内开设有槽口，所述安装槽通过槽口与阶梯槽连通，所述驱动槽内安装有第二电机，所述坩埚的底部固定连接有齿环，所述齿环位于阶梯槽内，所述第二电机的输出轴上固定连接有驱动齿，所述驱动齿与齿环啮合。4.根据权利要求3所述的一种蒸镀设备及其挡板组件，其特征在于：所述挡板座上开设有固定孔，所述挡板上一体成型有固定螺栓，所述固定螺栓穿设于固定孔内，所述固定螺栓的末端螺纹连接有固定螺母。5.根据权利要求4所述的一种蒸镀设备及其挡板组件，其特征在于：所述底座的底部开设有第二容纳槽，所述第二容纳槽内安装有冷却水箱。6.根据权利要求5所述的一种蒸镀设备及其挡板组件，其特征在于：所述底座与驱动槽处设有检修盖。

技术总结
本实用新型属于蒸镀设备技术领域，具体涉及一种蒸镀设备及其挡板组件，包括底座、坩埚、挡板组件和电子束发生装置，底座上开设有阶梯槽，底座于阶梯槽内一体成型有柱体，坩埚的中部开设有通孔，坩埚上开设有多个第一容纳槽，多个第一容纳槽内均固定安装有衬埚，挡板组件包括安装架，安装架上设有多个支架，支架上安装有挡板座，挡板座的下方固定安装有挡板，安装架的下方设有第一电机，柱体的顶部开设有安装槽，电子束发生装置固定安装于底座顶面，电子束发生装置与坩埚之间设有磁极。解决现有技术中多种金属废屑均被单个挡板收集，不便于回收利用；且混合的金属废屑容易掉落到金属源内，导致金属源被污染的问题。导致金属源被污染的问题。导致金属源被污染的问题。


技术研发人员：马晋渝 吴奇鸿 成飞
受保护的技术使用者：威科赛乐微电子股份有限公司
技术研发日：2021.05.12
技术公布日：2022/1/14